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作者:美国Angus Macleod 、Christopher Clark \5X34'7 译:讯技科技股份有限公司 /l@ 7MxE 校:讯技科技股份有限公司 I%pQ2T$; *:)#'cenI 书籍概况: XIf,#9 +Hv%m8'0| Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 A9F&XF7{ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Angus Macleod先生60多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 )W uuU [( 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 &Gxk~p< H2rh$2
书籍目录 h&[!CtPm !/Hln;{ 1 引言 wG19NX( 2 光学薄膜基础 |yw-H2k1 2.1 一般规则 )FE'#\ 2.2 正入射规则 )HR'FlxOd 2.3 斜入射规则 <K|_M)/9 2.4 精确计算 vPpbm 2.5 相干性 '[:].?M 3 Essential Macleod的快速预览 [Fjh 4 Essential Macleod的特点 :9]23'Md 4.1 容量和局限性 aU 5t|S6 4.2 程序在哪? q0SvZw]f1 4.3 数据文件 rcNM,!dZ 4.4 设计规则 Hya*7l']B 4.5 材料数据库和目录库 `d8}3D 4.5.1 材料数据库及导入材料 +qjW;]yxP 4.5.2 材料目录库 S\GG(#b! 4.5.3 导出材料数据 \fh.D/@ 4.6 常用单位 S ^2'O7uj 4.7 插值
PDM>6U 4.8 材料数据的平滑 ;/>~|@ 4.9 一般文档编辑规则 Z
A7u66 4.10 设计文档 ,tmo6D6 2 4.10.1 公式 EtN"K-X 4.10.2 更多关于膜层厚度 ?9 2+(s 4.10.3 沉积密度 ! X*L<)=nh 4.10.4 性能计算 5|Vb)QBv% 4.10.5 保存设计和性能 eBtkTWx5[/ 4.10.6 默认设计 H;Z{R@kf 4.11 图表 <&b ~(f 4.11.1 合并曲线图 @q[-,EA9 4.11.2 自适应绘制 l
AE$HP'o 4.11.3 动态参数图 /vSFQ}W 4.11.4 3D绘图 K.*zqQKlI| 4.12导入和导出 Xgr|~(^ 4.12.1 剪贴板 st'Y j 4.12.2 不通过剪贴板导入 80l(,0`, 4.12.3 不通过剪贴板导出 {Yv
|C)O 4.13 背景(Context) ~"+[VE5 4.14 扩展公式 - 生成设计 B3)#Ou2 4.15 生成Rugate CA[k$Sw* 4.16 参考文献 Pr@EpO 5 在Essential Macleod中建立一个Job |oPqX %? 5.1 Jobs k:`^KtBMl 5.2 创建一个新的Job x8tRa0-q 5.3 输入材料 2|w(d 5.4 设计数据文件夹 kZSe#'R's 5.5 默认设计 #d(6q$IE 6 细化和合成 aN%t>*?Xa 6.1 最优化导论 8t0i
j 6.2 细化 H*; J9{ 6.3 合成 mS!/>.1[ 6.4 目标和评价函数 ely&'y! 6.4.1 目标输入 w[:5uo( 6.4.2 目标关联 ,&z_ 2m 6.4.3 特殊的评价函数 si%f.A # 6.5 膜层锁定和关联 8t9sdqM/C 6.6 优化技术 lT1*e(I 6.6.1 单纯形 HgduH::\# 6.6.1.1单纯形参数 ft:/-$&H 6.6.2 Optimac + +D(P=4hi 6.6.2.1 Optimac参数 x/bO;9E%U4 6.6.3 模拟退火算法 6Q>:g"_ 6.6.3.1退火参数 YPGn8A 6.6.4 共轭梯度 PN+,M50;1 6.6.4.1共轭梯度参数 3_vggK% 6.6.5 拟牛顿法 ag[ yM 6.6.5.1 拟牛顿法参数: {K_YW 6.6.6 针形合成 Zff-Hl 6.7 我应该使用哪种技术? ;(VJZ_ 6.7.1 细化 ]+d.X] 6.7.2 合成 h9g5W'.# 6.8 参考文献 n3~xiQ' 7 导纳图和其他工具 ~A>3k2N/e 7.1 介绍 ~wh8)rm 7.2 导纳变换 ~cU,3g 7.2.1 四分之一波长规则 |Z#)1K 7.2.2 导纳轨迹图 *kZJ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 2$\Du9+ 7.4 全介质抗反射膜的应用 B@.U\. 7.5 对称周期结构 <bIAq8 7.6 参考文献 VEE:Z^U! 8.典型的镀膜实例 c>=[|F{{e 8.1 单层抗反射膜 /!jn$4fd: 8.2 1/4-1/4抗反射膜 &eK8v]|"W 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射膜 v<3i ~a 8.4 W-膜层 lq1pgM ?Kf 8.5 V-膜层 is#?O5:2 8.6 高折射基底V-膜层 Q9FY.KUM 8.7 高折射率基底b V-膜层 b`18y cVME 8.8 1/4-1/4高折射率基底 c1jgBty 8.9 四层抗反射膜 )v0m7Lv#/ 8.10 Reichert抗反射膜 LT:KZ|U9 8.11 可见光和1.06um抗反射膜 &ATjDbW*( 8.12 宽波段6层抗反射膜 wzP>Cq 8.13 宽波段8层抗反射膜 0'RSl~QvqS 8.14 宽波段25层抗反射膜 o5. q 8.15 四层2-1 增透膜 *hFT,1WE=+ 8.16 1/4波长堆栈 <@@.~Qm' 8.17 陷波滤光器 g0_8:Gs}^ 8.18 Rugate l,,5OZw 8.19 消偏振分光片1 2Hy $SSH 8.20 消偏振分光片2 H }</a%y 8.21 消偏振立体分光片 -DU[dU*~ 8.22 消偏振截止滤光片 +}X@{DB 8.23 偏振立体分光片1 T9N /;3 8.24 偏振立体分光片2 spd>.Cm` 8.25 缓冲层 YadyRUE 8.26 红外截止滤光片 m|=/|Hm 8.27 21层长波通过光片 #}e)*( 8.28 49层长波通滤光片 `')3} 8.29 55层长波通滤光片 70*Y4'u}A 8.30 宽带通滤光片 Jr\4x7a;`~ 8.31 诱导透射滤光片 H.!M_aJH 8.32 诱导透射滤光片2 b[$l{RQ[? 8.33 简易密集型光波复用(DWDM)滤光片 q31swP 8.34 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤光片 LI"ghz=F 8.35 增益平坦滤光片 cKF 8( 8.36 啁啾反射镜1 sq&$ 8.37 啁啾反射镜2 5BTQJa 8.38 啁啾反射镜3 mi<V(M~p 8.39 铝保护膜 ]?b#~ 8.40 铝反射增强膜 M(I 2M 8.41 参考文献 NfDg=[FN[ 9 多层膜 dJ:EXVU 9.1 多层膜基本原理—堆栈 ]NG`MZ
9.2 内透过率 G|IO~o0+ 9.3 简单例子 ~Ci|G3BW 9.4 简单例子2 1Cp5a2{ 9.5 圆锥和带宽计算 $WrDZU 2z 9.6 在Design中加入堆栈进行计算 @ 5|F:J 10 光学镀膜色彩 iS=}| 8" 10.1 介绍 97'*Xq 10.2 色彩 y`7BR?l 10.3 主色调和纯度 wM_k D 10.4 色度和浓度 4^ $ 10.5 薄膜的颜色和最优化颜色刺激 56d,Sk) 10.6 Essential Macleod中的色彩计算 -~]*)& 10.7 参考文献 7 45Uo' 11 薄膜中的短脉冲现象 :hCp@{ 11.1 短脉冲 cZ%weQa#N) 11.2 群速度 ()= 11.3 群速度色散 UR:cBr 11.4 啁啾 7`|$uIM` 11.5 光学薄膜—相变 oG3>lqBwD2 11.6 群延时和群延迟色散 ^szCf|SM 11.7 色散 a
0Hzf 11.8 色散补偿 |SQ5 Sb 11.9 空间光线移位 YRAWylm 11.10 参考文献 kd9hz-* 12 公差与误差 gGH<%nHW1 12.1 蒙特卡罗模型 H'&x4[J: 12.2 Essential Macleod中的误差分析工具 i|)<#Ywl 12.2.1 误差分析工具 ?b:l.0m 12.2.2 灵敏度工具 11Pm lzy 12.2.2.1 Independent Sensitivity 4}gqtw: 12.2.2.2 灵敏度分布 .@gv}`> 12.2.3 Simulator—一个更高级模型 w=e~
M 12.3 参考文献 Qpe&_.&RE 13 Runsheet 与Simulator 7%V2 13.1 基本原理 ^<.mUaP 13.2 边带滤光片设计 Z Z\,iT 14 光学常数提取 }{ J<Wzw 14.1 介绍 0[ H'l",~ 14.2 介电薄膜 BD\xUjd?)Q 14.3 n和k提取工具 {^1D|y 14.4 基底 "U4Sn'&h@ 14.5 金属的光学常数 0ua.aL' 14.6 不正确的模型 0x4p!5 14.7 参考文献 aP>%iRk'J! 15 反演工程 -;Y*;xe 15.1 随机和系统误差 WIa4!\Ky! 15.2 系统常见的问题 ^Z$%OM, 15.3 单层膜 )k.;.7dXe 15.4 多层模 OjCTTz 15.5 建议 j[.R|I|
15.6 反演工程 V{HP8f91 16 应力、张力、温度和均匀性工具 2$V]XSe 16.1 温度引起光学性能的改变 n?
e&I>1W 16.2 应力工具 #tRLvOR: 16.3 平均误差 UpF,e>s 16.3.1 Taper工具 Cdin" 16.3.2 波像差问题 ]bz']` 16.4 参考文献 1(CpTaa 17 如何在Function中编写操作数 D'$ki[{, 17.1 引言 W>.KV7 17.2 操作数 /bjyV]N 18 如何在Function中编写脚本 w4\b^iJz 18.1 简介 zWb>y 18.2 什么是脚本? }te\)
Yk.N 18.3 Function中脚本和操作数的对比 O-[ lL"T 18.4 基本概念 F4xYfbwY"] 18.4.1 Classes R4.$9_ui 18.4.2 Objects UA>UW!I 18.4.3 Messages 6",S$3q 18.4.4 Properties sOhQu>gN 18.4.5 Methods {*RyT.J 18.4.6 显式声明 :G=N|3 18.5创建对象 -aK_ 18.5.1 创建对象函数 oKLL~X>!U 18.5.2 使用ThisSession和其他对象 Rf||(KC< 18.5.3 概要 W3Oj6R 18.6 脚本中的表格 _WO*N9Iz 18.6.1 方法1 Km7HB!=< 18.6.2 方法2 ]:uJ&xUar |