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BW:&AP@B 内容简介 g=pz&cz;>\ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 N;D(_:^ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 mT@UQCG 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 qsFA~{o. 此书也是Macleod先生生前的最后一部作品,非常有纪念收藏价值!有兴趣的可以联系我 {i^ ?XdM t=S94^g
".v9#| 目录 iUA2/ A Preface 1 X=(8t2 内容简介 2 ^/R@bp#< 目录 i $ sEe0 1 引言 1 ZERUvk 2 光学薄膜基础 2 7*^\mycv 2.1 一般规则 2 65ijzZL; 2.2 正交入射规则 3 2DTH|Yv 2.3 斜入射规则 6 m*P~X*St 2.4 精确计算 7 ^]wm Y 2.5 相干性 8 -+|0LXo 2.6 参考文献 10 $a\q<fN} 3 Essential Macleod的快速预览 10 QfU
0*W?r 4 Essential Macleod的特点 32 yhQo1e> 4.1 容量和局限性 33 wias]u| 4.2 程序在哪里? 33 8[f]9P/i 4.3 数据文件 35 4,FkA_k 4.4 设计规则 35 e@k
ti@ZJ 4.5 材料数据库和资料库 37 ezwcOYMXK 4.5.1材料损失 38 [$.oyjd 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ~,R_ 4.5.2 材料库 41 z^~uq: 4.5.3导出材料数据 43 {>QrI4*A 4.6 常用单位 43 lqqY5l6j 4.7 插值和外推法 46 QEUg=*3W= 4.8 材料数据的平滑 50 JS&l
h 4.9 更多光学常数模型 54 U@D=.6\B 4.10 文档的一般编辑规则 55 3z&,>CEX 4.11 撤销和重做 56 lDp5aT;DsM 4.12 设计文档 57 0plRsZ} 4.10.1 公式 58 ,n &|+& 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 <6p{eGAQV 4.10.3 沉积密度 59 } M'\s 4.10.4 平行和楔形介质 60 %~Nf, 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 "TtK!>!. 4.10.4 性能 61 =h&DW5QC 4.10.5 保存设计和性能 64 n{Jvx>); 4.10.6 默认设计 64 P;hjr; 4.11 图表 64 FjiLc=RXXz 4.11.1 合并曲线图 67 9]NsWd^^ 4.11.2 自适应绘制 68 /;HytFP 4.11.3 动态绘图 68 c)@M7UK[ 4.11.4 3D绘图 69 _3A$zA 4.12 导入和导出 73 s.zH.q, 4.12.1 剪贴板 73 s}|IRDpp 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 p4{?Rhb6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 qcQ`WU{ 4.13 背景 77 XZp(Po:H 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 $Ae/NwIlc 4.15 生成Rugate 84 K<Yh'RvTD 4.16 参考文献 91 BAoqO
Xv 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 2Y 6/,W 5.1 Jobs 92 ,vg8iRa 5.2 创建一个新Job(工作) 93 cY\-e?`=4 5.3 输入材料 94 ( Y/
DMQ 5.4 设计数据文件夹 95 CoJaVLl 5.5 默认设计 95 {j:{wW. 6 细化和合成 97 zKfb 6.1 优化介绍 97 *WMcE$w/D 6.2 细化 (Refinement) 98 *%Gy-5hM 6.3 合成 (Synthesis) 100 kf "cd1 6.4 目标和评价函数 101 >@H:+0h- 6.4.1 目标输入 102 =N7N=xY 6.4.2 目标 103 LfgR[! 6.4.3 特殊的评价函数 104 ^o?.Rph|i] 6.5 层锁定和连接 104 #B+2qD>E 6.6 细化技术 104 / d6mlQS 6.6.1 单纯形 105 C:4h 6.6.1.1 单纯形参数 106 OY"{XnPZ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Pq7YJ"Z?: 6.6.2.1 Optimac参数 108 BvX!n"QIb 6.6.3 模拟退火算法 109 krz@1[w-j 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Fzu"&&>0$ 6.6.4 共轭梯度 111 D"A`b{z 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 S'3l<sY 6.6.5 拟牛顿法 112 0dIJgKanGP 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 zKiKda%) 6.6.6 针合成 113 mi97$Cr2 6.6.6.1 针合成参数 114 t~U:{g~ 6.6.7 差分进化 114 $)7-wCl</ 6.6.8非局部细化 115 1L l@
ocE 6.6.8.1非局部细化参数 115 xZ,g6s2o 6.7 我应该使用哪种技术? 116 .' .|s?s 6.7.1 细化 116 rxa8X wo8 6.7.2 合成 117 I"@5=m5 6.8 参考文献 117 b;x^>(It 7 导纳图及其他工具 118 d>vGx 7.1 简介 118 ~=0zZTG 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 K bwWrf> 7.2.1 四分之一波长规则 119 7sLs+|<" 7.2.2 导纳图 120 G e~&Ble 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 [IV8 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 )}u.b-Nt. 7.5 斜入射导纳图 141 b,318R8+G 7.6 对称周期 141 5%4:)s{4| 7.7 参考文献 142 vV=$N"bT~ 8 典型的镀膜实例 143 YJ!6)d?C. 8.1 单层抗反射薄膜 145 dnNc,l&g 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 eU{=x$o6S 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 VnIJ$5Y 8.4 W-膜层 148 t5eux&C 8.5 V-膜层 149 F*I{?NRN1 8.6 V-膜层高折射基底 150 ~9'VP}\ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 8Cm^#S,+ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 VK?,8Y 8.9 四层抗反射薄膜 153 })"9TfC 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 RqcX_x(p 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 @p`#y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 2I>C A[qp 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 .6.oqb 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 V
(X)Qu@R 8.15十五层宽带抗反射膜 159 `^w5/v# 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 g~Q#U;] 8.17 1/4波长堆栈 162 DQ'+,bxk=9 8.18 陷波滤波器 163 ?,s{M^sj^ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 _Thc\{aV# 8.20 褶皱 165 k87B+0QEL 8.21 消偏振分光器1 169 !-2S(8 8.22 消偏振分光器2 171 "$Rl9(} 8.23 消偏振立体分光器 172 j4brDlo?@ 8.24 消偏振截止滤光片 173 -JUv'fk 8.25 立体偏振分束器1 174 dmE-WS 8.26 立方偏振分束器2 177 WJJ!NoP 8.27 相位延迟器 178 $9ON3> 8.28 红外截止器 179 n|^-qy'w 8.29 21层长波带通滤波器 180 .GS|H d 8.30 49层长波带通滤波器 181 T8qG9)~3 8.31 55层短波带通滤波器 182 *(r85lEou) 8.32 47 红外截止器 183 B VPf8!- 8.33 宽带通滤波器 184 v3aiX 8.34 诱导透射滤波器 186 ]`:Fj|> 8.35 诱导透射滤波器2 188 v3@)q0@ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 }b,a*4pN 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 l}<s~ip 8.35 增益平坦滤波器 193 9 -TFyZYU 8.38 啁啾反射镜 1 196 &|9?B!,` 8.39 啁啾反射镜2 198 {OQ sGyR? 8.40 啁啾反射镜3 199 ];Z_S`JR 8.41 带保护层的铝膜层 200 a2YdkdjT 8.42 增加铝反射率膜 201 78NAcP~6c 8.43 参考文献 202 S liF$}J 9 多层膜 204 6NZf!7,B 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 &O!d!Pf 9.2 内部透过率 204 hr)TC- 9.3 内部透射率数据 205 e=_*\`/CN 9.4 实例 206 3-_4p8OK 9.5 实例2 210 } 10Dvt>+ 9.6 圆锥和带宽计算 212 R?]>8o, 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 LFh(.
} 10 光学薄膜的颜色 216 /?by4v73P 10.1 导言 216 [i&tE.7 10.2 色彩 216 i&?~QQP` 10.3 主波长和纯度 220 L(X:=)
!K0 10.4 色相和纯度 221 Zl* HT%-5 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ~%sDQt\S 10.6 色差 226 BKJW\gS2 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 $x`U)pv 10.8 颜色渲染指数 234 &os*@0h4 10.9 色差计算 235 UB(8N7_/ 10.10 参考文献 236 ~}TVM%0RTq 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 H)(Jjk-O 11.1 短脉冲 238 y6G[-?"/Q 11.2 群速度 239 NP|U
|zn 11.3 群速度色散 241 l?#([(WM 11.4 啁啾(chirped) 245 E7j]"\~ i 11.5 光学薄膜—相变 245 "w|GIjE+ 11.6 群延迟和延迟色散 246 r2H]n.MT 11.7 色度色散 246 "h)+fAT|, 11.8 色散补偿 249 ;Hm\?n)a 11.9 空间光线偏移 256 /j.V0% 11.10 参考文献 258 u/hD9g~H7K 12 公差与误差 260 s[Njk@y, 12.1 蒙特卡罗模型 260 x#pTB. 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 =I*"vwc? 12.2.1 误差工具 267 zJ@f {RWZa 12.2.2 灵敏度工具 271 hS<x+|'l 12.2.2.1 独立灵敏度 271 0WYVt"|;}c 12.2.2.2 灵敏度分布 275 )~!Gs/w6 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 9BHl2<&V 12.3 参考文献 276 Bv/v4(G5g 13 Runsheet 与Simulator 277 #<l;YT8 13.1 原理介绍 277 dyu~T{ 13.2 截止滤光片设计 277 z+wBZn{0I 14 光学常数提取 289 ^>]p4Q3 6 14.1 介绍 289 a*vi&$@`Z1 14.2 电介质薄膜 289 0R*!o\y 14.3 n 和k 的提取工具 295 ?K}/b[[0v 14.4 基底的参数提取 302 h`jtmhoz 14.5 金属的参数提取 306 ~/gqXT"> 14.6 不正确的模型 306 9#pl BtQ** 14.7 参考文献 311 gKBcD\F 15 反演工程 313 VE{t]>*-u 15.1 随机性和系统性 313 a*??! 15.2 常见的系统性问题 314 6h;$^3x$ 15.3 单层膜 314 qzV:N8+,` 15.4 多层膜 314 ~2=B:; 15.5 含义 319 Fet>KacTht 15.6 反演工程实例 319 &o)j@5Y? 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
N)&3(A@ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 9g "?`_ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 =Ermh7, 16.1 光学性质的热致偏移 329 {t9'8R3 16.2 应力工具 335 <51 (q_f 16.3 均匀性误差 339 C+2*m=r 16.3.1 圆锥工具 339 vE& 16.3.2 波前问题 341 3O$Q>.0 w/ 16.4 参考文献 343 wVw3YIN# 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 *Q5/d9B8TN 17.1 引言 345 cojuU=i 17.2 操作数 345 @u$4{sjgf\ 18 如何在Function中编写脚本 351 Z?1.Y7Npr 18.1 简介 351 X@jml$;$ 18.2 什么是脚本? 351 T2^@x9 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 'rU5VrK 18.4 基础 352 WM*7p;t@) 18.4.1 Classes(类别) 352 8'/vW ~f 18.4.2 对象 352 !a4pKN`qLY 18.4.3 信息(Messages) 352 QBDi;Xzb+ 18.4.4 属性 352 J
Wof<D, 18.4.5 方法 353 }&EPH}V2n 18.4.6 变量声明 353 s _p?3bKu 18.5 创建对象 354 X[|-F3o 18.5.1 创建对象函数 355 :8\z 0 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 P(qUx9 18.5.3 丢弃对象 356 QnVYZUgJeV 18.5.4 总结 356 M%yT?R+ 18.6 脚本中的表格 357 -*+7-9A I 18.6.1 方法1 357 6uR:/PTG 18.6.2 方法2 357 E3sl"d;~ 18.7 2D Plots in Scripts 358 \*a7DuVw 18.8 3D Plots in Scripts 359 [
98)7 18.9 注释 360 :/d#U:I 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 B-'Xk{ 18.11 一个更高级的脚本 362 BTGPP@p4 18.12 <esc>键 364 } n_9d. 18.13 包含文件 365 8@Y]dzgjj 18.14 脚本被优化调用 366 #t
po@pJsE 18.15 脚本中的对话框 368 s#-`,jqD 18.15.1 介绍 368 n:Ka@ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Ws.F=kS>h 18.15.3 输入框函数 370 _Su$oOy(Ea 18.15.4 自定义对话框 371 M|7xI 18.15.5 对话框编辑器 371 ')+'m1N 18.15.6 控制对话框 377 O-5H7Kd- 18.15.7 更高级的对话框 380 SUHyg/|F 18.16 Types语句 384 d5UdRX]* 18.17 打开文件 385 bp;b;f> 18.18 Bags 387 `epO/Uu\~u 18.13 进一步研究 388 6# ,2 19 vStack 389 _}{C?611c 19.1 vStack基本原理 389 -7$7TD`'7 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Q4}2-}| 19.3 五棱镜 393 d1vC-n
N 19.4 光束距离 396 C.Y]PdYyj 19.5 误差 399 @=isN'>] O 19.6 二向分色棱镜 399 [*]&U6\j 19.7 偏振泄漏 404 Nz\=M|@(# 19.8 波前误差—相位 405 o-yZ$+V 19.9 其它计算参数 405 ;| )&aTdH 20 报表生成器 406 J*5 )g 20.1 入门 406 o.*8$$ 20.2 指令(Instructions) 406 }&bO;o&> 20.3 页面布局指令 406 josc 20.4 常见的参数图和三维图 407 @y2{LUJe 20.5 表格中的常见参数 408 Mx4
<F "9 20.6 迭代指令 408 x9p,j 20.7 报表模版 408 n2Q ~fx<6% 20.8 开始设计一个报表模版 409 _.KKh62CN 21 一个新的project 413 pmv;M`_|R 21.1 创建一个新Job 414 48Vmz 21.2 默认设计 415 )t0Y-),vA 21.3 薄膜设计 416 .m9s+D]fI 21.4 误差的灵敏度计算 420 GNgPf"}K 21.5 显色指数计算 422 *G7/ 21.6 电场分布 424 !c4pFQ B 后记 426 6X$]d^)h{
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