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    [求助]镀膜最外圈均匀性如何保证 [复制链接]

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    离线天一光学镀膜机
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-04-27
    材料H4和MGF2最外 !uLW-[F,  
    圈5层均匀性相差较大 r- 0BLq]~{  
    14层均匀性相差不大。 DQM\Y{y|3  
    可能的原因？
     
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-05-06
    腔体漏气，设备太脏，真空度不行
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    离线gaofei555
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-06-20
    镀膜工艺条件一致的前提下，修正板没到位吧 Y<M,/Y_ !  
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    离线奔跑的小骏马
    助理工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 2022-06-21
    是同样的光斑参数不？是同样的球罩不？是球罩上同一区域不？是同样的修正板不？
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    离线嘤击长空
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2022-08-21
    电子枪可能太靠边缘了
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    离线18844167969
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    只看该作者 5楼 发表于: 2022-08-29
    离子源能量分布不均匀
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