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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 sGx3O i   
    wz>[CXpi_  
     8^67,I-c  
    P=.~LZZ]89  
    建模任务  'Pxq>Os  
    1#9PE(!2  
     tLcw?aB  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) NAOCQDk{  
     Z1_F)5pn  
    某一位置的Talbot图样 fr`Q 5!0  
    Q CO,f  
     ]3~ u @6  
       C;~LY&=  
    某一位置的Talbot图样 O8~RfB  
    e,MgR\F}  
     -us:!p1T  
    Pn l}<i  
    不同位置的Talbot图样 10xza=a  
    >[;L.  
     /D964VR1M\  
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    不同位置的Talbot图样 0lV;bVa%  
    >+DM TV[O  
     \VWgF)_  
    +S WtHj7e  
    沿Z轴的强度 L1f=90  
    BkP4.XRI  
     lOM8%{.'_x  
    #8~ygEa}  
    走进VirtualLab Fusion iNc!z A4  
    8`6G_:&X  
     =R"LB}>h}  
    @$iZ9x6t  
    VirtualLab Fusion的工作流程 m6#a {  
    #M4LG; B  
     构建光栅结构 al9( 9)  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] \(--$9  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] `"hWbmQ  
    xGFbh4H=8p  
     通过参数运行计算不同位置的强度 hy>0'$mU  
    - 参数运行文件的使用 [用例] {rK]Q! yj  
    OZC yg/K  
    p5% %k-  
    ||ugb6q[6B  
    VirtualLab Fusion技术 d]:G#<.  
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       H_Xk;fM  
     
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