[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 T 2Uu/^  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） [k qx%4q)  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 stn/  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） kOi@QLdN  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） I29aj
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授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 fX"cQ&  
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课程简介 V80BO#Pk  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 'a8{YT4  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 ! *Snx  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 K)!yOa'fH  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 UbDRzum  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 7OSk0%Q,  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 Yn!)('FdT!  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 Lh eOGM  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 P_Rh& gkuK  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 yb{ud  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 k0[b4cr`  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 y>4r<YZQ  
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课程大纲 A{3VTe4TV  
1. Essential Macleod 软件介绍 c;X8:Z=ja  
1.1 介绍软件 SvE3E$*  
1.2 运行程序 <0R$yB  
1.3 创建一个简单的设计 `x
b\)  
1.4 绘图和制表来表示性能 ]Dj,8tf`H  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 {,V.IDs8[  
1.6 创建一个默认设计 C%#%_
"N  
1.7 文件位置 8n_!WDD  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 `cu W^/c  
l;+n
L[%`  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 RRXnj#<g  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） ~< ~PaP$=\  
1.11 单位定义 (6b*
JQ^^  
1.12 软件如何进行数据插值 Fog4m=b`g  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） 6}b1*xQ  
1.14 特定设计的公式技术 J/OG\}  
1.15 交互式绘图 :!',o]"4,k  
2. 光学薄膜理论基础 j6Msbq[  
2.1 介质和波 !'yCB9]O  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 wlSl ~A/s  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 z`)i"O]-K_  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 }q8|t3  
2.5 光学薄膜设计理论 )Q:.1H
gl  
3. 理论技术 ;!RS q'L1  
3.1 参考波长与 g hDPZj#(c  
3.2 四分之一规则 j.}@9  
3.3 导纳与导纳图 p]z< 43O$  
3.4 斜入射光学导纳 h!@t8R  
3.5 对称周期 cOhx  
4. 光学薄膜设计
b-'T>1V
 
4.1 光学薄膜设计的进展 c)L1@qdZ  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 abs\Ku9  
4.3 光学薄膜设计技巧 &
B CA  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 pv LA:LW2  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 Dm^Bk?#(  
4.5.1 优化目标设置 `Mg&s*  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， fv;3cxQp  
差分演化法） {nr}C4]o  
4.5.3 膜层锁定和链接 S5%I+G3  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 [SJ-]P|^l  
5.1 减反射薄膜 *!mT#Vm^  
5.2 分光膜 Oq[2<ept  
5.3 高反射膜 pv3SAO4  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 ]H%SGQPn  
yX`5x^wVw  
5.6 负滤光片 *#{V^}  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 3izGMH_`  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 [m*E[0Hu  
5.9 Stack 应用范例说明 M&93TQU-  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 +1uAzm4SL  
6.1 背景介绍 ^/"[jq3F  
6.2 产品特性 bi01]  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 f*(W%#*|  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 6}q
8%[l|  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 W##~gqZ/  
7. 防雾薄膜 VM.4w.})_E  
7.1 自清洁效应 ygN4%-[XA  
7.2 超亲水薄膜 goJK~d8M*  
7.3 超疏水薄膜 c3L)!]kB  
7.4 防雾薄膜的制备 "A4.2  
7.5 防雾薄膜的性能测试 N*B
_or  
8. 材料管理 {/u}  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 L\GjG&Y5  
8.2 金属与介质薄膜 OrG1Mfx&2%  
8.3 材料模型 2:8p>^g=  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 Oh&k{DWE$  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 [?QU'[  
8.6 基板光学常数的提取 h?D>Dfeg%  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 MS>QU@z7c  
9. 薄膜制备技术 OV.f+_LS  
9.1 常见薄膜制备技术 y;$ !J  
9.2 光学薄膜制备流程 I1Jhvyd?$  
9.3 淀积技术 $'I-z.GV  
9.4 工艺因素 UG~/   
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 ;A\SbLM  
10.1 光学薄膜监控技术 =sIkA)"!=  
10.2 误差分析与监控决策 y\C_HCU H  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 W Z_yaG$U  
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