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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 khd5 Cf[   
    PY\PUMF>  
     TT!ET<ciN  
    O0l^*nZ46t  
    建模任务 7l8[xV  
    BW[5o3 i  
     N?r>%4  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 9 wa,k  
     >X}{BDMb.  
    某一位置的Talbot图样 8 ,}ikOZ?  
    ;|ub!z9GG  
     Go\VfLLw  
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    某一位置的Talbot图样 o.:p_(|hI  
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    不同位置的Talbot图样 uF(k[[qaiN  
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    不同位置的Talbot图样 W*T{,M@Y  
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    沿Z轴的强度 pu;3nUH  
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    走进VirtualLab Fusion n[k1np$7?6  
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    P;91~``b-  
    VirtualLab Fusion的工作流程 (i`(>I.(/  
    L/r{xS  
     构建光栅结构 >q( 5ir  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] x'`"iZO.t  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] r2eQ{u{nX  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 /A(NuB<Pq  
    - 参数运行文件的使用 [用例] uDG+SdyN@  
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    VirtualLab Fusion技术 F-0UdV  
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