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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 !gcea?I  
    6(>,qt,9S  
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    建模任务 -@XOe&q  
    HP\5gLVXY  
     O=jzz&E+  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) eCiI=HcW;  
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    某一位置的Talbot图样 $}fY B/  
    ltKMvGEF  
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    某一位置的Talbot图样 j.[W] EfL~  
    ^b4i9n,t1  
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    不同位置的Talbot图样 r[wjE`Z/T  
    D^}2ilk!  
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    不同位置的Talbot图样 #N;&^El  
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    沿Z轴的强度 yb>R(y  
    c7.M\f P  
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    走进VirtualLab Fusion 0\, !  
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    FNw]DJ]  
    VirtualLab Fusion的工作流程 "y5bODq3t  
    li{!Jp5]1b  
     构建光栅结构 xZY7X&C4  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] aj/+#G2  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] BO8?{~i  
    4aW[`  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Z:^ S-h  
    - 参数运行文件的使用 [用例] s< Fp17  
    2.\"Q  
    +(W7hK4ip  
    3`)ej`  
    VirtualLab Fusion技术 9m\Yi  
    nB 0KDt_  
     p/G9P +?  
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