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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 `sPH7^R  
    !;h`J:dN  
     2<33BBlWA  
    ,%EGM+  
    建模任务 vfPIC!  
    ]iE) 8X  
     _8'z"w F  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) &NB"[Mm:@  
     '7(oCab"_  
    某一位置的Talbot图样 E (bx/f  
    Ze-MB0w  
     p{S#>JTr  
       \YrvH  
    某一位置的Talbot图样 6BIr{SY  
    [[gfR'79{  
     gq[`g=x  
    | +r5D4]e  
    不同位置的Talbot图样 32Jl|@8,g  
    6*tbil_G+  
     WSV[)-=:  
    cNvh2JI  
    不同位置的Talbot图样 fOkB|E]  
    ?Y | *EH  
     F|&=\Q  
    >C"QV `+  
    沿Z轴的强度 V^5Z9!  
    JTI 'W  
     9_I#{ ?  
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    走进VirtualLab Fusion :MbD=sX  
    -e(,>9Q  
     nps"nggk  
    h(H b+7g  
    VirtualLab Fusion的工作流程 H]d'#1G  
    bJ6@ B<  
     构建光栅结构 j+7ok 5J#  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] _E<  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Th(F^W9  
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    - 参数运行文件的使用 [用例] _mSQ>BBRl  
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    *Ul L\  
     [d~ 25  
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