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作者:美国Angus Macleod 、Christopher Clark lEAf\T7 译:讯技科技股份有限公司 PzF>yG[ 校:讯技科技股份有限公司 |xYr0C[Pq }Um,wY[tK 书籍概况: 4,EX2 "qh~wK J Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 <tUl(q+ty 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Angus Macleod先生60多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 "{9^SPsp 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 _ \&vA5- 2 nra@ 书籍目录 ( fNG51h! ~aBf. 1 引言 @=<B8VPJd 2 光学薄膜基础 Yw(O}U 5e 2.1 一般规则 ibP IT!5c 2.2 正入射规则 xqSoE[<v 2.3 斜入射规则 t]gZ^5 2.4 精确计算 )x5t']w`K 2.5 相干性 8yCt(ms 3 Essential Macleod的快速预览 (jmF7XfU 4 Essential Macleod的特点 B)/L[ )S 4.1 容量和局限性 qt{lZ_$ 4.2 程序在哪? ,tTq25~H\ 4.3 数据文件 "%(SLQOyy 4.4 设计规则 :%[mc-6. 4.5 材料数据库和目录库 LA]UIM@ 4.5.1 材料数据库及导入材料 1S+lHG92I 4.5.2 材料目录库 ]A&pXAM 4.5.3 导出材料数据 Y;)l 4.6 常用单位 ;IOM3'5T@ 4.7 插值 'vwu^u? 4.8 材料数据的平滑 utu
V'5GD 4.9 一般文档编辑规则 c/lT S 4.10 设计文档 kk>z,A4
h_ 4.10.1 公式 V1#:[o63+ 4.10.2 更多关于膜层厚度 0fJz[;dV>n 4.10.3 沉积密度 {nPiIPH 4.10.4 性能计算 8-B6D~i 4.10.5 保存设计和性能 ;,lFocGv 4.10.6 默认设计 &j}:8Tst 4.11 图表 0^3n#7m;K 4.11.1 合并曲线图 "IHFme@^ 4.11.2 自适应绘制 K+\2cf?bU 4.11.3 动态参数图 5pU/X.lc 4.11.4 3D绘图 Na>w~ 4.12导入和导出 b+`qGJrej 4.12.1 剪贴板 ]T<tkvcI 4.12.2 不通过剪贴板导入 5<XWbGW 4.12.3 不通过剪贴板导出 0Ke2%+yqJ 4.13 背景(Context)
:al
,zxs 4.14 扩展公式 - 生成设计 ;e{e
?,[ 4.15 生成Rugate &gF9VY 4.16 参考文献 MWv(/_b 5 在Essential Macleod中建立一个Job fHODS9HQ 5.1 Jobs gNJdP!(t 5.2 创建一个新的Job qizQt]l 5.3 输入材料 Te%V+l 5.4 设计数据文件夹 a9u2Wlz 5.5 默认设计 =O/v]B8" 6 细化和合成 :6:,s#av 6.1 最优化导论 e I9#JM|2 6.2 细化 7,s5Gd- 6.3 合成 IISdC(5 6.4 目标和评价函数 Dz&,g+>$J 6.4.1 目标输入 Vx{
6.4.2 目标关联 99tUw'w 6.4.3 特殊的评价函数 WMa`!Q 6.5 膜层锁定和关联 V.%LA.8 6.6 优化技术 klAvi%^jE 6.6.1 单纯形 j}O qWX>/ 6.6.1.1单纯形参数 `mH]QjAO 6.6.2 Optimac BNgm+1?L 6.6.2.1 Optimac参数 ;F_P<b 2 6.6.3 模拟退火算法 $V !25jQ 6.6.3.1退火参数 zR4]buHnE 6.6.4 共轭梯度 b<%c ]z 6.6.4.1共轭梯度参数 ^T#jBqe 6.6.5 拟牛顿法 xI_0`@do 6.6.5.1 拟牛顿法参数: |c>.xt~ 6.6.6 针形合成 t3AmXx 6.7 我应该使用哪种技术? {+]tx46$ 6.7.1 细化 j#U,zsv: 6.7.2 合成 |e<$ 6.8 参考文献 b0/YX@ 7 导纳图和其他工具 LJ6l3)tpD 7.1 介绍 {1_<\~J 7.2 导纳变换 xYZ,. 7.2.1 四分之一波长规则 s(?%A 7.2.2 导纳轨迹图 ^f57qc3nF 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 .Cf!5[0E 7.4 全介质抗反射膜的应用 ]9PG"<^k 7.5 对称周期结构 $o0.oY#
7.6 参考文献 J$PlI 8.典型的镀膜实例 XS
#u/!
8.1 单层抗反射膜 `kE7PXqa 8.2 1/4-1/4抗反射膜 Z- t&AH 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射膜 B&7NF}CF2 8.4 W-膜层 9|3sNFGX 8.5 V-膜层 d"@ /{O^1 8.6 高折射基底V-膜层 {kBsiSvsA; 8.7 高折射率基底b V-膜层 tJ7F.}\;C 8.8 1/4-1/4高折射率基底 MsBm0r`a 8.9 四层抗反射膜 E[7E%^:Mg 8.10 Reichert抗反射膜 SME9hS$4 8.11 可见光和1.06um抗反射膜 #
E_S.. 8.12 宽波段6层抗反射膜 6O,:I 8.13 宽波段8层抗反射膜 %%/8B 8.14 宽波段25层抗反射膜 TtF+~K 8.15 四层2-1 增透膜 y Z[=Y 8.16 1/4波长堆栈 icX4n 8.17 陷波滤光器 |N^"?bSt 8.18 Rugate o='A1 P 8.19 消偏振分光片1 Faa>bc~E 8.20 消偏振分光片2 4U_+NC>b 8.21 消偏振立体分光片 BU4IN$d0Po 8.22 消偏振截止滤光片 C/QmtT~`e 8.23 偏振立体分光片1 yXoNfsv 8.24 偏振立体分光片2 W/%hS)75 8.25 缓冲层 mE5{)<N:C 8.26 红外截止滤光片 PO8Z2"WI 8.27 21层长波通过光片 fm@Pa} , 8.28 49层长波通滤光片 a5R.
\a<q 8.29 55层长波通滤光片 x=IZ0@p 8.30 宽带通滤光片 tjwnFqI 8.31 诱导透射滤光片 ?wv^X`Q*~ 8.32 诱导透射滤光片2 wViTMlq 8.33 简易密集型光波复用(DWDM)滤光片 [\#ANA" 8.34 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤光片 .drY 8.35 增益平坦滤光片 _"Z?O)d* 8.36 啁啾反射镜1 +7o1&D*v 8.37 啁啾反射镜2 (9oo8&GG 8.38 啁啾反射镜3 p"c6d'qe 8.39 铝保护膜 s9a`2Wm 8.40 铝反射增强膜 H la?\ 8.41 参考文献 Zs{7km 9 多层膜 [k>{q+MWK 9.1 多层膜基本原理—堆栈 1Ml<> 9.2 内透过率 FZn1$_Svr 9.3 简单例子 &6C]|13; 9.4 简单例子2 vPGUE`!D+ 9.5 圆锥和带宽计算 -seLa(8F 9.6 在Design中加入堆栈进行计算 6)ibXbH 10 光学镀膜色彩 OdZ/ \_Z 10.1 介绍 Xz^k.4 Y{4 10.2 色彩 -(F}=o' 10.3 主色调和纯度 Q,JH/X
10.4 色度和浓度 n@ SUu7o 10.5 薄膜的颜色和最优化颜色刺激 as]M%|/-I 10.6 Essential Macleod中的色彩计算 Pj]^p{> 10.7 参考文献 ~] V62^0 11 薄膜中的短脉冲现象 |'1.ajxw 11.1 短脉冲 <Vk}U 11.2 群速度 R;pW,]}g, 11.3 群速度色散 D4@?>ek6U 11.4 啁啾 |" WL 11.5 光学薄膜—相变 ?8{Os;!je 11.6 群延时和群延迟色散 hHTt-x# 11.7 色散 |n)4APX\Q 11.8 色散补偿 ZP!.C&O 11.9 空间光线移位 |9%~z0 11.10 参考文献 f.uuXK 12 公差与误差 n}F$kyI 12.1 蒙特卡罗模型 V\x'w*FP 12.2 Essential Macleod中的误差分析工具 ']eN4H&=?} 12.2.1 误差分析工具 >oWPwXA 12.2.2 灵敏度工具 S+~;PmN9qL 12.2.2.1 Independent Sensitivity G-2~$ u 12.2.2.2 灵敏度分布 eu" m0Q 12.2.3 Simulator—一个更高级模型 i_Q1\_m ! 12.3 参考文献 U`=r.> 13 Runsheet 与Simulator )K@D4sl 13.1 基本原理 7Z`4Kdh . 13.2 边带滤光片设计 Z2m^yRQ( 14 光学常数提取 esA^-$ 14.1 介绍 fsPNxy"_ 14.2 介电薄膜 8v2Wi.4T 14.3 n和k提取工具 Cip|eM &l 14.4 基底 DJgM>&Y6, 14.5 金属的光学常数 B=K<k+{6" 14.6 不正确的模型 #*qV kPX 14.7 参考文献 ~y"R{-%uS 15 反演工程 z+;$cfN 15.1 随机和系统误差 }v2p]D5n. 15.2 系统常见的问题 0@b<?Ms9 15.3 单层膜 53:u6bb; 15.4 多层模 AZhI~QWo 15.5 建议 9C,gJp}P 15.6 反演工程 JS8pN5 16 应力、张力、温度和均匀性工具 [dP<A?s 16.1 温度引起光学性能的改变 guYP| 16.2 应力工具 O4f9n 16.3 平均误差 0'r}]Mws 16.3.1 Taper工具 8aVQW_m} 16.3.2 波像差问题 yC5>k;/6#K 16.4 参考文献 5OGwOZAj52 17 如何在Function中编写操作数 V.u^;gr3 17.1 引言 [ _xOz4`% 17.2 操作数 3{co.+ 18 如何在Function中编写脚本 sq#C|v/ 18.1 简介 85io%>&0 18.2 什么是脚本? uGXvP(Pg' 18.3 Function中脚本和操作数的对比 hl**G4z9q 18.4 基本概念 J+ :3==, 18.4.1 Classes rjcH[U( 18.4.2 Objects N)E'k%?, 18.4.3 Messages }])j>E 18.4.4 Properties "7+^`? 18.4.5 Methods mD +9/O! 18.4.6 显式声明 $aTo9{M ^ 18.5创建对象 8i`T?KB 18.5.1 创建对象函数 teDRX13=; 18.5.2 使用ThisSession和其他对象 wjX0r7^@ 18.5.3 概要 ._x"b5C 18.6 脚本中的表格 sOWP0xY 18.6.1 方法1 otjT?R2g' 18.6.2 方法2 }.|a0N 5 18.7 注释 s!YX<V 18.8 Scripts脚本管理器 N/{=j 18.9 更高级的脚本命令 (0 t{ 18.10 <Esc>键 ?P7QAolrr 18.11 优化用脚本 UVi9}zr 18.12 脚本对话框 kH0kf-4\ 18.12.1 介绍 /P3Pv"r|8] 18.12.2 消息框-MsgBox b9.7j!W 18.12.3 输入框函数 GPs4:CIgG 18.12.4 自定义对话框 nrpbQ(zI* 18.12.5 对话框编辑器 l3MA&&++KF 18.12.6 对话框的控制 ZyC[w7$I2 18.12.7 更高级的对话框 ,bzgjw+R5 18.13 进一步研究 iuEe#B;! 19 vStack -y&>&D 19.1 vStack基本原理 x51p'bNy 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 ;2BPEo>z9 19.3 五棱镜 PR7bu%Y*eD 19.4 二向分色棱镜 25xt*30M 19.5 偏振泄漏 {2g?+8L$Z 19.6 波前差—相位 aFrZ
;_ 19.7 其他参数 \3U.;}0_X 20 报告生成器 "$%&C%t 20.1 介绍 J{uqbrJICr 20.2 指令 W}(xE?9& 20.3 页面布局指令 W-RshZ\ 20.4 常见的Plots图和三维图 ]a~gnz&1 20.5 常见参数表 sDHFZ:W 20.6 重复指令 ]Ah<kq2sk 20.7 报告模版 g ?%]()E 20.8 预备设计一个报告模版 ]tK<[8Y 21 一个新项目 J(,gLl 21.1 创建一个新Job ^?0WE 21.2 默认设计 [9CBTSr 21.3 薄膜设计 viS7+E|O 21.4 误差的灵敏度 3XjY 21.5 显色性 |oOA;JC)( 21.6 电场分布 tN;~.\TKg ;x{J45^
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