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z4 E|Ai 内容简介 4`Ic&c/ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 V(Yxh+KU 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 fqu}Le 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 [=%TnT+^9 此书也是Macleod先生生前的最后一部作品,非常有纪念收藏价值!有兴趣的可以联系我 Lr`1TH, {,OS-g
Cye$H9 2 目录 L,;D@Xi Preface 1 7OWbAu; 内容简介 2 [yj).*0 目录 i :iR \% 1 引言 1 KN"S?i]X 2 光学薄膜基础 2 Blq8H"3!: 2.1 一般规则 2 Zf7&._y. 2.2 正交入射规则 3 <)*2LBF@] 2.3 斜入射规则 6 'Peni1_ 2.4 精确计算 7 Dup;e&9g 2.5 相干性 8 m0{ !hF[^ 2.6 参考文献 10 lcV<MDS 3 Essential Macleod的快速预览 10 |y20Hi': 4 Essential Macleod的特点 32 flgRpXt 4.1 容量和局限性 33 dz>;<&2Z 4.2 程序在哪里? 33 }3R13 4.3 数据文件 35 Jgu94.;5 4.4 设计规则 35 %<8nF5 4.5 材料数据库和资料库 37 W(RF n`g\ 4.5.1材料损失 38 3sCFHn#c 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Q!,<@b) 4.5.2 材料库 41 c"!lwm3b 4.5.3导出材料数据 43 t:LcNlN| 4.6 常用单位 43 %r)avI 4.7 插值和外推法 46 )6~1 ^tD 4.8 材料数据的平滑 50 ;v 4.9 更多光学常数模型 54 j]0^y}5f+s 4.10 文档的一般编辑规则 55 '&;yT[ 4.11 撤销和重做 56 >!6i3E^ 4.12 设计文档 57 4x%(9_8{- 4.10.1 公式 58 /WPv\L 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 R_sC! - 4.10.3 沉积密度 59 9;%CHb& 4.10.4 平行和楔形介质 60 f`>/
H!<2 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ~7!7\i,Y8\ 4.10.4 性能 61 D\/xu-& 4.10.5 保存设计和性能 64 ZtVAEIZ) 4.10.6 默认设计 64 W(fr<<hL 4.11 图表 64 ~"Gf<3^y+ 4.11.1 合并曲线图 67 QCPID: 4.11.2 自适应绘制 68 KNgH|5Pb 4.11.3 动态绘图 68 )Z+{|^`kJ 4.11.4 3D绘图 69 i~J;G#b 4.12 导入和导出 73 *=Z26 4.12.1 剪贴板 73 &/.hx(#d 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 W\f9jfD 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 }Vu\(~ 4.13 背景 77 TST4Vy3 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ~8`:7m? 4.15 生成Rugate 84 Pag63njg? 4.16 参考文献 91 C}IbxKl 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 8&"(WuZ@ 5.1 Jobs 92 #sKWd 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Kt>X[o3m, 5.3 输入材料 94 mmw^{MK! 5.4 设计数据文件夹 95 1G~S|,8p 5.5 默认设计 95 h?\2_s 6 细化和合成 97 `nR %Cav,U 6.1 优化介绍 97 ?j7vZ}iRi 6.2 细化 (Refinement) 98 cD1o"bq 6.3 合成 (Synthesis) 100 &@"]+33 6.4 目标和评价函数 101 0e["]Tlnm 6.4.1 目标输入 102 Uh.Zi3X6}6 6.4.2 目标 103 +)nT|w45 6.4.3 特殊的评价函数 104 h06ku2Q
6.5 层锁定和连接 104 6)]f6p&e 6.6 细化技术 104 NkxCs 6.6.1 单纯形 105 $N$ FtpB 6.6.1.1 单纯形参数 106 p<WFqLe(": 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 R4%P:qM 6.6.2.1 Optimac参数 108 YEjY8]t 6.6.3 模拟退火算法 109 !/K8xD$ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 151tXSzLT 6.6.4 共轭梯度 111 F)$K 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 'UM!*fk7C 6.6.5 拟牛顿法 112 ghk5rl$ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 H'RL62! 6.6.6 针合成 113 !rxp?V n - 6.6.6.1 针合成参数 114 sPNfbCOz 6.6.7 差分进化 114 s_jBu 6.6.8非局部细化 115 e1
*__' 6.6.8.1非局部细化参数 115 X_; *`,<T 6.7 我应该使用哪种技术? 116 HW=xvA+ 6.7.1 细化 116 kR.wOJ7' 6.7.2 合成 117 ]0c Pml 6.8 参考文献 117 #:3r4J%+~ 7 导纳图及其他工具 118 |pZo2F!. 7.1 简介 118 'Tb0-1S? 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 rlok%Rt4Z 7.2.1 四分之一波长规则 119 ;kaHN;4? 7.2.2 导纳图 120 4YbC(f 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 hN`gB#N3 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 X=qS"O 1 7.5 斜入射导纳图 141 SA6hbcYk 7.6 对称周期 141 ](r
^.k,R 7.7 参考文献 142 c|wCKn}` 8 典型的镀膜实例 143 +?-qfp,:0 8.1 单层抗反射薄膜 145 ^6 /j_G 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 <D /a l9 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 [ET6(_=b 8.4 W-膜层 148 CKARg8o 8.5 V-膜层 149 t\5c@j p 8.6 V-膜层高折射基底 150 .PVLWW 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 _=`x])mM 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 EHf)^]Z 8.9 四层抗反射薄膜 153 d5xxb _oE 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ]H 2R 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 }(i(Ar- 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 c]Unbm^w 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 G_oX5:J* 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 C@dGWAG 8.15十五层宽带抗反射膜 159 KvFR8s 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 }X1.Wt=? 8.17 1/4波长堆栈 162
';l fS 8.18 陷波滤波器 163 ^JhFI* 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 j)D-BK&+ 8.20 褶皱 165 C@@$"}%v2 8.21 消偏振分光器1 169 jW5iqU"{* 8.22 消偏振分光器2 171 ;bHfn-X 8.23 消偏振立体分光器 172 5}<[[}( 8.24 消偏振截止滤光片 173 y/4ny,s" 8.25 立体偏振分束器1 174 OCx5/ 88X 8.26 立方偏振分束器2 177 rnvQ<671W 8.27 相位延迟器 178 vnsSy 33K 8.28 红外截止器 179 <%!J? 8.29 21层长波带通滤波器 180 J9@}DB 8.30 49层长波带通滤波器 181 r=csi 8.31 55层短波带通滤波器 182 {;RF 8.32 47 红外截止器 183 sMi{"`37 8.33 宽带通滤波器 184 GJak.,0t 8.34 诱导透射滤波器 186 _'JRo%{xGX 8.35 诱导透射滤波器2 188 J/S{FxNe] 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 qc0 B<,x7 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 )1_(>|@oi 8.35 增益平坦滤波器 193 {% F`%_{" 8.38 啁啾反射镜 1 196 k/#M<z 8.39 啁啾反射镜2 198 fNxw&ke8& 8.40 啁啾反射镜3 199 Kfjryo9 8.41 带保护层的铝膜层 200 `C<F+/q 8.42 增加铝反射率膜 201 [_%,6e+ 8.43 参考文献 202 ^g]xU1] * 9 多层膜 204 IIP.yyh> 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 A[9NP-~ 9.2 内部透过率 204 uYTCd ZQh 9.3 内部透射率数据 205 iBHw[X,b 9.4 实例 206 + zDc 9.5 实例2 210 G^KC&
9.6 圆锥和带宽计算 212 =jUnM>23 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 n#>5?W 10 光学薄膜的颜色 216 G7Ny"{Z 10.1 导言 216 K`gc 4:A 10.2 色彩 216 /| f[us-w 10.3 主波长和纯度 220 HXP;0B%4 10.4 色相和纯度 221 .Cfp'u%\; 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 T&4fBMBp,% 10.6 色差 226 IozNjII$:. 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 CgoXZX 10.8 颜色渲染指数 234 w -dI<s 10.9 色差计算 235 ;Xh5oB\)W 10.10 参考文献 236 BK*UR+, 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ]-EN/V 11.1 短脉冲 238 5Jd`
^U 11.2 群速度 239 {_Np<r;j< 11.3 群速度色散 241 Loc8eToZ 11.4 啁啾(chirped) 245 )]}$ 11.5 光学薄膜—相变 245 y^YVo^3 11.6 群延迟和延迟色散 246 ecT]p 11.7 色度色散 246 &[)D]UL 11.8 色散补偿 249 IdmD.k0pJ 11.9 空间光线偏移 256 P,`=]Y* 11.10 参考文献 258 ]gHLcr3 12 公差与误差 260 cE2R r 12.1 蒙特卡罗模型 260 5C65v:Q`N 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 YR8QO-7
.) 12.2.1 误差工具 267 #8E?^d 12.2.2 灵敏度工具 271 ^@N`e1 12.2.2.1 独立灵敏度 271 lR[z<2w\ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 m>O2t- 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 5IO3 % p? 12.3 参考文献 276 Hq-v@@0 * 13 Runsheet 与Simulator 277 oo'iwq-\ 13.1 原理介绍 277 Y}ky/?q 13.2 截止滤光片设计 277 b8e*Pv/ 14 光学常数提取 289 e~*S4dKR 14.1 介绍 289 AD,@,|A 14.2 电介质薄膜 289 sHF%=Vu 14.3 n 和k 的提取工具 295 P8u"T!G 14.4 基底的参数提取 302 BMF3XcH~G 14.5 金属的参数提取 306 r=|vad$ 14.6 不正确的模型 306 s1v{~xP 14.7 参考文献 311 }R\B.2#M_@ 15 反演工程 313 ~"\P~cg0J 15.1 随机性和系统性 313 ]svw
CPu C 15.2 常见的系统性问题 314 gi
'^qi2 15.3 单层膜 314 #W.bZ]&WA 15.4 多层膜 314 hOV_Oqe4? 15.5 含义 319 BHIM'24bp 15.6 反演工程实例 319 )biX8yqhR 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 P0Aas)! 15.6.2 反演工程提取折射率 327 '2j~WUEmg 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 cUYX1a)8 16.1 光学性质的热致偏移 329 z^"?sd 16.2 应力工具 335 Km%8Yw0+ 16.3 均匀性误差 339 ayN*fiV] 16.3.1 圆锥工具 339 vDWr|M%``l 16.3.2 波前问题 341 OY$7`8M[ 16.4 参考文献 343 }&=uZ: 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 &KLvr| 17.1 引言 345 qP@L(_=g 17.2 操作数 345 p~ mN2x ] 18 如何在Function中编写脚本 351 &(GopWR`e 18.1 简介 351 yM W'-\ 18.2 什么是脚本? 351 ;A`IYRzt 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 g+VRT,r 18.4 基础 352 \gjl^#; 18.4.1 Classes(类别) 352 L/c4"f|.*v 18.4.2 对象 352 yFIl^Ck% 18.4.3 信息(Messages) 352 N" 8*FiZ| 18.4.4 属性 352 '! #On/ 18.4.5 方法 353 7ucx6J]c 18.4.6 变量声明 353 1mAUEQ! 18.5 创建对象 354 oXvdR(Sb^ 18.5.1 创建对象函数 355 l A 0-?k 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 <d3PDO@w/ 18.5.3 丢弃对象 356 Q=dw 6 18.5.4 总结 356 }3LBbG0Bw 18.6 脚本中的表格 357 Fa6H(L3 18.6.1 方法1 357 r{bgTG 18.6.2 方法2 357 &9S8al
8" 18.7 2D Plots in Scripts 358 xq8}6Q 18.8 3D Plots in Scripts 359 p|xs|O6{ 18.9 注释 360 pW`ntE#L 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 cu)@P 0I 18.11 一个更高级的脚本 362 f6@^Mg 18.12 <esc>键 364 IY-(-
a8 18.13 包含文件 365 dw@TbJ 18.14 脚本被优化调用 366 h2im
sjf 18.15 脚本中的对话框 368 >aNbp 18.15.1 介绍 368 Cmp{F N"o 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ~5x4?2 18.15.3 输入框函数 370 sDW"j\ 18.15.4 自定义对话框 371 z7D*z8,i 18.15.5 对话框编辑器 371 .~FKyP>[$ 18.15.6 控制对话框 377 `two|gX0K 18.15.7 更高级的对话框 380 qiF@7i 18.16 Types语句 384 7Y$4MMNQ 18.17 打开文件 385 r3*+8D~a_ 18.18 Bags 387 [i2A{(x 18.13 进一步研究 388 u?LW+o 19 vStack 389 S.zg& 19.1 vStack基本原理 389 ,+swH;=7#r 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 >eYU$/80 19.3 五棱镜 393 .aVHd<M 19.4 光束距离 396 4f_ZY5= 19.5 误差 399 z(8)1#(n7 19.6 二向分色棱镜 399 TyxU6<>4J4 19.7 偏振泄漏 404 ?GaI6?lbn 19.8 波前误差—相位 405 @S/g,;7" 19.9 其它计算参数 405 s{x*~M$vt 20 报表生成器 406 :HQ8M*o 20.1 入门 406 Qivf|H619 20.2 指令(Instructions) 406 7C,<iY 20.3 页面布局指令 406 #"3[f@|e 20.4 常见的参数图和三维图 407 ze#rYN vo/ 20.5 表格中的常见参数 408 r&H=i 20.6 迭代指令 408 c+)36/; X 20.7 报表模版 408 Y3 Pz00x 20.8 开始设计一个报表模版 409 tal>b]B; 21 一个新的project 413 M6o
xtt4 21.1 创建一个新Job 414 .b!OZ 21.2 默认设计 415 UBUB/NY 21.3 薄膜设计 416 j3sz*: 21.4 误差的灵敏度计算 420 s0X/1Cq 21.5 显色指数计算 422 Mm:a+T 21.6 电场分布 424 E-5ij,bHv3 后记 426 E-BOIy,
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