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在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。
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Dm.tYG %?7j
Q 建模任务 9se,c Qs^RhF\d
Td`0;R'<}c 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 8+irul{H_ *A,h^ 某一位置的Talbot图样 F9SkEf]99 dgIEc]#pH
)|` #BC pM^r8kIH 某一位置的Talbot图样 re `B fN Yc*Ex-s
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&D|wc4+ %e@Jc3 VirtualLab Fusion的工作流程 sKkk+-J4 ?G#T6$E8 构建光栅结构 L)sCc0fv7k - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] \*5_gPj!d - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] pV3o\bk! #^>5,M2 通过参数运行计算不同位置的强度 zdwr5k - 参数运行文件的使用 [用例] 2f8Cs$Opb 5jpb`Axj# ,DHiM-v pm*6&, VirtualLab Fusion技术 Gj.u/l @"6dq;"
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