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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   hDZyFRg  
    8+".r2*_iO  
    2. 建模任务 \)>#`X  
    YN<vOv  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    a'Zw^g  
    gV h&c 4  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    &V+KM"Ow  
    9Hb|$/FD  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) {^uiu^RAc  
    qP##C&+#q  
     I\c7V~^hnG  
       "_dg$j`Y&&  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) t?Q bi)T=z  
    ]SPuNBsy)  
     f/IQ2yT-:D  
    +Ig%h[1a  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) z#P`m,~t0  
    {[Y7h}7  
     c|aX4=Z  
    WQiRbbX  
    6. 3D仿真与结果对比 L+ XAbL)  
    zks7wt]A  
     P?n4B \!  
    dKU :\y  
    7. 走进VirtualLab Fusion Q^3{L\6_  
    H<<t^,E^.t  
     9rT^rTV  
    ScD E)r  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 2e-bt@0t  
    wQd8/&mmk  
    jV%=YapF  
     构造光栅结构 cZ)mp`^n7  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] ONDO xXs  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] tu* uQ:Ipk  
     计算光栅结构内部的场分布 !~R<Il|B  
    +r;t]  
     C8T0=o/-`  
    Y3(MKq  
    9. VirtualLab Fusion技术 M<NY`7$^  
    (y&sUc9  
    N|>JLZ>  
     
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