[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 =jAFgwP\  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） F#r#}.B='U  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 Rs;15@t@  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） D9ufoa&ua  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） xh9qg0d  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 fZryG  
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课程简介 %HuyK  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 _kraMQ>  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 AHh#Fx+K  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 r#876.JK  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 Fe=8O ^\  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 ;2`sN   
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 UGKaOol.  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 +c,[ Q  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 v"6 \=@  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 8v_C5d\  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 F4I6P  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 NlPS#  
**;p(CI  
课程大纲 j BS4vvX?  
1. Essential Macleod 软件介绍 laREjN/\`  
1.1 介绍软件 cnNOZ$)  
1.2 运行程序 mf$j03tu  
1.3 创建一个简单的设计 b{[*N  
1.4 绘图和制表来表示性能 ~UMOT!4}3  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 02b6s&L  
1.6 创建一个默认设计 i.a _C'<$  
1.7 文件位置 /p`&;/V|
 
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 Epjff@7A  
F9o6V|v  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 ~9M!)\~  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） {[#(w75R{  
1.11 单位定义 Q+[ .Y&  
1.12 软件如何进行数据插值 wT_^'i*@I  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） )C]x?R([m  
1.14 特定设计的公式技术 pO/%N94s  
1.15 交互式绘图 ?T'][q  
2. 光学薄膜理论基础 MK$Jj"  
2.1 介质和波 N+Sq}hI  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 T_hV%
 
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 :=.*I  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 .[pUuVq]  
2.5 光学薄膜设计理论 ,@CfVQz  
3. 理论技术 &r_uQbx  
3.1 参考波长与 g knHv?#  
3.2 四分之一规则 {U @3yB  
3.3 导纳与导纳图 NPU^)B  
3.4 斜入射光学导纳 ;bjnL>eW  
3.5 对称周期 AlX3Wv}  
4. 光学薄膜设计 &9B_/m3  
4.1 光学薄膜设计的进展 ;iX<`re~  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 /^<en(0=P  
4.3 光学薄膜设计技巧 mb1IQ &  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 >)Dhi+D  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 /6tcSg)  
4.5.1 优化目标设置 8 njuDl  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， zG% |0  
差分演化法） gA:TL{X0  
4.5.3 膜层锁定和链接 L,
M+sN  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 &=w|vB)(p  
5.1 减反射薄膜 VTw/_Hf2p  
5.2 分光膜 'D6 bmz  
5.3 高反射膜 FmT `Oa>  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 hPO>,j^  
4XG]z_+I  
5.6 负滤光片 #x)}29%e#  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 Jt=>-Spj  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 UxqWnHH.`  
5.9 Stack 应用范例说明 $WaZ_k
t  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 n<R \w''x  
6.1 背景介绍 Yn<)k_kp  
6.2 产品特性 a@W7<9fY;  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 h}6_ybmZ  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 $KQ,}I  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 y^s1t2]%  
7. 防雾薄膜 > V%Q O>C  
7.1 自清洁效应 sR79 K1*j  
7.2 超亲水薄膜 %zljH"F  
7.3 超疏水薄膜 dU+0dZdKO  
7.4 防雾薄膜的制备 vInFo.e[4  
7.5 防雾薄膜的性能测试 bXvbddu)}  
8. 材料管理 >d%VDjk .  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 ~3 @*7B5Q  
8.2 金属与介质薄膜 \R Z3Hh  
8.3 材料模型 o;;,iHu*  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 a<p %hY3  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 Phlk1*1n  
8.6 基板光学常数的提取 p7[(z  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 ~e^)q>Lb7(  
9. 薄膜制备技术 :~-i&K
Nk  
9.1 常见薄膜制备技术 iS-K ~qa  
9.2 光学薄膜制备流程 IwRQL%  
9.3 淀积技术 W-Of[X{<  
9.4 工艺因素 B9W/bJ6%  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 ,%8$D-4#_  
10.1 光学薄膜监控技术 ^pw7o6}  
10.2 误差分析与监控决策 ZR mPP  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 gz\j('~-D  
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