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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 =EA*h_"q9  
    )}0(7z Yu  
     3<88j&9  
     {F+7> X  
    建模任务 `b=?z%LuT  
    U,_uy@fE=?  
     d OQU#5  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Gg]>S#^3  
     WZOi,  
    某一位置的Talbot图样 iSCv/Gb:,  
    ^i&sQQ( {  
     "t$c'`  
       l{[{pAm  
    某一位置的Talbot图样 "94e-Nx  
    swss#?.se  
     9%^q?S/Rv  
    0 XxU1w8\V  
    不同位置的Talbot图样 {dM18;  
    ae`*0wbv  
     0>} FNRC  
    9D#"Ey  
    不同位置的Talbot图样 s.d }*H-o  
    v9QR,b` n  
     ~Gx"gK0  
    ..`J-k  
    沿Z轴的强度 !B5 }`*1D  
    4E/Q+^?  
     D[yOFJ~p)  
    Cbv$O o*  
    走进VirtualLab Fusion vPz$jeA  
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     3WZdP[o!  
    $$ma1.t"  
    VirtualLab Fusion的工作流程 8h  
    mxt fKPb  
     构建光栅结构 yAz`n[  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] P(D0ru  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] DC4O@"  
    cy T,tN  
     通过参数运行计算不同位置的强度 n]c6nX:'  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Jn!-Wa,  
    \ <b-I  
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    ye !}hm=w  
    VirtualLab Fusion技术 I<yd=#:n  
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