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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-07
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   X@ss d  
    =J:~AD#  
    2. 建模任务 :c\NBKHv*  
    t6tqv  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    _ &T$0SZco  
    =<<\Uo  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    o,d:{tt  
    &CS=*)>$  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) !U91  
    \(u P{,ML  
     :r\<DVj  
       )TxhJB5|  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) =Ij;I~  
    ,HkJ.6KF  
     F$caKWzny5  
    %c&h:7);  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) n4ISHxM  
    F/&&VSv>LO  
     KMZ% 1=a  
    y==x  
    6. 3D仿真与结果对比 {BF$N#7  
    )t|M)zJ  
     Mqna0"IYx*  
    %rf<YZ.\  
    7. 走进VirtualLab Fusion 7 `|- K  
    !$O +M#  
     H6L`239u  
    ZqSczS7uf  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 >BiJ/[9  
    P:Bg()  
    f>Ge Em~  
     构造光栅结构 RxAZ<8T_  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] ZN. #g_  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] 1vX97n<}  
     计算光栅结构内部的场分布 lK{h%2A\b  
    _- { >e  
     -ohqw+D  
    .(! $j-B  
    9. VirtualLab Fusion技术 gg<lWeS/3  
    Wu:evaZ:i  
    >2%!=q3)  
     
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