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作者:美国Angus Macleod 、Christopher Clark =$zr
t 译:讯技科技股份有限公司 CY).I`aJ 校:讯技科技股份有限公司 %C][E^9 rHdP4: n 书籍概况: ds[Z=_Ll (X7yNIPfA Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 5F+ f '~ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Angus Macleod先生60多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ?#c@Ag% 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ~t3?er& R l3|>*szX 书籍目录 +~k,4 ^A<.s_ 1 引言 <:7e4# 2 光学薄膜基础 \*"0wR;[K 2.1 一般规则 K~%5iVO~\ 2.2 正入射规则
8=Y|B5 2.3 斜入射规则 J& SuUh< 2.4 精确计算 K:50?r_-6 2.5 相干性 |w]i$`3'I 3 Essential Macleod的快速预览 C)^\?DH 4 Essential Macleod的特点 '0M0F'R 4.1 容量和局限性 $`{q = 4.2 程序在哪? ghQsS|)p. 4.3 数据文件 `l0icfy 4.4 设计规则 ?iO^b.'I# 4.5 材料数据库和目录库 4GejT(U 4.5.1 材料数据库及导入材料 D.x3@+ 4.5.2 材料目录库 p
8Hv7* 4.5.3 导出材料数据 AG%es0D[H 4.6 常用单位 |-Klh 4.7 插值 )4~XZt1r 4.8 材料数据的平滑 s/^=WV 4.9 一般文档编辑规则 *<5lx[:4/x 4.10 设计文档 H$iMP.AK 4.10.1 公式 J@{Bv% 4.10.2 更多关于膜层厚度 BU\NBvX$ 4.10.3 沉积密度 `fVA.% 4.10.4 性能计算 +mPB?5 4.10.5 保存设计和性能 1L9
<1 4.10.6 默认设计 8k% :w0H 4.11 图表 V0B4<TTAo~ 4.11.1 合并曲线图 ArKrsI#H- 4.11.2 自适应绘制 n{* [Y
4.11.3 动态参数图 r 24]2A 4.11.4 3D绘图 ;b2>y>?[ 4.12导入和导出 UM^hF% 4.12.1 剪贴板 l%w|f`B: 4.12.2 不通过剪贴板导入 r|$g((g 4.12.3 不通过剪贴板导出 n9yv.p] 4.13 背景(Context) !aoO,P#j 4.14 扩展公式 - 生成设计 !}m8]& 4.15 生成Rugate KA[Su0 4.16 参考文献 F&Z>B}; 5 在Essential Macleod中建立一个Job lsxii-#O 5.1 Jobs [qo*,CRz 5.2 创建一个新的Job z$,hdZ] 5.3 输入材料 p`C5jfI 5.4 设计数据文件夹 #Z5~a9rO 5.5 默认设计 ,
>6X_XJQ 6 细化和合成 R|yTUGY 6.1 最优化导论 \EqO;A%< 6.2 细化 sbb{VV`I 6.3 合成 ?q7Gs)B=^' 6.4 目标和评价函数 u(qpdG||7 6.4.1 目标输入 }0*7bb 6.4.2 目标关联 5PySCGv 6.4.3 特殊的评价函数 KJ
|1zCM 6.5 膜层锁定和关联 {GY$J<5= 6.6 优化技术 P|4a}SWU 6.6.1 单纯形 ^`9OA`2 6.6.1.1单纯形参数 hTqJDP"&F 6.6.2 Optimac HKf3eC 6.6.2.1 Optimac参数 aUQq<H 'R 6.6.3 模拟退火算法 {rr\hl-$ 6.6.3.1退火参数 q\G@Nn^ 6.6.4 共轭梯度 F U%b"gP^ 6.6.4.1共轭梯度参数 fe,CY5B{ 6.6.5 拟牛顿法 IrK )N 6.6.5.1 拟牛顿法参数: /$Jh5Bv 6.6.6 针形合成 U$%w"k7^( 6.7 我应该使用哪种技术? @:8|tJu8b 6.7.1 细化 e&kg[jU 6.7.2 合成 &'j77tqOk 6.8 参考文献 \^D`Hvg 7 导纳图和其他工具 A#{*A 7.1 介绍 -A~<IyPt 7.2 导纳变换 -.G0k*[d 7.2.1 四分之一波长规则 gqamGLK 7.2.2 导纳轨迹图 ?z.`rD$}(n 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 }s9J+m 7.4 全介质抗反射膜的应用 O\z%6:'M 7.5 对称周期结构 SJmri]4K 7.6 参考文献 @A%`\Ea% 8.典型的镀膜实例 MiI7s; 8.1 单层抗反射膜 jLU)S) 8.2 1/4-1/4抗反射膜 q
Sah _N 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射膜 ^YV[1~O 8.4 W-膜层 _,QUH" 8.5 V-膜层 ^ +G> N 8.6 高折射基底V-膜层 ME"/%59r 8.7 高折射率基底b V-膜层 GWsFW[T?~ 8.8 1/4-1/4高折射率基底 9lwg`UWl, 8.9 四层抗反射膜 : nn'> 8.10 Reichert抗反射膜 *&km5@* 8.11 可见光和1.06um抗反射膜 Y-9F*8< 8.12 宽波段6层抗反射膜 Ex{]<6UAu 8.13 宽波段8层抗反射膜 #';r 0?| 8.14 宽波段25层抗反射膜 *%.*vPJ 8.15 四层2-1 增透膜 y+_U6rv[ 8.16 1/4波长堆栈 A}o1I1+ 8.17 陷波滤光器 "7d_$.Z 8.18 Rugate -vQ`}e1 8.19 消偏振分光片1 .)Q'j94Q 8.20 消偏振分光片2 7>TG
]& 8.21 消偏振立体分光片 |gNOv;l 8.22 消偏振截止滤光片 d p].FS 8.23 偏振立体分光片1 Cq=c'(cX 8.24 偏振立体分光片2 #=2~MXa@z7 8.25 缓冲层 d4U_Wu& 8.26 红外截止滤光片 4?cg6WJ'6 8.27 21层长波通过光片 @,hvXl-G * 8.28 49层长波通滤光片 2epL!j)Wh 8.29 55层长波通滤光片 &^"m6 8.30 宽带通滤光片 rx<fjA% 8.31 诱导透射滤光片 9(Z)c 8.32 诱导透射滤光片2 !|]%^G 8.33 简易密集型光波复用(DWDM)滤光片 <_}u5E)7( 8.34 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤光片 ]dH;+3} 8.35 增益平坦滤光片 ?:,j9:m? 8.36 啁啾反射镜1
zcc]5> 8.37 啁啾反射镜2 $t^`Pt*:u 8.38 啁啾反射镜3 L=>N#QR7 8.39 铝保护膜 Ag-*DH0 8.40 铝反射增强膜 H"sey +- 8.41 参考文献 &j$k58mX 9 多层膜 q>?oV(sF 9.1 多层膜基本原理—堆栈 i=+ "[ h^ 9.2 内透过率 59|Tmf(dS; 9.3 简单例子 d] {^ 9.4 简单例子2 3:r;(IaX 9.5 圆锥和带宽计算 %~@}wHMB 9.6 在Design中加入堆栈进行计算 3Dy.mt P
10 光学镀膜色彩 `R\0g\ 10.1 介绍 5_PD?lg 10.2 色彩 ZCa?uzeo] 10.3 主色调和纯度 D0~mu{;c$ 10.4 色度和浓度 '<O&
: 10.5 薄膜的颜色和最优化颜色刺激 @jfd.? RK! 10.6 Essential Macleod中的色彩计算 9
HuE'(wQ 10.7 参考文献 K.k=\N 11 薄膜中的短脉冲现象 S;=
D/)[mr 11.1 短脉冲 fz%urbJR 11.2 群速度 hP #>`)aNY 11.3 群速度色散 +%0+ 11.4 啁啾 r'j*f"uAm 11.5 光学薄膜—相变 a`}HFHm\2, 11.6 群延时和群延迟色散 z5?xmffB 11.7 色散 N.uw2Y% 11.8 色散补偿 {?82>q5F 11.9 空间光线移位 J::dY~@ 11.10 参考文献 NVQIRQ. 12 公差与误差 D(y=0), 12.1 蒙特卡罗模型 nlKWZYv 12.2 Essential Macleod中的误差分析工具 &N,c:dNe 12.2.1 误差分析工具 6g)21Mh# 12.2.2 灵敏度工具 =6ojkTk 12.2.2.1 Independent Sensitivity y5>H>NS 12.2.2.2 灵敏度分布 1 #_R`(C{ 12.2.3 Simulator—一个更高级模型 {sbQf7) 12.3 参考文献 0nC%tCV' 13 Runsheet 与Simulator P66>w})@ 13.1 基本原理 +Oo>V~ 13.2 边带滤光片设计 &uC7W.| 14 光学常数提取 4Vh#Ye:` 14.1 介绍 e4t'3So 14.2 介电薄膜 [H!V 14.3 n和k提取工具 ~G"5!,J 14.4 基底 z@dHXj ) 14.5 金属的光学常数 uSH.c> 14.6 不正确的模型 ">|fB&~A 14.7 参考文献 wTG6>l ]H 15 反演工程 !fY'^Ya? 15.1 随机和系统误差 >%t"VpvR 15.2 系统常见的问题 #49,7OBU 15.3 单层膜 f $R]m2 15.4 多层模 sdrALl;w| 15.5 建议 YajUdpJi 15.6 反演工程 ?
3Td>x 16 应力、张力、温度和均匀性工具 ^2=11 16.1 温度引起光学性能的改变 [+UF]m%W 16.2 应力工具 Ft'?43J 16.3 平均误差 *1|&uE&_R 16.3.1 Taper工具 d=`hFwD9 16.3.2 波像差问题 3nMXfh/ 16.4 参考文献 2+50ezsId 17 如何在Function中编写操作数 UH2fP G 17.1 引言 J#"@~Q+a`@ 17.2 操作数 z^bv)u 18 如何在Function中编写脚本 _DS_AW}D 18.1 简介 u.43b8! 18.2 什么是脚本? g,*L P 18.3 Function中脚本和操作数的对比 M, f6UYo= 18.4 基本概念 "6o}g. 18.4.1 Classes ;.+sz(:hm 18.4.2 Objects |bA\>%~ 18.4.3 Messages edD1 9A 18.4.4 Properties 1$H*E~ 18.4.5 Methods eh`n?C 18.4.6 显式声明 Tc$Jvy-G4A 18.5创建对象 \b6H4aQii 18.5.1 创建对象函数 c"~+Y2]tL 18.5.2 使用ThisSession和其他对象 4-1=1)c* 18.5.3 概要 MF69n,(o 18.6 脚本中的表格 {oOzXc6o 18.6.1 方法1 Em?bV( 18.6.2 方法2 VXX7Y?! 18.7 注释 P
:zZ 18.8 Scripts脚本管理器 [z=KHk 18.9 更高级的脚本命令 L;6L@D6 18.10 <Esc>键 5FKb7 18.11 优化用脚本 TL'^@Y7X5 18.12 脚本对话框 \iVb;7r)9: 18.12.1 介绍 =MMU(0 E 18.12.2 消息框-MsgBox |L wn<y 18.12.3 输入框函数 Q*&k6A"jx 18.12.4 自定义对话框 :%!`R72 18.12.5 对话框编辑器 P3Ocfpf Bp 18.12.6 对话框的控制 eb10=Lmj 18.12.7 更高级的对话框 vf^`' 18.13 进一步研究 O(pa;&" 19 vStack 2z#gn9Wb 19.1 vStack基本原理 re[v}cB 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 FK
?g 19.3 五棱镜 II; 19.4 二向分色棱镜 Ts)ox}rYVm 19.5 偏振泄漏 DNwqi" 19.6 波前差—相位 O7,)#{ 19.7 其他参数 lfTDpKz3D 20 报告生成器 fRlO.!0( 20.1 介绍 S3fyt]pp 20.2 指令 cug=k 20.3 页面布局指令 f~a]og5|G 20.4 常见的Plots图和三维图 tg5G`P5PJ 20.5 常见参数表 K%i9S;~
20.6 重复指令 ~!//|q^J] 20.7 报告模版 xQA6!j 20.8 预备设计一个报告模版 T*pcS'?' 21 一个新项目 \+,%RN. 21.1 创建一个新Job }:SWgPfc 21.2 默认设计 ';,Rq9-' 21.3 薄膜设计 V
d`}F0WD 21.4 误差的灵敏度 h=*eOxR"4^ 21.5 显色性 }LYK:?_/ 21.6 电场分布 nI0TvBD
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