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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 .(K)?r-g5 6 (]Dh;gC
LRL,m_gt 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) hgPa6Kd pR=@S>!| 建模任务 qLD
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uvkz'R= T&6l$1J 单次FMM仿真结果 H?yK~bGQ MTuV^0%jD
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