[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 ?[Gj?D.Wc  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） f~bZTf  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 "Yh[-[,  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） 4(2iR0N  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） a+wc"RQ |  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 PWErlA:58  
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课程简介 -s]  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 funHznRR  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 >$^v@jf  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 4[q'1N6-  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 ,gdf7&r  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 Os1o!w:m5  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 KDt@Xi6||  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 +A3Q$1F  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 l8O
12   
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 kaKV{;UM  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 G/cE2nD  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 (C1@f!Z  
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课程大纲 d-cK`pSB  
1. Essential Macleod 软件介绍 +x?_\?&Ks  
1.1 介绍软件 L%3m_'6QP  
1.2 运行程序 d{~5tv- H  
1.3 创建一个简单的设计 rSGt`#E-s.  
1.4 绘图和制表来表示性能 k@,&'imx  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 $d@_R^]X  
1.6 创建一个默认设计 YLEk M  
1.7 文件位置 g{]C@,W  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 4sj:%%UE  
l7g< $3
 
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 }!^/<|$=  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） 5LPyPL L  
1.11 单位定义 hH=H/L_Z  
1.12 软件如何进行数据插值 EPY64{  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） Z(' iZ'55F  
1.14 特定设计的公式技术 ^t|CD|,K_O  
1.15 交互式绘图 "F,d}3}  
2. 光学薄膜理论基础 ]#UyY
gPk  
2.1 介质和波 p4ML }q8  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 T'n~QfU  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 Rh:@@4<  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 ddf#c,SQ  
2.5 光学薄膜设计理论 ~|LlT^C  
3. 理论技术 > xc7Hr~  
3.1 参考波长与 g ;:w?&4  
3.2 四分之一规则 kt.y"^  
3.3 导纳与导纳图 NAy3Zd}  
3.4 斜入射光学导纳 J9tQ@3{f  
3.5 对称周期 ~"<AYJlO  
4. 光学薄膜设计 Dm,*G`Js  
4.1 光学薄膜设计的进展 YQB.3  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 7TTU&7l~  
4.3 光学薄膜设计技巧 |@}Yady@C  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 7?@s.Sz|fV  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 Z#-:zD7_  
4.5.1 优化目标设置 SA5 g~{"  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， g;bfi{8s_  
差分演化法） g3p*OYf  
4.5.3 膜层锁定和链接 /$'R!d5r
 
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 CM; r\,o  
5.1 减反射薄膜 2#sJ`pdQ  
5.2 分光膜 T.1*32cX  
5.3 高反射膜 .t/XW++  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 cx]&ae*  
-t92!O  
5.6 负滤光片 (lDbArq
y  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 JEF2fro:Z  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 d

tK[H+  
5.9 Stack 应用范例说明 ogt<vng  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 ;&|MNN^  
6.1 背景介绍 95.m^~5  
6.2 产品特性 [25[c><:w"  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 fc
'NU(70c  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 :i
WW2fY  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 oDY $F%  
7. 防雾薄膜 [.M<h^xrB  
7.1 自清洁效应 )aW;w|#n  
7.2 超亲水薄膜 xPFNH`O&  
7.3 超疏水薄膜 3$fzqFo  
7.4 防雾薄膜的制备 s?=v@|vz)  
7.5 防雾薄膜的性能测试 =!rdn#KH  
8. 材料管理 Hw 7  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 -YF]k}|  
8.2 金属与介质薄膜 &xKln1z'  
8.3 材料模型 D%L}vugxK  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 ~YQC!x  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 I9xQ1WJc`  
8.6 基板光学常数的提取 [,A*nU$  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 Gqe?CM  
9. 薄膜制备技术 !q:[$g-@q  
9.1 常见薄膜制备技术 FsZW,  
9.2 光学薄膜制备流程 MHh>~Y(h  
9.3 淀积技术 )f#raXa5+  
9.4 工艺因素 BCH{0w^D  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 TqzL]'NS+  
10.1 光学薄膜监控技术 Q8]lz}  
10.2 误差分析与监控决策 >LvQ&fAo  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 74Fv9  
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