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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 53t- 'K0l  
    9N D+w6"  
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    建模任务 JD{MdhhV  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Kxl,] |e>  
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    某一位置的Talbot图样 {rvbo1t  
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    某一位置的Talbot图样 7ITl3>  
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    不同位置的Talbot图样 U7"BlT!V\  
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    不同位置的Talbot图样 3K#mF7)a  
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    沿Z轴的强度 Sc'c$/  
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    走进VirtualLab Fusion fNqmTRu  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 qqe2,X?  
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     构建光栅结构 [X }@Ct6  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 3Rd`Ysp  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] {M@@)27gW  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 ^S#\O>GHP  
    - 参数运行文件的使用 [用例] W{A #]r l  
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    W]O@DS zR  
    VirtualLab Fusion技术 B`*f(  
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