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X[H .t$w5A 内容简介 );iJ9+ V} Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 9xq3>( 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 jPZ+~:m+ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 1!;~Y# 此书也是Macleod先生生前的最后一部作品,非常有纪念收藏价值!有兴趣的可以联系我 R@NFpiw Bw!J!cCj
2Q]W 目录 zjcSn7iu Preface 1 y(22m+B 内容简介 2 x7^VU5w# 目录 i ~,KrL(jC 1 引言 1 C@t,oDU# 2 光学薄膜基础 2 H Q[ 2.1 一般规则 2 $M0l
(htR 2.2 正交入射规则 3 vL[IVBG^ 2.3 斜入射规则 6 :OjmaP 2.4 精确计算 7 AY<L8 2.5 相干性 8 ntPj9#lf 2.6 参考文献 10 8mRZ(B>% X 3 Essential Macleod的快速预览 10 ik)u/r DW 4 Essential Macleod的特点 32 ??P\v0E 4.1 容量和局限性 33 4
$Kzh 4.2 程序在哪里? 33 <"`f!k#[ 4.3 数据文件 35 eg?p)| 4.4 设计规则 35 _yH">x< 4.5 材料数据库和资料库 37 qc)+T_m 4.5.1材料损失 38 T]1.":
4.5.1材料数据库和导入材料 39 ecH7") 4.5.2 材料库 41 o+{i26% 4.5.3导出材料数据 43 kCz2uG)l 4.6 常用单位 43 Z rNH:Z:5 4.7 插值和外推法 46 ;w]1H&mc*A 4.8 材料数据的平滑 50 e];IQ| 4.9 更多光学常数模型 54 RL]$" 4.10 文档的一般编辑规则 55 ?G~rYETvw 4.11 撤销和重做 56 `
-SC,qHw 4.12 设计文档 57 F=*t]X[z} 4.10.1 公式 58 F g):>];<9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ^{0*?,-x 4.10.3 沉积密度 59 CK4#ZOiaa 4.10.4 平行和楔形介质 60 ,-k?"|tQ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 5\}Y=Pa 4.10.4 性能 61 &"T7KXx 4.10.5 保存设计和性能 64 D,FgX/&i/ 4.10.6 默认设计 64 $I#~<bW, 4.11 图表 64 Q;=4']hYU 4.11.1 合并曲线图 67 Lr\(7r 4.11.2 自适应绘制 68 ;Z"Iv 4.11.3 动态绘图 68 Kc1w[EQ 4.11.4 3D绘图 69 2Z<S^9O9 4.12 导入和导出 73 +9t{ovF?L 4.12.1 剪贴板 73 'zMmJl}\vd 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 >}]bKq 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 uV}GUE%W 4.13 背景 77 :*|So5fs 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 F`,bFQ 4.15 生成Rugate 84 `2V{]F 4.16 参考文献 91 0lYP!\J3]% 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 _:Y|a> 5.1 Jobs 92 "~6&rt 5.2 创建一个新Job(工作) 93 rXTdhw?+ 5.3 输入材料 94 ,5t_}d|3C= 5.4 设计数据文件夹 95 ]eFNR1<OP 5.5 默认设计 95 r<P? F 6 细化和合成 97 AtAu$"ue 6.1 优化介绍 97 l#>A.-R*` 6.2 细化 (Refinement) 98 Dp} $q`F[ 6.3 合成 (Synthesis) 100 ~e){2_J&n 6.4 目标和评价函数 101 *8%uXkM m 6.4.1 目标输入 102 QOJ5 6.4.2 目标 103 vZ=dlu_t 6.4.3 特殊的评价函数 104 =PjdL32 6.5 层锁定和连接 104 6BXZGE 6.6 细化技术 104 SEZ08:>x r 6.6.1 单纯形 105 DC$> 5FDv 6.6.1.1 单纯形参数 106 =1O;,8` 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 $"Ci{iE 6.6.2.1 Optimac参数 108 f=4q]y#& X 6.6.3 模拟退火算法 109 nnd-d+$ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 \C1`F[d_ 6.6.4 共轭梯度 111 |hu9)0P 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 SvQj'5~< 6.6.5 拟牛顿法 112 j(_6.zf 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 }~<9*M-P 6.6.6 针合成 113 g9=O<u# 6.6.6.1 针合成参数 114 >lO]/3j1 6.6.7 差分进化 114 Nb>C5TjR 6.6.8非局部细化 115 6:G::"ew 6.6.8.1非局部细化参数 115 ~c>]kL(, 6.7 我应该使用哪种技术? 116 0IbR>zFg. 6.7.1 细化 116 ;@[ax{ J 6.7.2 合成 117 >>h0(G| 6.8 参考文献 117 il:RE8 7 导纳图及其他工具 118 tW3Nry 7.1 简介 118 }/%^;@q ; 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 x.U:v20` 7.2.1 四分之一波长规则 119 glNXamo 7.2.2 导纳图 120 X]Ma:1+ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 vnv:YQV/ir 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 "nn>I}jK 7.5 斜入射导纳图 141 xJE26i 7.6 对称周期 141 8lT2qqlr 7.7 参考文献 142 E#M4{a1 8 典型的镀膜实例 143 /y5a~3 8.1 单层抗反射薄膜 145 .RWKZB 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ZG-[Gz 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ,*{9g6 8.4 W-膜层 148 >l0D,-O]m 8.5 V-膜层 149 @:G#[>nKe 8.6 V-膜层高折射基底 150 `F' >NNY 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 G\o*j| 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 aECQ(]q 8.9 四层抗反射薄膜 153 `1U?^9Nf 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 xrCb29{ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Kx5VR4f`J@ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 OLgW.j:Ag 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 6 2#dSd}HG 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Qo \;) 8.15十五层宽带抗反射膜 159 hS 7o=G[ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 }6^d/nE*T
8.17 1/4波长堆栈 162 94xRKQ} 8.18 陷波滤波器 163 j?cE0
hz 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 j692M.A 8.20 褶皱 165 d(8X?k.S 8.21 消偏振分光器1 169 Wk&g!FR 8.22 消偏振分光器2 171 ]&RC<imq 8.23 消偏振立体分光器 172 )]a{cczL" 8.24 消偏振截止滤光片 173 j_2yTz"G- 8.25 立体偏振分束器1 174 1{7*0cv$iL 8.26 立方偏振分束器2 177 9H4NvB{ 8.27 相位延迟器 178 @u}1 S1 8.28 红外截止器 179 {E+o+2L 8.29 21层长波带通滤波器 180 Fj~,> 8.30 49层长波带通滤波器 181 &>&UqWL 8.31 55层短波带通滤波器 182 .gK>O2hI 8.32 47 红外截止器 183 fmQ`8b 8.33 宽带通滤波器 184 JVgV,4 1 8.34 诱导透射滤波器 186 :CJ]^v 8.35 诱导透射滤波器2 188 l;C00ZBOc 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ndU<,{r 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 20XN5dTFT 8.35 增益平坦滤波器 193 W~e/3#R\= 8.38 啁啾反射镜 1 196 y6*9, CF 8.39 啁啾反射镜2 198 i{
" g7 8.40 啁啾反射镜3 199 Y={_o!9 8.41 带保护层的铝膜层 200 aV9QIH~ 8.42 增加铝反射率膜 201 FnFJw;:,{ 8.43 参考文献 202 %kRQ9I". 9 多层膜 204 e
MT5bn 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 );zLy?n 9.2 内部透过率 204 mDT"%I"4j 9.3 内部透射率数据 205 ~ojH$=K>d 9.4 实例 206 a$r<%a6 9.5 实例2 210 G(~
s(r{%I 9.6 圆锥和带宽计算 212 L&WhX3$u 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 `(rnD 10 光学薄膜的颜色 216 3{wmKo|_X 10.1 导言 216 uFzvb0O`O
10.2 色彩 216 ]N\J~Gm 10.3 主波长和纯度 220 hrRkam !y 10.4 色相和纯度 221 (rM-~h6g 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Gidh7x 10.6 色差 226 ,o3{?o]s 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 GjmPpKIu\ 10.8 颜色渲染指数 234 E9]/sFA-] 10.9 色差计算 235 aOj(=s 10.10 参考文献 236 1I{^]]qw 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ># {,(8\ 11.1 短脉冲 238 Y2)2
tzr] 11.2 群速度 239 _qZ?|;o^ 11.3 群速度色散 241 R*v~jR/ 11.4 啁啾(chirped) 245 *Z+8L*k97 11.5 光学薄膜—相变 245 K|n$-WDG} 11.6 群延迟和延迟色散 246 v7i5R ! 11.7 色度色散 246 Fjc4[ C 11.8 色散补偿 249 }3"FQ/6C 11.9 空间光线偏移 256 5L'bF2SI 11.10 参考文献 258 3kl<~O|Fs 12 公差与误差 260
)N8[@ 12.1 蒙特卡罗模型 260 xS4B"/ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 yK$.wd2, 12.2.1 误差工具 267 HW{si]~q 12.2.2 灵敏度工具 271 J^Dkx"1GD 12.2.2.1 独立灵敏度 271 x"n!nT%Z 12.2.2.2 灵敏度分布 275 \Kx@?, 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 DPU%4te 12.3 参考文献 276 !L+4YA 13 Runsheet 与Simulator 277 YPjjSi:# 13.1 原理介绍 277 1YGj^7V)|Z 13.2 截止滤光片设计 277 bVB_KE 14 光学常数提取 289 vS! TnmF 14.1 介绍 289 ,9(=Iu-?1 14.2 电介质薄膜 289 OZ/P@`kN.f 14.3 n 和k 的提取工具 295 d!V;\w 14.4 基底的参数提取 302 x6, #Jp 14.5 金属的参数提取 306 zyznFiE 14.6 不正确的模型 306 igoXMsifT+ 14.7 参考文献 311 Dlc=[kf9 15 反演工程 313 ?,_$;g 15.1 随机性和系统性 313 ;*3OkNxa3 15.2 常见的系统性问题 314 dG6 G 15.3 单层膜 314 rmX'Ym9# 15.4 多层膜 314 l3d^V&Sk 15.5 含义 319 e|`QW|9 . 15.6 反演工程实例 319 \S[7-:Lu^ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 2D5S%27, 15.6.2 反演工程提取折射率 327 VtNY~ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 r%M.rYLG{ 16.1 光学性质的热致偏移 329 fM[Qn*. 16.2 应力工具 335 cULASS`, 16.3 均匀性误差 339 Lo'P;Sb4<} 16.3.1 圆锥工具 339 QB<9Be@e 16.3.2 波前问题 341 "pb$[*_@$ 16.4 参考文献 343 y"|QY!fK 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 \DP*?D_}? 17.1 引言 345 Pj4WWK X 17.2 操作数 345
2EG` 18 如何在Function中编写脚本 351 pEc|h*p8 18.1 简介 351 6g/ <FM 18.2 什么是脚本? 351 '=|2, H] 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ;Up'+[Vj'C 18.4 基础 352 6m#V=4e* 18.4.1 Classes(类别) 352 Dc,h(2 18.4.2 对象 352 YCJ6an 18.4.3 信息(Messages) 352 w"s;R8 18.4.4 属性 352 sSisO?F!Z 18.4.5 方法 353 Y\7>>? 18.4.6 变量声明 353 8p4J7 - 18.5 创建对象 354 7Ao9MF- 18.5.1 创建对象函数 355 nXgnlb= 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 R,mOV8y"W[ 18.5.3 丢弃对象 356 _[zZm* 18.5.4 总结 356 \)\uAI- 18.6 脚本中的表格 357 <eU1E}BDQ 18.6.1 方法1 357 ?F{sym@i 18.6.2 方法2 357 #fq%903=
18.7 2D Plots in Scripts 358 )tH.P:
1~, 18.8 3D Plots in Scripts 359 1 &24:& 18.9 注释 360 ==zt)s.G(+ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 tDWW
4H 18.11 一个更高级的脚本 362 VrV
)qfG 18.12 <esc>键 364 3AKT>Wy = 18.13 包含文件 365 \!!qzrq 18.14 脚本被优化调用 366 N?xZ]?T 18.15 脚本中的对话框 368 -6 WjYJx 18.15.1 介绍 368 :O`7kZ]=n 18.15.2 消息框-MsgBox 368 1J`<'{* 18.15.3 输入框函数 370 vNMndo! 18.15.4 自定义对话框 371 eWKFs)C] 18.15.5 对话框编辑器 371 B,Pbm|U1 18.15.6 控制对话框 377 xC3h m 18.15.7 更高级的对话框 380 $8/=@E{51 18.16 Types语句 384 oXC|q-(C 18.17 打开文件 385 st-
z>} 18.18 Bags 387 &cZQ,o 18.13 进一步研究 388 {e'P*j 19 vStack 389 x)35}mi){L 19.1 vStack基本原理 389 iA~LH6 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 YmrrZ&]q 19.3 五棱镜 393 6MCLm.L 19.4 光束距离 396 Ro}7ERA 19.5 误差 399 oo+i3af&7 19.6 二向分色棱镜 399 (/mR
p 19.7 偏振泄漏 404 7+N0$0w%r 19.8 波前误差—相位 405 ,/fB~On- 19.9 其它计算参数 405 /9SEW!E 20 报表生成器 406 !.2tv 20.1 入门 406 '99rXw 20.2 指令(Instructions) 406 u%t/W0xi 20.3 页面布局指令 406 'hoEdJ]t5 20.4 常见的参数图和三维图 407 YkN0,6 20.5 表格中的常见参数 408 1bz%O2U-( 20.6 迭代指令 408 H=/ ; 20.7 报表模版 408 Y)O88C 20.8 开始设计一个报表模版 409 !:]/MpQ ? 21 一个新的project 413 MyZ5~jnr\ 21.1 创建一个新Job 414 ]$7yB3S,B 21.2 默认设计 415 )%+7"7. 21.3 薄膜设计 416 |e QwI& 21.4 误差的灵敏度计算 420 +=Y[RCXT 21.5 显色指数计算 422 "W b>y*S 21.6 电场分布 424 +s j2C 后记 426 rq#\x{l
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