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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 KwlN  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 .Ej `!  
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     构建光栅结构 -q[T0^e S  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ;XSRG*3j~4  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] m1a0uEA G  
    EMU~gwPR  
     通过参数运行计算不同位置的强度 m{`O.6#O  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 3M8P%  
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    VirtualLab Fusion技术 n=MdbY/k(  
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