[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 {jhcZ"#>\  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） r./z,4A`  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 z'e1"Y.  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） c85O_J  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） kDg{>mf  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 xiJz`KD&  
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课程简介 &*ZC0V3  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 Hp*gv/0  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 {\luieG  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 L-MiaKcL  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 sxt`0oE  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 o6:45  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 |9x%gUm  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 at=D&oy4"+  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 y 'mlee  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 ]|;7R^o3|  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 yIlV[_  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 XEa~)i{O  
df!+T0  
课程大纲 {$3j/b  
1. Essential Macleod 软件介绍 hzW{_Q.|?  
1.1 介绍软件 2(hvv-  
1.2 运行程序 KxGKA  
1.3 创建一个简单的设计 P4i3y{
$V  
1.4 绘图和制表来表示性能 C+T&O  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 *O!T!J  
1.6 创建一个默认设计 Al=(sHc'  
1.7 文件位置 jC#`PA3m=  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 xG
wTk  
RfD{g"]y  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 Gg'<Q.H  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） wwo(n$!\  
1.11 单位定义 ?e"Wu+q~L  
1.12 软件如何进行数据插值 >0kmRVd  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） ]z+*?cc  
1.14 特定设计的公式技术 pk;ffq@  
1.15 交互式绘图 ,Le&I9*%  
2. 光学薄膜理论基础 hN Z4v/  
2.1 介质和波 _)OA$  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 (y-x01H  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 _!CK   
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 LDT'FwMjy  
2.5 光学薄膜设计理论 x>U1t!'  
3. 理论技术 <QYCo1_  
3.1 参考波长与 g @SKO~?7T  
3.2 四分之一规则 >2]Eaw&W  
3.3 导纳与导纳图 Qw3a"k-  
3.4 斜入射光学导纳 d9`3EP)n  
3.5 对称周期 54`bE$:+  
4. 光学薄膜设计 7$g*N6)Q  
4.1 光学薄膜设计的进展 dNR7e   
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 A6@+gP<  
4.3 光学薄膜设计技巧 Qh)|FQ[s$r  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 ;J,,f1Vw  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 [_g#x(=  
4.5.1 优化目标设置 I><99cwFI  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， >XD02A[  
差分演化法） XA&tTpfJE  
4.5.3 膜层锁定和链接 (hhdbf  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 qP7&LtU  
5.1 减反射薄膜 9pVf2|5hj  
5.2 分光膜 K B`1%=  
5.3 高反射膜 q;1VF;<"vH  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 xWC\954  
>K_$[qP3  
5.6 负滤光片 FT|/WZR  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 tF#b&za  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 D+*uKldS;  
5.9 Stack 应用范例说明 dVj'  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 zVc7q7E  
6.1 背景介绍 I:uQB!  
6.2 产品特性 -7Aw s)  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 JR? )SGB  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 l ))~&  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 i-i}`oN  
7. 防雾薄膜 Y1U"HqNl*  
7.1 自清洁效应 s0`|G|.}  
7.2 超亲水薄膜 W[1f]w3  
7.3 超疏水薄膜 '1kj:Np  
7.4 防雾薄膜的制备 !Z+*",]_  
7.5 防雾薄膜的性能测试 6'No4[F 4n  
8. 材料管理 7=QC+XSO  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 f>wW}-  
8.2 金属与介质薄膜 >DL-Q\U  
8.3 材料模型 A&}nRP9  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 {-v\&w  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 3@Zz-~4Td  
8.6 基板光学常数的提取 q~g&hR}K  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 Gwrx)Mq  
9. 薄膜制备技术 \\R*V'e!  
9.1 常见薄膜制备技术 Z#TgFQ3u  
9.2 光学薄膜制备流程 QqFfR#  
9.3 淀积技术 0LHiOav  
9.4 工艺因素 C5sN[  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 (;Q <@PZg  
10.1 光学薄膜监控技术 -B3wRAEt  
10.2 误差分析与监控决策 Eip~~2  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 P B6/<n9#  
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