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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 a;p6?kv  
    # U`&jBU  
     P1QB`&8F  
    \UQ],+H  
    建模任务 1UyH0`&  
    7xDN.o*>  
     WguV{#=H  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) {G.{a d  
     & =sayP  
    某一位置的Talbot图样 B}5XRgq  
    *2:Yf7rvI+  
     `w=!o.1  
       ^V,@=QL3U  
    某一位置的Talbot图样 JWSq"N  
    K!b>TICa:  
     !L$oAqW  
    Bcm=G""  
    不同位置的Talbot图样 hGKdGu`0  
    9oD#t~+F4  
     ;S =e%:zb  
    Y;PDZb K3  
    不同位置的Talbot图样 faJ8zX  
    <M>#qd@c  
     h=mv9=x  
    Faw. GU  
    沿Z轴的强度 ]=pWZ~A  
    A3!2"}L  
     C9+Dw#-f V  
    ~l4Q~'  
    走进VirtualLab Fusion L%4tw5*N  
    ceI [hM  
     y7 <(,uT  
    <sF!]R&4  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ,|>nF;.Y  
    '.xkn{c  
     构建光栅结构 k dUc&  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Ut=0~x.=<  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 2f /bEpi  
    $o: :PDQ?  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ,P1G ?,y  
    - 参数运行文件的使用 [用例] {)GQV`y  
    [/n' @cjNZ  
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    F .& *D~f  
    VirtualLab Fusion技术 PK9Qm'W b  
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     Xek E#?.  
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