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=kd$??F %**f`L%jN 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 ux; ?WPyr *G19fJ[5 建模任务 ^ Bx[% $T'!??|IF
/at7H! ZitM<Qi&y 观测倾斜平面 '/W$9jm PMzPj,
*DL7p8 lE:g A, 观测柱面 I.<c{4K5 Y=Vbs x
4<efj )kD/ 8 观测球面 #z `W ,^C ag=d6q
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