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IyM:9=}5 内容简介 x[u6_6=q9 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 =\mJ5v"hA 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 P#V}l'j(<a 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 QMy1!:Z&! 此书也是Macleod先生生前的最后一部作品,非常有纪念收藏价值!有兴趣的可以联系我 :i|]iXEI" (g&@E(@]?
Xtloyph 目录 aMVq%{U Preface 1 Ktu~%)k% 内容简介 2 ^+0>,-)F 目录 i dkqyn"^ 1 引言 1 4P"XT 2 光学薄膜基础 2 dn:\V?9 2.1 一般规则 2 jeB"j 2.2 正交入射规则 3 X\>/'fC$ 2.3 斜入射规则 6 rU(-R@[" 2.4 精确计算 7 HKIr? 2.5 相干性 8 bR;.KC3C 2.6 参考文献 10 g9=_^^Tg 3 Essential Macleod的快速预览 10 ddbQFAQQQ 4 Essential Macleod的特点 32 NNwGRoDco 4.1 容量和局限性 33 F)Z9Qlo 4.2 程序在哪里? 33 k3KT':* 4.3 数据文件 35 gGN6Yqj0 4.4 设计规则 35 =LgMG^@mu 4.5 材料数据库和资料库 37 @yC3a)=$L 4.5.1材料损失 38 dK0H.| 4.5.1材料数据库和导入材料 39 nrX+ ' 4.5.2 材料库 41
}Oqt=Wm 4.5.3导出材料数据 43 \;!7IIe# 4.6 常用单位 43 LFr$h`_D5 4.7 插值和外推法 46 '=eVem= 4.8 材料数据的平滑 50 AX{7].)F 4.9 更多光学常数模型 54 a 7=lZZ? 4.10 文档的一般编辑规则 55 /8<c~ 4.11 撤销和重做 56 |68u4z K 4.12 设计文档 57 S<-5<Pg 4.10.1 公式 58 [=tIgMmz 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 P,(_y8 4.10.3 沉积密度 59 X?;iSekI4 4.10.4 平行和楔形介质 60 PHUeN]s# 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 {B e9$$W, 4.10.4 性能 61 ==oJhB
4.10.5 保存设计和性能 64 G]{^.5 4.10.6 默认设计 64 8EX?/33$ 4.11 图表 64 }`!-WY 4.11.1 合并曲线图 67 lR9uD9Dr 4.11.2 自适应绘制 68 {oR@'^N 4.11.3 动态绘图 68 MOay^{u 4.11.4 3D绘图 69 c=QN!n:
4.12 导入和导出 73 Bk^o$3# 4.12.1 剪贴板 73 HLdHyK/S 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 =BJe}AV 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 YW&`PJ9o 4.13 背景 77 zL3zvOhu} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 @ &Od1X 4.15 生成Rugate 84 dV16' 4.16 参考文献 91 FjLMN{eH/ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 l N0u1)'2 5.1 Jobs 92 SXN]${ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 nR w f;K 5.3 输入材料 94 _ n1:v~ 5.4 设计数据文件夹 95 4tx6h<L#s 5.5 默认设计 95 K
V 6 细化和合成 97 #0\* 86 6.1 优化介绍 97 JfK4|{@ 6.2 细化 (Refinement) 98 ]ms+Va_/ 6.3 合成 (Synthesis) 100 SJlE!MK 6.4 目标和评价函数 101 F6b;qb6n 6.4.1 目标输入 102 *"4l}& 6.4.2 目标 103 ~jmI`X/ 6.4.3 特殊的评价函数 104 g}uSIv^ 6.5 层锁定和连接 104 s&<76kwl 6.6 细化技术 104 $<Y%4LI 6.6.1 单纯形 105 3-)}.8F 6.6.1.1 单纯形参数 106 N8x.D-=gG 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 NV@$\< 6.6.2.1 Optimac参数 108 (<-m|H}; 6.6.3 模拟退火算法 109 M%W#0 6.6.3.1 模拟退火参数 109 b`,Sd.2=(' 6.6.4 共轭梯度 111 (d
(>0YMv 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 jW-;Y/S 6.6.5 拟牛顿法 112 !(viXV5 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 !^v~hD$_q 6.6.6 针合成 113 A wk1d 6.6.6.1 针合成参数 114 oA7| s1 6.6.7 差分进化 114 Yx,7e(AI` 6.6.8非局部细化 115 |.&GmP 6.6.8.1非局部细化参数 115 ,?Zy4- 6.7 我应该使用哪种技术? 116 V<;_wO^ 6.7.1 细化 116 *!{&n*N 6.7.2 合成 117 E*fa&G~s ) 6.8 参考文献 117 8lS
RK% 7 导纳图及其他工具 118 c': 4e) 7.1 简介 118 Y6v#0pT 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 n:b,zssP 7.2.1 四分之一波长规则 119 DUH_LnHw) 7.2.2 导纳图 120 0>]&9'cn 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 moh,a B# 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 {XUSw8W' 7.5 斜入射导纳图 141 C>mFylN 7.6 对称周期 141 W- nS{v( 7.7 参考文献 142 RrYNtc 8 典型的镀膜实例 143 s0/m qZ]s 8.1 单层抗反射薄膜 145 jp@X,HES 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 csxn"Dz\ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ,dw\y/dn 8.4 W-膜层 148 Q~k|lTf 8.5 V-膜层 149 ^tWSu?9 8.6 V-膜层高折射基底 150 W1t_P&i 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 m}zXy\ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 sG[qlzR=8 8.9 四层抗反射薄膜 153 lN{>.q@V`r 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Z7[S698 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 w'VuC82SZ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 4xg1[Z%: 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 >i.$s 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 dLwP7#r 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ?i\V^3S n$ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 pv&iJ7RN 8.17 1/4波长堆栈 162 #F2DEo^0 8.18 陷波滤波器 163 QZa^Cng~ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 d(R8^v/L 8.20 褶皱 165 h4MBw=Tz~ 8.21 消偏振分光器1 169 @~N"MsF3 8.22 消偏振分光器2 171 )1R[X!KQ7 8.23 消偏振立体分光器 172 @H(7Mt 8.24 消偏振截止滤光片 173 aRI. &3- 8.25 立体偏振分束器1 174 $=^}J6 8.26 立方偏振分束器2 177 (nuTfmt> 8.27 相位延迟器 178 -eS r 8.28 红外截止器 179 \u[5O@v# 8.29 21层长波带通滤波器 180 "&^KnWk= 8.30 49层长波带通滤波器 181 (b&Z\?" 8.31 55层短波带通滤波器 182 R\#5;W^ 8.32 47 红外截止器 183 $AMcU5^b7 8.33 宽带通滤波器 184 .pm%qEh 8.34 诱导透射滤波器 186 TL7qOA7^X 8.35 诱导透射滤波器2 188 zcH"Kh& 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 yv>uzb`N 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 [Fk|m1i! 8.35 增益平坦滤波器 193 >TawJ"q-6R 8.38 啁啾反射镜 1 196 u(?U[pe[ 8.39 啁啾反射镜2 198 0o BAJP 8.40 啁啾反射镜3 199 B,Tv9(sv 8.41 带保护层的铝膜层 200 eoQt87VCU 8.42 增加铝反射率膜 201 ]gv3|W 8.43 参考文献 202 [z=!OFdE 9 多层膜 204 Ukf:m&G 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 qf<o"B|_9 9.2 内部透过率 204 AE`{k-3=% 9.3 内部透射率数据 205 T('rM:)/ 9.4 实例 206 _+7P"B|\ 9.5 实例2 210 xCT2FvX6 9.6 圆锥和带宽计算 212 f><V;D# 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 XbFo#Pwk 10 光学薄膜的颜色 216 `022gHYv 10.1 导言 216 /~fu,2=7 10.2 色彩 216 ,nP nH1vb 10.3 主波长和纯度 220 (I>S qM
Y 10.4 色相和纯度 221 f.oY:3h: 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 w+5OI9 10.6 色差 226 AxTFVot 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 s=E6HP@q 10.8 颜色渲染指数 234 }S13]Kk?= 10.9 色差计算 235 -qpM 6t 10.10 参考文献 236 _z.CV< 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ~YviXSW 11.1 短脉冲 238 EBQ_c@ 11.2 群速度 239 !/|B4Yv 11.3 群速度色散 241 v{*2F 11.4 啁啾(chirped) 245 }v_|N"@ 11.5 光学薄膜—相变 245 dpt P(H 11.6 群延迟和延迟色散 246 r(wtuD23q 11.7 色度色散 246 n%~r^C_ 11.8 色散补偿 249 )fS6H<* 11.9 空间光线偏移 256 a_b+RMy 11.10 参考文献 258 !A|}_K1Cr 12 公差与误差 260 $`0,N_C<} 12.1 蒙特卡罗模型 260 N#R8ez` 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 }20tdD ~ 12.2.1 误差工具 267 tO"AeZe%| 12.2.2 灵敏度工具 271 _)3C_G1! 12.2.2.1 独立灵敏度 271 CR#-!_=4 12.2.2.2 灵敏度分布 275 7/Bj WU5* 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 4@a/k[, 12.3 参考文献 276 n>SK2` 13 Runsheet 与Simulator 277 [E2".F3 13.1 原理介绍 277 `G*fx=N 13.2 截止滤光片设计 277 Tpkt'|8 14 光学常数提取 289 i-dosY`81 14.1 介绍 289 BI!E mA 14.2 电介质薄膜 289 < mFU T 14.3 n 和k 的提取工具 295 \]\GDpu[ 14.4 基底的参数提取 302 c@4$)68 14.5 金属的参数提取 306 ^hT2ed + 14.6 不正确的模型 306 [+}0K{(O= 14.7 参考文献 311 UKB/>:R 15 反演工程 313 G1ruF8 15.1 随机性和系统性 313 vJx( lU`Y 15.2 常见的系统性问题 314 |B^Picu 15.3 单层膜 314 tBsvi%F 15.4 多层膜 314 l%yQ{loTh 15.5 含义 319 6bf!v 15.6 反演工程实例 319 ^EmePkPI 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Lo}/k}3Sx 15.6.2 反演工程提取折射率 327 lC
d\nE8G 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 !)}z{,Jx 16.1 光学性质的热致偏移 329 ,eqRI>,\ 16.2 应力工具 335 c+whpQ=01 16.3 均匀性误差 339 CWd
& 16.3.1 圆锥工具 339 ;oVOq$ql 16.3.2 波前问题 341 ^R7X!tOq4 16.4 参考文献 343 2)
2:KX 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 PVmePgF
17.1 引言 345 a,fcR< 17.2 操作数 345 F2)KAIl 18 如何在Function中编写脚本 351 \y7Gi}nI 18.1 简介 351 Sm|TDH 18.2 什么是脚本? 351 sdgI , 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 4"^W/Zo 18.4 基础 352 7.kH="@ 18.4.1 Classes(类别) 352 m-cw5lW 18.4.2 对象 352 Dx9k%G)! 18.4.3 信息(Messages) 352 KyqP@
{ 18.4.4 属性 352 #9qX:*>h 18.4.5 方法 353 < |