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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 *yu}e)(0  
    J@s>Pe)  
     Ao\xse{E  
    FACw;/rW  
    建模任务 or/gx3  
    G0E5Y;YIN$  
     n0xGIq  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) S6TNu+2w4  
     2 T!Tiu  
    某一位置的Talbot图样 gc9R;B1  
    j/FLEsU!R  
     <$A,Ex94  
       |A8@r&   
    某一位置的Talbot图样 D 2X_Yv  
    -U d^\Yy  
     CSO'``16  
    m`/Nl<  
    不同位置的Talbot图样 .Pb-{!$Ni  
    S+ kq1R  
     =V^-@ji)b  
    Gv:~P_vBH[  
    不同位置的Talbot图样 Zxa.x?:?n  
    @(3F4Z.i%.  
     &*C5Nnlv  
    b/wpk~qi  
    沿Z轴的强度 {.p.?  
    " kDiK`i  
     o ).deP s-  
    3JCo!n0   
    走进VirtualLab Fusion Q7 BbST+  
    g'8Y5x[  
     j~CnMKN  
    i0vm00oT  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ,>GHR{7>(  
    D|]BFu)F  
     构建光栅结构 eqbN_$>  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] dY*q[N/pO  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 4&/CES  
    v pI9TG  
     通过参数运行计算不同位置的强度 G t w>R  
    - 参数运行文件的使用 [用例] {/'T:n#  
    |=?#Xbxz  
    "6B7EH  
    :|S zD4Ag  
    VirtualLab Fusion技术 :E:e ^$p  
    w5@ 5"M  
     p_FM 2K7!  
       JJ?{V:  
     
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