[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 f]ef 1#  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） Z^3Risi  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 .nN7*))Fj  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） k-/$8C  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） PE>_;k-@k  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 hb{(r@[WHv  
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课程简介 wl4yNC  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 kW9STN  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 DDEn63{  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 uQlVzN.?  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 |qD<h  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 "Q( 8FF  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 ,&$Y2+  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 V& m\  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 K;~dZ  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 $A,=z  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 ]z,?
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这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 C*$/J\6xy  
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课程大纲 FVHL;J]nf1  
1. Essential Macleod 软件介绍 wFD.3!  
1.1 介绍软件 E4Sp^,  
1.2 运行程序 R?(j#bk  
1.3 创建一个简单的设计 sgX~4W"J  
1.4 绘图和制表来表示性能 *,(`%b[  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 W*0KAC`m  
1.6 创建一个默认设计 >_o_&;=`v  
1.7 文件位置 oUqNA|l T  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 $FoNEr&q  
:MpCj<<[  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 8dv1#F|  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） 8[k-8h|  
1.11 单位定义 ZO,]h9?4  
1.12 软件如何进行数据插值 Ugn"w E  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） KLk37IY2\  
1.14 特定设计的公式技术 $I'ES#8P6  
1.15 交互式绘图 cG<?AR?wDT  
2. 光学薄膜理论基础 Y<B| e91C  
2.1 介质和波 n1QO/1} :  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 o]vdxkU]  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 b% F|VG  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 TM+7>a$  
2.5 光学薄膜设计理论 SF6n06UZu  
3. 理论技术 {MHr]A}X\  
3.1 参考波长与 g K \O,AE  
3.2 四分之一规则 ^^v!..V]J  
3.3 导纳与导纳图 bV"0}|A~K  
3.4 斜入射光学导纳 gG}<l ':  
3.5 对称周期 @c/~qP4  
4. 光学薄膜设计 6|zA,-=  
4.1 光学薄膜设计的进展 'F@'4[uda  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 A 9u9d\  
4.3 光学薄膜设计技巧 js{ RaR=  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 uB%`Bx'OW  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 Y!5-WXH  
4.5.1 优化目标设置 DV.m({?  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， q|~9%Pujg  
差分演化法） 3V-pLs|  
4.5.3 膜层锁定和链接 yJ^
}uw  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 )T^hyi$  
5.1 减反射薄膜 g;-CAd5  
5.2 分光膜 BUtXHD  
5.3 高反射膜 pvX\kX3}  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 =KX:&GU  
nF)|oA   
5.6 负滤光片 r!;NH3 *  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 G,J$lTX  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 6`4=!ZfI  
5.9 Stack 应用范例说明 8 }-"&-X  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 K\uR=L7  
6.1 背景介绍 ,ujoGSx}  
6.2 产品特性 4YKb~1qkk  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 /@0wbA  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 P5[.
2y_qM  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 8tsW^y;S  
7. 防雾薄膜 A;h~Fx6s  
7.1 自清洁效应 2
91v R]  
7.2 超亲水薄膜 d8av`m  
7.3 超疏水薄膜 v,kedKcxv'  
7.4 防雾薄膜的制备 5{{u #W%=  
7.5 防雾薄膜的性能测试 )jnxR${M  
8. 材料管理 Yk:\oM  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 4-sUy  
8.2 金属与介质薄膜 ^!=+$@<  
8.3 材料模型 v-OaH81&R  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 
B&"fPi  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 #\fApRL  
8.6 基板光学常数的提取  75%!R  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 _Nw-
|N.  
9. 薄膜制备技术 sq*sbdE  
9.1 常见薄膜制备技术 lE /"  
9.2 光学薄膜制备流程 SFTThM]8M1  
9.3 淀积技术 pVLfZ?78  
9.4 工艺因素 EyozhIV  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 {eS!cZJ  
10.1 光学薄膜监控技术 7,Nd[ oL*7  
10.2 误差分析与监控决策 41$7P[M;  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 68d(6?OgW  
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