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    [技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-13
    可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 !jV}sp<Xp  
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     A;pVi;7  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） evbqBb21b  
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    建模任务 pi'w40!:  
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    单次FMM仿真结果 L(a){<c  
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    参数扫描（1D） H;&^A5  
    ciq'fy  
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    >&1MD}  
    参数扫描（2D） hXvg<Rf  
       UR/l M,N;  
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