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y@9ifFr 内容简介 5;X3{$y Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 8DcIM(;Z 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 |C}= 1 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 _l=X?/ 此书也是Macleod先生生前的最后一部作品,非常有纪念收藏价值!有兴趣的可以联系我 !a^'Jbb nJcY>Rp?
yt#~n_ 目录 "HtaJVp// Preface 1 {C5-M! D{< 内容简介 2 g96]>]A<{ 目录 i rFhi:uRV 1 引言 1 <~n%=^knE 2 光学薄膜基础 2 /dwj:g0y 2.1 一般规则 2 j
W/*-: 2.2 正交入射规则 3 rnRWL4 2.3 斜入射规则 6 pP^5y{ 2.4 精确计算 7 SY$%)(c8kL 2.5 相干性 8 U?A3> 2.6 参考文献 10 ].
0;;v6) 3 Essential Macleod的快速预览 10 :ioD*k 4 Essential Macleod的特点 32 <F?UdMT4y 4.1 容量和局限性 33 ^ wb 9 n 4.2 程序在哪里? 33 x\5v^$ 4.3 数据文件 35 +k\cmDcb 4.4 设计规则 35 ]
D+'Ao^' 4.5 材料数据库和资料库 37 cXbQ 4.5.1材料损失 38 RSBk^ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 <uvA([r=Vq 4.5.2 材料库 41 n..R'vNj 4.5.3导出材料数据 43 7.bPPr& 4.6 常用单位 43 QSyPtjg] 4.7 插值和外推法 46 <`d;>r=4z 4.8 材料数据的平滑 50 . H9a 4.9 更多光学常数模型 54 Y@limkN: 4.10 文档的一般编辑规则 55 {QVs[
J1 4.11 撤销和重做 56 'wVi>{? 4.12 设计文档 57 .4XX
)f5 4.10.1 公式 58 ZiC~8p_f 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 w3jcit| 4.10.3 沉积密度 59 h
I7ur 4.10.4 平行和楔形介质 60 4ZtsLMwLD 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Xp0S 4.10.4 性能 61 _:HQ4s@ 4.10.5 保存设计和性能 64 ?wREX[Tqs 4.10.6 默认设计 64 aRcVoOq 4.11 图表 64 l!j,9wz7 4.11.1 合并曲线图 67 qqSFy>`P 4.11.2 自适应绘制 68 B}^l'p_u 4.11.3 动态绘图 68 K[l5=)G0L 4.11.4 3D绘图 69 3]h*6V1$ 4.12 导入和导出 73 o_n 3.O= 4.12.1 剪贴板 73 `_!R;f 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 n a+P|'6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 gbziEjRe 4.13 背景 77 1@xdzKua1 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 _*CbtQb5 4.15 生成Rugate 84 bVOJp% *s 4.16 参考文献 91 a([8r- zP 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Zu|qN*N4 5.1 Jobs 92 3|=L1Pw# 5.2 创建一个新Job(工作) 93 <jG[
z69) 5.3 输入材料 94 r*{`_G=1
5.4 设计数据文件夹 95 =)nJ'}x 5.5 默认设计 95 yZc#@R[0 6 细化和合成 97 >J/8lS{# 6.1 优化介绍 97 .zsYVtK 6.2 细化 (Refinement) 98 w+iIay 6.3 合成 (Synthesis) 100
Z31a4O 6.4 目标和评价函数 101 6@FGt3y 6.4.1 目标输入 102 1t} 6.4.2 目标 103 *vOk21z77d 6.4.3 特殊的评价函数 104 f7:}t+d 6.5 层锁定和连接 104 ##nC@h@ 6.6 细化技术 104 RKy!=#;17 6.6.1 单纯形 105 qm< mw"] 6.6.1.1 单纯形参数 106 C/MQY:X4 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Xo3@-D_c!c 6.6.2.1 Optimac参数 108 rDv`E^\ 6.6.3 模拟退火算法 109 >DR$}{IV 6.6.3.1 模拟退火参数 109 aUq2$lw1 6.6.4 共轭梯度 111 + P<#6<gR 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 $'3'[Nr(;t 6.6.5 拟牛顿法 112 }z5u^_-m 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 =s&ycc;-5} 6.6.6 针合成 113 7sU,<Z/D 6.6.6.1 针合成参数 114 @.L/HXu-P 6.6.7 差分进化 114 a"^rOiXR{ 6.6.8非局部细化 115 >1$Vh=\OI 6.6.8.1非局部细化参数 115 p#6tKY;N 6.7 我应该使用哪种技术? 116 GK1oS 6.7.1 细化 116 V/BU(`~i 6.7.2 合成 117 avW33owb@ 6.8 参考文献 117 g0#w
4rGF) 7 导纳图及其他工具 118 fWyXy%Qq 7.1 简介 118 L| ;WE= 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 N1hj[G[H" 7.2.1 四分之一波长规则 119 W0<2*7s 7.2.2 导纳图 120 +*wr=9> 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Ho1 V)T> 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 9ePom'1f1 7.5 斜入射导纳图 141 >65\ 7.6 对称周期 141 KBa0 7.7 参考文献 142 k|^`0~E 8 典型的镀膜实例 143 U#|6n , 8.1 单层抗反射薄膜 145 M2I*_pI 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 EAlLxXDDh 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 I8Y
#l'z 8.4 W-膜层 148 3sp-0tUE 8.5 V-膜层 149 j<)`|?@e( 8.6 V-膜层高折射基底 150 ~-#Jcw$+n= 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 OR}+)n{ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 8`_tnARIX 8.9 四层抗反射薄膜 153 51;[R8'w 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 D#gC-, 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 #I\" 'n5M 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 -_= m j 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Q 3/J@MC 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ]KQQdr 8.15十五层宽带抗反射膜 159 KW/LyiP# 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 |,tKw4 8.17 1/4波长堆栈 162 3Hi8=* 8.18 陷波滤波器 163 e m 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 }i J$&CJ 8.20 褶皱 165 `pF7B6[B 8.21 消偏振分光器1 169 8RQv 8.22 消偏振分光器2 171 f{2I2kJr 8.23 消偏振立体分光器 172 =MT'e,T 8.24 消偏振截止滤光片 173 D 9UM8Hxi 8.25 立体偏振分束器1 174
-d^'-s 8.26 立方偏振分束器2 177 H4$f+ 8.27 相位延迟器 178 J$lfI^^ 8.28 红外截止器 179 W}#n.c4+ 8.29 21层长波带通滤波器 180 {C0Y8:"` 8.30 49层长波带通滤波器 181 u:^sEk"Lk' 8.31 55层短波带通滤波器 182 *K BaKS 8.32 47 红外截止器 183 OY2u,LF9H 8.33 宽带通滤波器 184 *%*Bo9a/ 8.34 诱导透射滤波器 186 |
^G38 8.35 诱导透射滤波器2 188 k5Su&e4]] 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ;]@Pm<f 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 r AE5.Q!u 8.35 增益平坦滤波器 193 vM50H 8.38 啁啾反射镜 1 196 o#=C[d5BV 8.39 啁啾反射镜2 198 ("{"8 8.40 啁啾反射镜3 199 zrf
tF2U 8.41 带保护层的铝膜层 200 RhC|x,E 8.42 增加铝反射率膜 201 | AiMx2 8.43 参考文献 202 RC?vU 9 多层膜 204 ? a)Fm8Y 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 )j\_*SoH 9.2 内部透过率 204 J4@-?xj=\q 9.3 内部透射率数据 205 ;e< TEs 9.4 实例 206 ".2d{B 9.5 实例2 210 Y[H769 9.6 圆锥和带宽计算 212 IR#BSfBZ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 JW)f'r_f 10 光学薄膜的颜色 216 (L yK o 10.1 导言 216 #2Iag'4T 10.2 色彩 216 {e q378d 10.3 主波长和纯度 220 q^?a|l 10.4 色相和纯度 221 #sxv?r 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 dMCoN8W 10.6 色差 226 jw`05rw: 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 a=`]
L`|N 10.8 颜色渲染指数 234 w)B?j 10.9 色差计算 235 sN2m?`?"G 10.10 参考文献 236 BC\W`K 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 pWq+`|l$ 11.1 短脉冲 238 LNyrIk/1 11.2 群速度 239 ~X3x-nAt 11.3 群速度色散 241 &FuL{YL 11.4 啁啾(chirped) 245 >239SyC-, 11.5 光学薄膜—相变 245 HUAYtUBH 11.6 群延迟和延迟色散 246 E
AZX 11.7 色度色散 246 [cco/=c 11.8 色散补偿 249 v$w}UC%uf 11.9 空间光线偏移 256 iJZNSRQJ}r 11.10 参考文献 258 5-y*]:g( 12 公差与误差 260 {+nf&5E 6 12.1 蒙特卡罗模型 260 |:.Uw\z5' 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
`*B V@ 12.2.1 误差工具 267 R PoBF~> 12.2.2 灵敏度工具 271 qDYNY` 12.2.2.1 独立灵敏度 271 _>rM[\|X 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ' QMcQvU 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 vhAgX0k 12.3 参考文献 276 'O\ y7"a 13 Runsheet 与Simulator 277 &pjj 13.1 原理介绍 277 RRV%g! 13.2 截止滤光片设计 277 jT}={[9b 14 光学常数提取 289 qw?(^uZNW 14.1 介绍 289 j7lJ7BIr 14.2 电介质薄膜 289 t$wbwP 14.3 n 和k 的提取工具 295 `-OzjbM 14.4 基底的参数提取 302 1dw{:X=j 14.5 金属的参数提取 306 @!u{>!~0 14.6 不正确的模型 306 +ima$a0Zyt 14.7 参考文献 311 /t`\b
[ 15 反演工程 313 ;{L[1OP%e 15.1 随机性和系统性 313 ?|+e*{4k 15.2 常见的系统性问题 314 =y _KL 15.3 单层膜 314 ,[zSz8R 15.4 多层膜 314 q?dd5JzZy, 15.5 含义 319 8V 4e\q 15.6 反演工程实例 319 /e|Lw4$@S 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 d}':7Np 15.6.2 反演工程提取折射率 327 W/hzo*o'g 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 u}|v;:|j 16.1 光学性质的热致偏移 329 [DH4iG5 16.2 应力工具 335 ;?tH8jf> 16.3 均匀性误差 339 {59>U~ 16.3.1 圆锥工具 339 \Ta5c31S+ 16.3.2 波前问题 341 Z,e|L4& 16.4 参考文献 343 v/9ZTd 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 KFwuz()7 17.1 引言 345 T3@2e0u ) 17.2 操作数 345 @#OL{yMy 18 如何在Function中编写脚本 351 eZqEFMBTm 18.1 简介 351 vt2.
i$u 18.2 什么是脚本? 351 }DS%?6}Sy 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 GDSXBa*7 18.4 基础 352 cWZITT{A 18.4.1 Classes(类别) 352 |oLG c!i 18.4.2 对象 352 4
ZnQpKg 18.4.3 信息(Messages) 352 GdI,&|/ 18.4.4 属性 352 *X/Vt$P 18.4.5 方法 353 sTl^j gV7j 18.4.6 变量声明 353 -^2p@^ 18.5 创建对象 354 vj%"x/TP 18.5.1 创建对象函数 355 _ia&|#n 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 IDT\hTPIs 18.5.3 丢弃对象 356 -dA9x~o 18.5.4 总结 356 Pz{MYw 18.6 脚本中的表格 357 m+;U,[%[*E 18.6.1 方法1 357 jVd`J 18.6.2 方法2 357 *3fl}l 18.7 2D Plots in Scripts 358 (ct1i>g 18.8 3D Plots in Scripts 359 Mf#@8"l 18.9 注释 360 R}gdN-941 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Dg.~"h5mT 18.11 一个更高级的脚本 362 e'A_4;~@s 18.12 <esc>键 364 K~,!IU_QG 18.13 包含文件 365 ?D _4KFr 18.14 脚本被优化调用 366 1C{0 R. 18.15 脚本中的对话框 368 <<u]WsW{C 18.15.1 介绍 368 iL);bv W 18.15.2 消息框-MsgBox 368 [mu8V+8@d4 18.15.3 输入框函数 370 pNOE
KiJ 18.15.4 自定义对话框 371 npltsK): 18.15.5 对话框编辑器 371 qsW&kW~ 18.15.6 控制对话框 377 2|lR@L sr 18.15.7 更高级的对话框 380 2PyuM=(Wt 18.16 Types语句 384 ^UJIDg7zS 18.17 打开文件 385 W,6q1 18.18 Bags 387 Rf8Obk< 18.13 进一步研究 388 En9J7es_ 19 vStack 389 f}(4v1T 19.1 vStack基本原理 389 NMK$$0U 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 LF!KP 19.3 五棱镜 393 S/) ),~`4 19.4 光束距离 396 $I*}AUp
v? 19.5 误差 399 X}(X\rp 19.6 二向分色棱镜 399 "$farDDoF 19.7 偏振泄漏 404 ;&=CZ6vH 19.8 波前误差—相位 405 -d'FKOD 19.9 其它计算参数 405 OU7OX]h 20 报表生成器 406 aC2Vz9e 20.1 入门 406 ]sb?lAxh{ 20.2 指令(Instructions) 406 1a(\F7 20.3 页面布局指令 406 Yq00<kIDJ 20.4 常见的参数图和三维图 407 ~/K&=xE 20.5 表格中的常见参数 408 -c?x5/@3 20.6 迭代指令 408 VQH48{X 20.7 报表模版 408 ^g6v#]&WA 20.8 开始设计一个报表模版 409 b'+Wf#.]f0 21 一个新的project 413 KBtqtE'(L 21.1 创建一个新Job 414 !9
kNL 21.2 默认设计 415 51|s2+GG 21.3 薄膜设计 416 7QTS@o- 21.4 误差的灵敏度计算 420 ,= ApnNUgX 21.5 显色指数计算 422 Al*=%nY 21.6 电场分布 424 KyX2CfW}t 后记 426 eR5q3E/;G
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