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eJg8,7WC dAuJXGo 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 Y]&j,j& K6R.@BMN 建模任务 9T<x& =>-Rnc@
=?!wXOg_ #\=F O> 观测倾斜平面 ^0Mt*e{q `nu''B
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<Y}R#o1Z .SWlp2!M5 观测柱面 <7~'; K z4N*b"QF
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