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Jw9|I)H 内容简介 A2F+$N Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ]xV7)/b5G 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 bCc^)o/w 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 dZv-lMYBE 此书也是Macleod先生生前的最后一部作品,非常有纪念收藏价值!有兴趣的可以联系我 q!}&<w~| "jb?P$
%z1WdiC 目录 kg+"Ta[9 Preface 1 d0IHl!X 内容简介 2 `W{Ye=|[d# 目录 i O{LWQ"@y 1 引言 1 Ma wio5 2 光学薄膜基础 2 F y^!*M- 2.1 一般规则 2 &eyFApM[Z 2.2 正交入射规则 3 (;cbgHo%} 2.3 斜入射规则 6 Fb[<YX" 2.4 精确计算 7 eEupqOF*:W 2.5 相干性 8 P2 f~sx9 2.6 参考文献 10 !!dNp5h` 3 Essential Macleod的快速预览 10 N2=gSEY 4 Essential Macleod的特点 32 eDIjcZ 4.1 容量和局限性 33 Nqewtn9n 4.2 程序在哪里? 33
_^dWJ0 4.3 数据文件 35 sd.:PE < 4.4 设计规则 35 JFl@{6c 4.5 材料数据库和资料库 37 I)9;4lix 4.5.1材料损失 38 sj
Yg 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Vh4z+JOC 4.5.2 材料库 41 a)[t kjU 4.5.3导出材料数据 43 1rT}mm/e; 4.6 常用单位 43 M
HlP)' 4.7 插值和外推法 46 lbTz 4.8 材料数据的平滑 50 !dSY?1>U< 4.9 更多光学常数模型 54 A]ciox$AjW 4.10 文档的一般编辑规则 55 {v<Ig{{V 4.11 撤销和重做 56 Pgs4/ 4.12 设计文档 57 t9W_ [_a9 4.10.1 公式 58 Dy0cA| E 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 qvhTc6oH 4.10.3 沉积密度 59 7@|(z:uw 4.10.4 平行和楔形介质 60 o+q4Vg9& 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 K|E}Ni 4.10.4 性能 61 9:4P7 4.10.5 保存设计和性能 64 2}'&38wMT 4.10.6 默认设计 64 p*n$iroy_{ 4.11 图表 64 4|7L26,]5 4.11.1 合并曲线图 67 2u/(Q># 4.11.2 自适应绘制 68 3-~_F*%ST 4.11.3 动态绘图 68 Fl^.J<Dz 4.11.4 3D绘图 69 +2MsyA?6_ 4.12 导入和导出 73 {#0B~Zr 4.12.1 剪贴板 73 Q/-YLf. 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 enK4`+.7 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 u*}6)=+: 4.13 背景 77 jpT!di 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 'xvV;bi 4.15 生成Rugate 84 q$~S?X5\ 4.16 参考文献 91 1 NLawi6 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 )6^b\` 5.1 Jobs 92 p"JITH:G 5.2 创建一个新Job(工作) 93 V=QvwQlZ 5.3 输入材料 94 u;J9aKD 5.4 设计数据文件夹 95 &3S;5{7_e 5.5 默认设计 95 bP(V#6IJ8 6 细化和合成 97 uWv l<{2 6.1 优化介绍 97 9O~1o?ni 6.2 细化 (Refinement) 98 Z;SRW92@ 6.3 合成 (Synthesis) 100 DV]Kd
7 6.4 目标和评价函数 101 SL>>]A,E<` 6.4.1 目标输入 102 R-bICGSE 6.4.2 目标 103 X*}S(9cg\i 6.4.3 特殊的评价函数 104 -GH#nF3G 6.5 层锁定和连接 104 Et# }XVCJ 6.6 细化技术 104 JwxI8Pi*y 6.6.1 单纯形 105 C7eaioW$ 6.6.1.1 单纯形参数 106 Pg|q{fc 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 x.>z2. 6.6.2.1 Optimac参数 108 rL&585 6.6.3 模拟退火算法 109 >2Z:=HT 6.6.3.1 模拟退火参数 109 L'z;*N3D 6.6.4 共轭梯度 111 *M6M'>Tin 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ?)5}v4b 6.6.5 拟牛顿法 112 %ktU 51o 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 6aXsRhQ~ 6.6.6 针合成 113 IgR_p7['. 6.6.6.1 针合成参数 114 0JKbp*H 6.6.7 差分进化 114 +SZ#s:#SE 6.6.8非局部细化 115 /M\S^!g@ 6.6.8.1非局部细化参数 115 2p(K0PtX 6.7 我应该使用哪种技术? 116 b;Q
cBGwKT 6.7.1 细化 116 (y=P-nm 6.7.2 合成 117 3QM.X^ANH 6.8 参考文献 117 r]kLe2r:B 7 导纳图及其他工具 118 ib;:* 7.1 简介 118 +q1
@8 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 WVf;uob{ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ATPc~f 7.2.2 导纳图 120 \E]s]ft;+ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \CX`PZ>< 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 A!W(> 7.5 斜入射导纳图 141 //_v"dqP{) 7.6 对称周期 141 vEW;~FLd 7.7 参考文献 142 )I$_wB!UV 8 典型的镀膜实例 143 xH; 4lw 8.1 单层抗反射薄膜 145 By:A9s 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 LtXFGPQ f 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 V)_mo/D!D 8.4 W-膜层 148 : ,LX3, 8.5 V-膜层 149 [;h@q} 8.6 V-膜层高折射基底 150 y[.0L!C { 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
*:_xy{m\ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Cf@WjgR
8.9 四层抗反射薄膜 153 oT_k"]~Q~2 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ){icI< 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 +f;z{)%B 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 OI::0KOv 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 pV:X_M6 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 .2Y"=|NdA 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ZYc)_Og 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ,.x1+9X 8.17 1/4波长堆栈 162 !sK{:6s 8.18 陷波滤波器 163 zl4Iq+5~6Q 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Ub4j3` 8.20 褶皱 165 !pQQkZol 8.21 消偏振分光器1 169 Q<w rO 8.22 消偏振分光器2 171 GyRU/0'BME 8.23 消偏振立体分光器 172 +*lSB%`aS 8.24 消偏振截止滤光片 173 SI4M<'fK 8.25 立体偏振分束器1 174 *=UEx0_!q 8.26 立方偏振分束器2 177 U43PHcv_ 8.27 相位延迟器 178 X3<<f`X 8.28 红外截止器 179 JY4 +MApN 8.29 21层长波带通滤波器 180 5 ,q uM" 8.30 49层长波带通滤波器 181 qIuY2b`6 8.31 55层短波带通滤波器 182 _LCK|H%v' 8.32 47 红外截止器 183 P8:k"i/6J 8.33 宽带通滤波器 184 lk)38. 8.34 诱导透射滤波器 186 'HH[[9Q 8.35 诱导透射滤波器2 188 g.iiT/b 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 rcY[jF 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 "b|qyT* Sl 8.35 增益平坦滤波器 193 qMmh2a& 8.38 啁啾反射镜 1 196 ?2aglj*"v, 8.39 啁啾反射镜2 198 _ ?xORzO 8.40 啁啾反射镜3 199 [?.k 8;k 8.41 带保护层的铝膜层 200 65)/|j+ 8.42 增加铝反射率膜 201 !J3g, p* 8.43 参考文献 202 3tA6r 9 多层膜 204 :BNqr[=b 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ")i4w{_y 9.2 内部透过率 204 Fnzv& 9.3 内部透射率数据 205 mC8c`#1T 9.4 实例 206 5)AMl) 9.5 实例2 210 wHEt;rc( 9.6 圆锥和带宽计算 212 Vyf r>pgW1 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ,1a6u3f, 10 光学薄膜的颜色 216 1I<fp $h 10.1 导言 216 hDSt6O4za 10.2 色彩 216 g-bHf]' 10.3 主波长和纯度 220 j[F\f> 10.4 色相和纯度 221 `DUMTFcMX 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 /hQTV!\u 10.6 色差 226 f)Z$,& 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 B#OnooJI 10.8 颜色渲染指数 234 bd5\Rt 10.9 色差计算 235 MRV4D<NQ 10.10 参考文献 236 J4;w9[a$ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 V<*PaS.. 11.1 短脉冲 238 Wj(O_2
11.2 群速度 239 HcavA{H 11.3 群速度色散 241 5N@k9x 11.4 啁啾(chirped) 245 ;%0$3a 11.5 光学薄膜—相变 245 sC(IeGbX 11.6 群延迟和延迟色散 246 K7 -AVMY 11.7 色度色散 246 |Rd?s0u 11.8 色散补偿 249 ; $i{>mDT 11.9 空间光线偏移 256 qRZv[T%*Q 11.10 参考文献 258 -Wd2FD^x 12 公差与误差 260 .D!0$W mOZ 12.1 蒙特卡罗模型 260 nQy.?*X 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 jAie[5 12.2.1 误差工具 267 M%92^;|` 12.2.2 灵敏度工具 271 _zvCc% 12.2.2.1 独立灵敏度 271 NTbmI$( 12.2.2.2 灵敏度分布 275 &)zNu 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 7l/.fSW 12.3 参考文献 276 ;wK; 13 Runsheet 与Simulator 277 A<fKO <d 13.1 原理介绍 277 IW?).%F 13.2 截止滤光片设计 277 {p[{5k 0 14 光学常数提取 289 Ti$G2dBO 14.1 介绍 289 2Tec#eYe 14.2 电介质薄膜 289 aMe]6cWHV> 14.3 n 和k 的提取工具 295 r'/&{?Je/ 14.4 基底的参数提取 302 S81%iz.n 14.5 金属的参数提取 306 :tBIo7 14.6 不正确的模型 306 Q3[MzIk 4 14.7 参考文献 311 n=J~Rssp 15 反演工程 313 VHyH't_&s 15.1 随机性和系统性 313 u1a0w 15.2 常见的系统性问题 314 /Jj7+? 15.3 单层膜 314 %A64AJZ 15.4 多层膜 314 DA]<30w 15.5 含义 319 Ne#FBRu5 15.6 反演工程实例 319 M(8dKj1+ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 h;cl+c|B 15.6.2 反演工程提取折射率 327 FjR/_GPo6 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 @6h,#8# 16.1 光学性质的热致偏移 329 >9dzl# 16.2 应力工具 335 DcYL8u 16.3 均匀性误差 339 FnxPM`Zx 16.3.1 圆锥工具 339 '2Q[g0VR 16.3.2 波前问题 341 /S2lA> 16.4 参考文献 343 9^;Cz>6s 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 #NQpr 17.1 引言 345 G\&9.@`k 17.2 操作数 345 ~wYGTm=(n 18 如何在Function中编写脚本 351 PL} Wu= 18.1 简介 351 C2}n &{T 18.2 什么是脚本? 351 xB-\yWDZe
18.3 Function中脚本和操作数对比 351 :j^IXZW 18.4 基础 352 4fauI%kc 18.4.1 Classes(类别) 352 I\e/
Bv^ 18.4.2 对象 352 b3. 18.4.3 信息(Messages) 352 6`Hd)T5{w 18.4.4 属性 352 wnUuoX( 18.4.5 方法 353 |"}oGL6- 18.4.6 变量声明 353 +@] ,JlYf 18.5 创建对象 354 d~#B,+ 18.5.1 创建对象函数 355 \
SCi\j/a( 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 mR,w~wP 18.5.3 丢弃对象 356 ?vt#M^Q
18.5.4 总结 356 ~:FF"T> 18.6 脚本中的表格 357 j<NZ4Rf 18.6.1 方法1 357 C)UL{n 18.6.2 方法2 357 [=<vapZt 18.7 2D Plots in Scripts 358 @TJxU 18.8 3D Plots in Scripts 359 HuT4OGBFpC 18.9 注释 360 .*}!XKp0j 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Nk63F&J7e 18.11 一个更高级的脚本 362 f \ E9u} 18.12 <esc>键 364 ='A VI-go5 18.13 包含文件 365 H!'Ek[s+ 18.14 脚本被优化调用 366 3d>8~ANi=% 18.15 脚本中的对话框 368 wqxChTbs 18.15.1 介绍 368 YCl&}/.pA 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Mi~x(W@}3 18.15.3 输入框函数 370 'p FK+j 18.15.4 自定义对话框 371 2#
72B 18.15.5 对话框编辑器 371 :o3> 18.15.6 控制对话框 377 &?[g8A 18.15.7 更高级的对话框 380 a =
*' 18.16 Types语句 384 ^F)t>K$0m 18.17 打开文件 385 M^ZEAZi 18.18 Bags 387 `cQAO1-5 18.13 进一步研究 388 S>Z07d6 & 19 vStack 389 gmqA 5W~y 19.1 vStack基本原理 389 V15/~ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ;!S i_b2 19.3 五棱镜 393 E"%dO 19.4 光束距离 396 8n/8uRIR 19.5 误差 399 vpq"mpfkh 19.6 二向分色棱镜 399 j>8S,b=% 19.7 偏振泄漏 404 GIb,y,PDB 19.8 波前误差—相位 405 bvW3[ V 19.9 其它计算参数 405 R ;k1(p 20 报表生成器 406 2c*w{\X 20.1 入门 406 ,ZI#p6 20.2 指令(Instructions) 406 'yo-`nNFD 20.3 页面布局指令 406 /IQ$[WR cx 20.4 常见的参数图和三维图 407 0fGt7 "Q 20.5 表格中的常见参数 408 |.KB 20.6 迭代指令 408 =;"e Z 20.7 报表模版 408 2=
Y8$- 20.8 开始设计一个报表模版 409 |2E:]wT}qg 21 一个新的project 413 hG~HV{6 21.1 创建一个新Job 414 vA"LV+@ 21.2 默认设计 415 +H:}1sT;n 21.3 薄膜设计 416 QE|x[?7e,! 21.4 误差的灵敏度计算 420 A]laS7Q 21.5 显色指数计算 422 6&+}Hhe 21.6 电场分布 424 e'yw8U5E/ 后记 426 wpWZn[j
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