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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 @ru<4`h  
    (~S<EUc$  
     A2Q[%A  
    2 =>*O  
    建模任务 @4;&hP2Z:  
    #nKRTb+{  
     X]qCS0GD'  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) x_yF|]aI!  
     Ig<}dM.Z[  
    某一位置的Talbot图样 kEO1TS  
    aSUsyOe  
     brntE:  
       y =R aJm  
    某一位置的Talbot图样 :3v9h^|+  
    8=:A/47=J  
     wTT RoeJ}  
    QV0M/k<'  
    不同位置的Talbot图样 ~L~]QN\3  
    @8|Gh]\P  
     J==}QEhQ{  
    3c b[RQf  
    不同位置的Talbot图样 0{Bf9cH  
    ~P/]:=  
     H.:9:I[n  
    u*hH }  
    沿Z轴的强度 Vc|NL^  
    GWgd8x*V  
     X<Z(]`i  
    zO%w_7 w  
    走进VirtualLab Fusion gV|Y54}T  
    >5.zk1&H  
     GMBJjP&R]  
    PB+\jj  
    VirtualLab Fusion的工作流程 >PIPp7C  
    Xtkw Z3  
     构建光栅结构 u#FXW_-TK  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] &3I$8v|!?  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ilv_D~|  
    ;u,rtEMy;  
     通过参数运行计算不同位置的强度 I0iY+@^5  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ,ijW(95{k  
    `gI~|A4  
    !N1J@LT5h  
    (xL :;  
    VirtualLab Fusion技术 iT.|vr1HG  
    \ n_3Bwd~  
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