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qS/}aDk& iF^qbh%%E 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 I 0~'z f W-s 6+DY 建模任务 X+XDfEt:Q QX<n^W
K'Ywv@ l2St)`K8 观测倾斜平面 -a)1L'R
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