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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ${E[pT g~ppPAH ^LEmi1L 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) \GbHS*\+ &*>CPO 建模任务 ~7,2N.vO2 Th&Wq (^s &M JA SR 单次FMM仿真结果 P*0nT !ho5VAt <y\
Z#z m! '1$G 参数扫描(1D) qmue!Fv#g d0H &k_wqV iXG>j.w{79 参数扫描(2D) oM18aR& c`$`0} XRz%KVysp ]9KQP-p'
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