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T?% F 内容简介 sRYFu% Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 { >4exyu6 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Z7%>O:@z 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 a{H~>d<? 此书也是Macleod先生生前的最后一部作品,非常有纪念收藏价值!有兴趣的可以联系我 ?(R6}ab>K7 `Th!bk
';$2j~ 目录 m >'o&Hj Preface 1 fx=aT 内容简介 2 &&>OhH` 目录 i i[FBll- 1 引言 1 *SC~_ 2 光学薄膜基础 2 Uh&MoIBs# 2.1 一般规则 2 4}=]QQoE 2.2 正交入射规则 3 #X|'RL($ 2.3 斜入射规则 6 r$0"Y-a 2.4 精确计算 7 u2BVQ<SA 2.5 相干性 8 0p~:fm 2.6 参考文献 10 `cf&4Hn 3 Essential Macleod的快速预览 10 $XaZqzeVI 4 Essential Macleod的特点 32 T}fo:aB} 4.1 容量和局限性 33 LM<OYRB( 4.2 程序在哪里? 33 .|_+>){$w 4.3 数据文件 35 9C`Fd S 4.4 设计规则 35 *^QfTKN 4.5 材料数据库和资料库 37 E8)C_[QJ` 4.5.1材料损失 38 FK+jfr [ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 O </< 4.5.2 材料库 41 scrNnO[3j 4.5.3导出材料数据 43 V!~uGf 4.6 常用单位 43 J *^|ojX 4.7 插值和外推法 46 {{giSW' 4.8 材料数据的平滑 50 m]&d TZV 4.9 更多光学常数模型 54 xe%+Yb] 4.10 文档的一般编辑规则 55 wUl}x)xo 4.11 撤销和重做 56 L,\ Yj 4.12 设计文档 57 b vUYLWzS 4.10.1 公式 58 =Y
/ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 8Zwq:lV Q 4.10.3 沉积密度 59 HnU}Lhjzj 4.10.4 平行和楔形介质 60 jcevpKkRG 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 >#xpg&2x 4.10.4 性能 61 #d__ 4.10.5 保存设计和性能 64 \@tt$ m% 4.10.6 默认设计 64 4Mnne'7 4.11 图表 64 6%O" 4.11.1 合并曲线图 67 O cm 4.11.2 自适应绘制 68 lSQANC' 4.11.3 动态绘图 68 d}IVYI 4.11.4 3D绘图 69 Xc`'i@FX 4.12 导入和导出 73 %6*xnB? 4.12.1 剪贴板 73 JCS$Tm6y<_ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 1*(^<x+n 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 op[OB= 4.13 背景 77 m#DC;(Pn 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 <Gs)~T#' 4.15 生成Rugate 84 =>/aM7] 4.16 参考文献 91 nj
#Ab 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 o;-)84Aa 5.1 Jobs 92 }1Q]C"hY 5.2 创建一个新Job(工作) 93 +loD{
5.3 输入材料 94 mp!6MO Q 5.4 设计数据文件夹 95 S'2B 5.5 默认设计 95 K)F;^)KDHf 6 细化和合成 97 3'*SSZmnOB 6.1 优化介绍 97 IjJ3./L!5 6.2 细化 (Refinement) 98 |o=eS&) 6.3 合成 (Synthesis) 100 HWD
6.4 目标和评价函数 101 >/}v8k 1v 6.4.1 目标输入 102 jjEkz 5 6.4.2 目标 103 \jZvP`.2 6.4.3 特殊的评价函数 104 [%z~0\lu8 6.5 层锁定和连接 104 9C3q4.$D 6.6 细化技术 104 R\1#)3e0 6.6.1 单纯形 105 C$
nT&06o 6.6.1.1 单纯形参数 106 R:Z{,R+
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 7BdvJ" 6.6.2.1 Optimac参数 108 ysDfp'C, 6.6.3 模拟退火算法 109 M}3>5*!= 6.6.3.1 模拟退火参数 109 MQw{^6Z>1 6.6.4 共轭梯度 111 C6:<.`iD87 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 SJj0*ry: 6.6.5 拟牛顿法 112 ImyB4welo 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ~h tV*R 6.6.6 针合成 113 Yb6(KT 6.6.6.1 针合成参数 114 pH'#v]" 6.6.7 差分进化 114 `R=8=6Z+$q 6.6.8非局部细化 115 j`ggg]"&$ 6.6.8.1非局部细化参数 115 W UDQb5k 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ki=-0G*] 6.7.1 细化 116 l[L\|hv'n 6.7.2 合成 117 xgnt)&7T 6.8 参考文献 117 Xn9TQ"[4 7 导纳图及其他工具 118 8%>
Ls 7.1 简介 118 _`*x} 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ?VO*s-G:J 7.2.1 四分之一波长规则 119 wp$CJ09f* 7.2.2 导纳图 120 *ZF7m_8u{ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 L]9uY 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 T&X*[kP 7.5 斜入射导纳图 141 Quc9lL 7.6 对称周期 141 N:\I]M 7.7 参考文献 142 ! E#XmYhX= 8 典型的镀膜实例 143 VQ{}S $jQ 8.1 单层抗反射薄膜 145 fA2H8"r 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 {&,a)h7& 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 _:?)2 NV 8.4 W-膜层 148 2?nK71c" 8.5 V-膜层 149 TOeJnk 8.6 V-膜层高折射基底 150 JrQ*.lJj 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 3[pA:Z+xx 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 G6]M~:<i 8.9 四层抗反射薄膜 153 -=s7Q{O8Z 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 w<.{(1:v 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 tB8XnO_c 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 <dLdSEw 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 (zCas}YAKI 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 W5<1@ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 E<>n0", 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 &d[&8V5S 8.17 1/4波长堆栈 162 J`Q#p%W 8.18 陷波滤波器 163 blk~r0.2 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 $._p !, < 8.20 褶皱 165 ? D2:'gg 8.21 消偏振分光器1 169 ^mm:u<Yt 8.22 消偏振分光器2 171 ,H'O`oV!1E 8.23 消偏振立体分光器 172 %o.{h 8.24 消偏振截止滤光片 173 v@&&5J| 8.25 立体偏振分束器1 174 .^X IZ 8.26 立方偏振分束器2 177 sX^m1v~N| 8.27 相位延迟器 178 QA+qFP 8.28 红外截止器 179 *.8@hPy 8.29 21层长波带通滤波器 180 K%Vl:2#F 8.30 49层长波带通滤波器 181 Azxy!gDT" 8.31 55层短波带通滤波器 182 _6;T
/_R= 8.32 47 红外截止器 183 bT@3fuL4 8.33 宽带通滤波器 184 s,\!@[N 8.34 诱导透射滤波器 186 Ha)eeE$ 8.35 诱导透射滤波器2 188 (B.J8`h } 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 q UY;CEf 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 V)^nVD)e 8.35 增益平坦滤波器 193 oQBfDD0 8.38 啁啾反射镜 1 196 \=?f4*4|/ 8.39 啁啾反射镜2 198 GE\@mu *pO 8.40 啁啾反射镜3 199 5lu620o 8.41 带保护层的铝膜层 200 ^D/:[ 8.42 增加铝反射率膜 201 l
Ztq_* Fl 8.43 参考文献 202 B-
N 9 多层膜 204 q*SX.A>YR 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 rg]eSP3W 9.2 内部透过率 204 <*<7p{x 9.3 内部透射率数据 205 nsqc^
K^ 9.4 实例 206 '
^^]Or 9.5 实例2 210 7[[XNJP 9.6 圆锥和带宽计算 212 m/5:-xL31 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 NmthvKhH 10 光学薄膜的颜色 216 m,K0BL 10.1 导言 216 v<,?%(g)7 10.2 色彩 216 40<ifz[7 10.3 主波长和纯度 220 {n2mh%I 10.4 色相和纯度 221 iEux`CcJ. 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 $5z
O=` 10.6 色差 226 [R iCa 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
"<SK=W 10.8 颜色渲染指数 234 _'JKPD[ 10.9 色差计算 235 bEfxu;Su3 10.10 参考文献 236 )zkk%mE/IM 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 eNY$N_P 11.1 短脉冲 238 V
lN&Lz 11.2 群速度 239 IKb 7#Ut 11.3 群速度色散 241 ^n"ve2 11.4 啁啾(chirped) 245 r3<yG"J86 11.5 光学薄膜—相变 245 ~Aq;g$IJZ 11.6 群延迟和延迟色散 246 e*;-vS9H 11.7 色度色散 246 m*tmmP4R 11.8 色散补偿 249 s
de|t 11.9 空间光线偏移 256 @[D-2s 11.10 参考文献 258 ~rN~Ql%S 12 公差与误差 260 LGGC=;{} 12.1 蒙特卡罗模型 260 &uI`Xq. 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 dWwh?{n 12.2.1 误差工具 267 id8a#&t] 12.2.2 灵敏度工具 271 yf(VwU,
x 12.2.2.1 独立灵敏度 271 tJy6\~ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 \b?z\bC56 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 %,Xs[[?i 12.3 参考文献 276 QXqBb$AXi, 13 Runsheet 与Simulator 277 _[zO?Div[ 13.1 原理介绍 277 '\Z54$ 13.2 截止滤光片设计 277 hJ 4]GA' 14 光学常数提取 289 B v/]>Z 14.1 介绍 289 23BzD^2a 14.2 电介质薄膜 289 n,SD JsS^ 14.3 n 和k 的提取工具 295 *[t@j*al 14.4 基底的参数提取 302 Jf{6'Ub 14.5 金属的参数提取 306 _ #288`bU 14.6 不正确的模型 306 D'2&'7-sm\ 14.7 参考文献 311 \2~Cn c*O 15 反演工程 313 $q.%4 15.1 随机性和系统性 313 Ufd{.o[{- 15.2 常见的系统性问题 314 2uu"0Rm% 15.3 单层膜 314 @JVax -N 15.4 多层膜 314 %b<cJ]F 15.5 含义 319 T|`nw_0 15.6 反演工程实例 319 [GJ_]w^}j 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 EH<rUv63 15.6.2 反演工程提取折射率 327 NCbn<ojb 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 DyIuM{Owj 16.1 光学性质的热致偏移 329 tYK
5?d 16.2 应力工具 335 ,r!_4|\ 16.3 均匀性误差 339 Hz&a~ 16.3.1 圆锥工具 339 {{w5F2b((% 16.3.2 波前问题 341 >u?pq6; 16.4 参考文献 343 2'UWPZgE 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 PMC5qQ%x 17.1 引言 345 *J,VvO9 17.2 操作数 345 ^=Q/H 18 如何在Function中编写脚本 351 U0G( 18.1 简介 351 Ml VN'w 18.2 什么是脚本? 351 Li)rs<IX;m 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 b7 %Z~ 18.4 基础 352 ,\ [R\s 18.4.1 Classes(类别) 352 .6z8fjttOC 18.4.2 对象 352 b:VCr ^vp 18.4.3 信息(Messages) 352 N#
$ob9 18.4.4 属性 352 C)66^l!x 18.4.5 方法 353 L q<# 18.4.6 变量声明 353 sw
A^oU 18.5 创建对象 354 #m[R1G# 18.5.1 创建对象函数 355 _{0'3tI7 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 706-QE^ 18.5.3 丢弃对象 356 mDZ/Kp{ 18.5.4 总结 356 5'>DvCp%M 18.6 脚本中的表格 357 +Q pgG4h 18.6.1 方法1 357 0<Q['l4Ar 18.6.2 方法2 357 ?T]3I.3
2^ 18.7 2D Plots in Scripts 358 ahQdBoj 18.8 3D Plots in Scripts 359 vJTdZ p 18.9 注释 360 LCKCg[D
18.10 脚本管理器调用Scripts 360 }n /6.% 18.11 一个更高级的脚本 362 oZm)@Vv; 18.12 <esc>键 364 mX2i^.zH 18.13 包含文件 365 s?r:McF` 18.14 脚本被优化调用 366 K@yLcgr{O2 18.15 脚本中的对话框 368 p,#t[K 18.15.1 介绍 368 +P YX. 18.15.2 消息框-MsgBox 368 5DB4 vh 18.15.3 输入框函数 370 mN+
w, 18.15.4 自定义对话框 371 Y~vyCU5nWR 18.15.5 对话框编辑器 371 ?}p~8{ ' 18.15.6 控制对话框 377 x -CTMKX 18.15.7 更高级的对话框 380 V?pqKQL0 18.16 Types语句 384 zY_?$9l0 18.17 打开文件 385 5,Rxc= 18.18 Bags 387 |qe[`x;
% 18.13 进一步研究 388 ePF)wl;m 19 vStack 389 t@=*k9 19.1 vStack基本原理 389 Xm#rkF[, 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 |7XPu 19.3 五棱镜 393 \M$e#^g 19.4 光束距离 396 o_=t9\: 19.5 误差 399 b2rlj6d 19.6 二向分色棱镜 399 _"nzo4e0 19.7 偏振泄漏 404 ~@Yiwp\" 19.8 波前误差—相位 405 C1/qiSHsh 19.9 其它计算参数 405 P D,s,A 20 报表生成器 406 haTmfh_| 20.1 入门 406 5D9n>K4| 20.2 指令(Instructions) 406 {nQ?+o3 20.3 页面布局指令 406 <V?csx/eRd 20.4 常见的参数图和三维图 407 lQ5d.}O& 20.5 表格中的常见参数 408 K9z 1'k QH 20.6 迭代指令 408 } J_"/bB 20.7 报表模版 408 04o>POR 20.8 开始设计一个报表模版 409 $r3kAM;V: 21 一个新的project 413 |j2b=0Rpk 21.1 创建一个新Job 414 Mk=M)d` 21.2 默认设计 415 !]#@:Z 21.3 薄膜设计 416 ,Q%q!#@
21.4 误差的灵敏度计算 420 #Jx6DQGa 21.5 显色指数计算 422 +)J;4B 21.6 电场分布 424 z8VcV*6 后记 426 <I
5F@pe'
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