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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 , Z ~;U  
    FxRXPt FK  
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    UtJa3ya  
    建模任务 L1 #Ij#  
    9[Qd)%MO  
     rU2iy"L  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) shgAhx  
     Q6'nSBi:A_  
    某一位置的Talbot图样 ]R IVc3?;$  
    mT.e>/pa  
     g/Wh,f3  
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    某一位置的Talbot图样 Q@QFV~  
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     m*e YC  
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    不同位置的Talbot图样 <@uOCRb V  
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    不同位置的Talbot图样 cAuY4RV  
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     tE"Si<[]H$  
    p{Sh F.  
    沿Z轴的强度 Hs(D/&6%  
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     6}dR$*=  
    Es'Um,ku  
    走进VirtualLab Fusion %NARyz  
    C)RBkcb  
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    <7sIm^N  
    VirtualLab Fusion的工作流程 9#/(N#>  
    rrBAQY|.  
     构建光栅结构 zO=%J)-=  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] !Pj/7JC0  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] V H^AcO  
    $2#7D* Rx  
     通过参数运行计算不同位置的强度 C+V* Fh3  
    - 参数运行文件的使用 [用例] M>H=z#C>/A  
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    VirtualLab Fusion技术 KeBQH8A1N  
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