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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 <1%(%KdN[ ' %&gER
cM hBOm* 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) EQTJ=\WFF Z)^1~!w0 建模任务 "!w#E6gU Rl/5eE8
6Lb(oY}\3 NZoNsNu*C. 单次FMM仿真结果 /f}!G uSgR|b;R]
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