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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 5ZPl`[He  
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    建模任务 82$^pg>  
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     R_lNC]b0  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 49CMRO,T  
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    某一位置的Talbot图样 iU &V}p  
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    某一位置的Talbot图样 7 >.^GD  
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    不同位置的Talbot图样 Yz,*Q<t  
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    沿Z轴的强度 U-k6ZV3&8  
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     ioZ2J"s  
    -wY6da*.W  
    走进VirtualLab Fusion '0[l'Dt'  
    4kx#=MLt  
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    #0weN%  
    VirtualLab Fusion的工作流程 7UMsKE-  
     p.zU9rID  
     构建光栅结构 ?g9CeeH*  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] &vLZj  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] R(csJ4F  
    K\ZKVn  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ;R/=9l  
    - 参数运行文件的使用 [用例] _I2AJn`#  
    %F03cI,  
    }O_6wi  
    8,%y`tUn>u  
    VirtualLab Fusion技术 ?Hq`*I?b9  
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     2f4*r^  
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