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i5Ggf"![ 内容简介 :TbgFQ86~ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 FrS]|=LJhX 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 M3\AY30L 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 XS#Qu=,- 此书也是Macleod先生生前的最后一部作品,非常有纪念收藏价值!有兴趣的可以联系我 uRvP hkqm k[xSbs'D
K+eM 目录 L *wYx| Preface 1 t Q)qCk07 内容简介 2 ftb\0,- 目录 i pi(m7Ci" 1 引言 1 |Cv!,]9:r 2 光学薄膜基础 2 @d'j zs 2.1 一般规则 2 /^ts9: 2.2 正交入射规则 3 I7onX,U+ 2.3 斜入射规则 6 ytImB`'\ 2.4 精确计算 7 Txu/{M, 2.5 相干性 8 $Sq:q0 2.6 参考文献 10 !$JT e 3 Essential Macleod的快速预览 10 kiEa<-] 4 Essential Macleod的特点 32 J.a]K[ci 4.1 容量和局限性 33 :WEDAFq0 4.2 程序在哪里? 33 5pX6t 4.3 数据文件 35 _BufO7`. 4.4 设计规则 35 t@(HF-4~= 4.5 材料数据库和资料库 37 =_CzH(=f# 4.5.1材料损失 38 Mx}gN:Wt 4.5.1材料数据库和导入材料 39 VY-EmbkG-t 4.5.2 材料库 41 81F9uM0 4.5.3导出材料数据 43 \fOEqe*5SM 4.6 常用单位 43 4W75T2q# 4.7 插值和外推法 46 -"x$ZnHU 4.8 材料数据的平滑 50 _ q"Gix 4.9 更多光学常数模型 54 F ,kZU$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 U{mYTN*:j$ 4.11 撤销和重做 56 }MySaL> 4.12 设计文档 57 + {]j]OP 4.10.1 公式 58 "+c-pO`Wg 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Xw1*(ffk 4.10.3 沉积密度 59 ctQ/wrkU 4.10.4 平行和楔形介质 60 F|8& 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 jXJyc'm7 4.10.4 性能 61 u8^lB7!e/ 4.10.5 保存设计和性能 64 T{"(\X$ 4.10.6 默认设计 64 4+n\k 4.11 图表 64 42{~Lhxt 4.11.1 合并曲线图 67 qq?!LEZ 4.11.2 自适应绘制 68 /
{%%"j 4.11.3 动态绘图 68 ~*7]r`6\@ 4.11.4 3D绘图 69 , gHDx 4.12 导入和导出 73 Om&Dw|xG8 4.12.1 剪贴板 73 vO=fP_ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 >_}
I.\X 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 )oZ dj` 4.13 背景 77 e20-h3h+ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 `cO:<^% 4.15 生成Rugate 84 gw(z1L5
n 4.16 参考文献 91 'w/hw'F6 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 x-c"%Z| 5.1 Jobs 92 M|-)GvR$J 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Kw}'W
8` c 5.3 输入材料 94 ~&O%N 5.4 设计数据文件夹 95 rqq1TRg 5.5 默认设计 95 CTK;dM'uQ 6 细化和合成 97 k)u[0} 6.1 优化介绍 97 sLFl!jX 6.2 细化 (Refinement) 98 Ac6=(B 6.3 合成 (Synthesis) 100 & kIFcd@ 6.4 目标和评价函数 101 p_ =z# 6.4.1 目标输入 102 Tw%
3p= 6.4.2 目标 103 RSds8\tk 6.4.3 特殊的评价函数 104 i4Jc.8^9$ 6.5 层锁定和连接 104 J4utIGF 6.6 细化技术 104 GILfbNcd 6.6.1 单纯形 105 $kgVa^ 6.6.1.1 单纯形参数 106 /?!u{(h } 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 C~[,z.FvO 6.6.2.1 Optimac参数 108 d-m7}2c 6.6.3 模拟退火算法 109 @x1-!
~z# 6.6.3.1 模拟退火参数 109 c,22*.V/ 6.6.4 共轭梯度 111 +p^u^a 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 V :eD]zq5 6.6.5 拟牛顿法 112 -di o5a 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 IID5c"
oR 6.6.6 针合成 113 l2d{ 73h 6.6.6.1 针合成参数 114 AGno6g 6.6.7 差分进化 114 f::Dx1VcX 6.6.8非局部细化 115 ,Q,^3*HX9} 6.6.8.1非局部细化参数 115 *I'yH8Fcn 6.7 我应该使用哪种技术? 116 E4!Fupkpf 6.7.1 细化 116 Al'3? 6.7.2 合成 117 P2!C|SLK 6.8 参考文献 117 ~
1 pr~ 7 导纳图及其他工具 118 yVc(`,tZ( 7.1 简介 118 t5zKW _J7 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 )+M0Y_r 7.2.1 四分之一波长规则 119 bcR_E5x$ 7.2.2 导纳图 120 ':W[ A 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 *A< 5*Db:F 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 r>\bW)e 7.5 斜入射导纳图 141 +#By*;BJ 7.6 对称周期 141 .
.-hAH 7.7 参考文献 142 :4s1CC+@\ 8 典型的镀膜实例 143 S$3JMFA 8.1 单层抗反射薄膜 145 r/sNrB1U"y 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 f5k6`7Vj] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 nm+s{ 8.4 W-膜层 148 8f7>?BUS, 8.5 V-膜层 149 kLY^! 8.6 V-膜层高折射基底 150 C>~TI,5a3 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 K#xvu1U 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 fV:83|eQ 8.9 四层抗反射薄膜 153 i?gSC<a 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 m68*y;# 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 IAEAhqp 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 w*!aZ,P 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ]d`VT)~vje 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 jIF
|P- 8.15十五层宽带抗反射膜 159 DN/YHSYK 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 &?vgP!d&M 8.17 1/4波长堆栈 162 s7EinI{^ 8.18 陷波滤波器 163 TKjFp% 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 @H<q"-J 8.20 褶皱 165 <X5fUU"+U 8.21 消偏振分光器1 169 <1pEwI~ 8.22 消偏振分光器2 171 KF/-wZ"1s 8.23 消偏振立体分光器 172 ?}7p"3j'z 8.24 消偏振截止滤光片 173 KU;9}!# 8.25 立体偏振分束器1 174 {x7, 8.26 立方偏振分束器2 177 gJhiGYx 8.27 相位延迟器 178 875od 8.28 红外截止器 179 1sCR4L:+ 8.29 21层长波带通滤波器 180 y?0nI<}}HK 8.30 49层长波带通滤波器 181 b[7]F 8.31 55层短波带通滤波器 182 8X0z~& 8.32 47 红外截止器 183 'n|5ZhXPB 8.33 宽带通滤波器 184 ^t"'rD-I 8.34 诱导透射滤波器 186 vFsLY 8.35 诱导透射滤波器2 188 4fzZ;2sl} 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 G\?YK.Y> 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Fx+*S3==%e 8.35 增益平坦滤波器 193 .~}1+\~5 8.38 啁啾反射镜 1 196 j7c3(*Pl 8.39 啁啾反射镜2 198 i LAscb 8.40 啁啾反射镜3 199 qCO/?kW 8.41 带保护层的铝膜层 200 d[35d J7F 8.42 增加铝反射率膜 201 ;6wA" 8.43 参考文献 202 $A`VYJtt# 9 多层膜 204 NCx%L-GPi 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ]:f%l
mEy 9.2 内部透过率 204 6R5Qy]]E 9.3 内部透射率数据 205 *#Wdc O`- 9.4 实例 206 Wm3X[?V 9.5 实例2 210 C
$JmzrE 9.6 圆锥和带宽计算 212 -(#iIgmP 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 }{"fJ3] c^ 10 光学薄膜的颜色 216 A9JdU& 10.1 导言 216 9K&:V(gmw 10.2 色彩 216 _y3Xb`0a 10.3 主波长和纯度 220 JG,%qFlk 10.4 色相和纯度 221 aATA9V 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 o lxByzTh> 10.6 色差 226 JZ#[
2mLh 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 h@h! ,; 10.8 颜色渲染指数 234 IMfqiH) 10.9 色差计算 235 m_l[MG\ 10.10 参考文献 236 TU7'J 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 iyp=lLk 11.1 短脉冲 238 ukY"+& 11.2 群速度 239 /SrAW`;" 11.3 群速度色散 241 f`/x"@~H5 11.4 啁啾(chirped) 245 F3N6{ysK# 11.5 光学薄膜—相变 245 ym6K!i]q4 11.6 群延迟和延迟色散 246 j w9b) 11.7 色度色散 246 lPJ\-/>$z 11.8 色散补偿 249 <rmvcim{* 11.9 空间光线偏移 256 }{<
'8J.R 11.10 参考文献 258 \_U$"/$4VH 12 公差与误差 260 /OJ`c`>Q: 12.1 蒙特卡罗模型 260 nQ L@hc 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 D )'bH5 12.2.1 误差工具 267 $a%MOKr 12.2.2 灵敏度工具 271 {u9}bx'< 12.2.2.1 独立灵敏度 271 y|q3Wa 12.2.2.2 灵敏度分布 275 =kqt 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 kM@zyDn, 12.3 参考文献 276 +t:0SRSt 13 Runsheet 与Simulator 277 5P$4 =z91 13.1 原理介绍 277
v<:R# 13.2 截止滤光片设计 277 0{[,E. 14 光学常数提取 289 lu6(C 14.1 介绍 289 F*K_+
?m 14.2 电介质薄膜 289 Jdp3nzM^^@ 14.3 n 和k 的提取工具 295 Z*2Vpnqh\ 14.4 基底的参数提取 302 &(mR>
mT 14.5 金属的参数提取 306 aoa)BNs 14.6 不正确的模型 306 !#"zTj 14.7 参考文献 311 ;xs"j-r/ 15 反演工程 313 Q?/o%`N 15.1 随机性和系统性 313 V,?yPi$#E 15.2 常见的系统性问题 314 |id
<=Xf 15.3 单层膜 314 CWP2{ 15.4 多层膜 314 :<#nTh_@\' 15.5 含义 319 Y7[jqb1D 15.6 反演工程实例 319 Dl8;$~ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 D{~fDRR 15.6.2 反演工程提取折射率 327 {&T_sw@[ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 AZ}Xj>= 16.1 光学性质的热致偏移 329 % -e 82J1 16.2 应力工具 335 RlDn0s 16.3 均匀性误差 339 M+9 gL3W 16.3.1 圆锥工具 339 (DP &B%Sf 16.3.2 波前问题 341 KFkoS0M5| 16.4 参考文献 343 w(TJ*::T 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 H1(Uw:V8 17.1 引言 345 q=qcm`ce 17.2 操作数 345 Q'mM3pq4r 18 如何在Function中编写脚本 351 =+?7''{> 18.1 简介 351 d6sye^P 18.2 什么是脚本? 351 ZEO,]$Yi7 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 g!z&~Z: 18.4 基础 352 *~j@*{u 18.4.1 Classes(类别) 352 [bNx^VP* 18.4.2 对象 352 7;(UF=4 18.4.3 信息(Messages) 352 3CGp`~Zf 18.4.4 属性 352 1s@+;QUib 18.4.5 方法 353 L4|`;WP 18.4.6 变量声明 353 }:*]aL<7_ 18.5 创建对象 354 Y.ToIka{ 18.5.1 创建对象函数 355 'D"C4;X 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 \K]0JH 18.5.3 丢弃对象 356 [o5Hl^ 18.5.4 总结 356 ,V:SN~P66+ 18.6 脚本中的表格 357 ([LSsZ]sj 18.6.1 方法1 357 ;H.^i|_/ 18.6.2 方法2 357 ;Nj7qt 18.7 2D Plots in Scripts 358 {9aE5kR 18.8 3D Plots in Scripts 359 Y6L~K? 18.9 注释 360 <)-Sj, 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 (%W&4a1di 18.11 一个更高级的脚本 362 8rS:5:Hi 18.12 <esc>键 364 e?ly H 18.13 包含文件 365 ?r 2` Q 18.14 脚本被优化调用 366 pKrN:ExB"\ 18.15 脚本中的对话框 368 s)Cjc.Qs 18.15.1 介绍 368 T+K):ug 18.15.2 消息框-MsgBox 368 E5lBdM>2 18.15.3 输入框函数 370 !*. -`$x 18.15.4 自定义对话框 371 6Yxh9*N~] 18.15.5 对话框编辑器 371 f|lU6EkU 18.15.6 控制对话框 377 `eCo~(Fy 18.15.7 更高级的对话框 380 7 uKY24 18.16 Types语句 384 !pdb'*,n 18.17 打开文件 385 RnI&8 18.18 Bags 387 o;R2p $ 18.13 进一步研究 388 JU5C}%Q6 19 vStack 389 Nyj( 0W 19.1 vStack基本原理 389 Mz~D#6= 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 dl@%`E48w 19.3 五棱镜 393 [>%xd)8.c 19.4 光束距离 396 }YNR"X9*)/ 19.5 误差 399 qC:raH_: 19.6 二向分色棱镜 399 ,+{LYF 19.7 偏振泄漏 404 4'A!; ]: 19.8 波前误差—相位 405 ssxzC4m 19.9 其它计算参数 405 }$Tl ?BRpU 20 报表生成器 406 {I #]@, 20.1 入门 406 ;^%4Q" 20.2 指令(Instructions) 406 |pp*|v1t 20.3 页面布局指令 406 $$5aUI:$~$ 20.4 常见的参数图和三维图 407 #& Rw& 20.5 表格中的常见参数 408 LS*y 20.6 迭代指令 408 8Sh54H 20.7 报表模版 408 L(-b@Joh 20.8 开始设计一个报表模版 409 O-I[igNl 21 一个新的project 413 =~H<Z LE+ 21.1 创建一个新Job 414 u5: q$P 21.2 默认设计 415 `FTy+8mw 21.3 薄膜设计 416 DLMM/WJg@ 21.4 误差的灵敏度计算 420 lP@Ki5 21.5 显色指数计算 422 ?!cvf{a 21.6 电场分布 424 iQ
fJ 后记 426 3ojlB |Z
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