[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 H{&o_  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） s Yp?V\Y"  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 8&d
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授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） BEU^,r3z  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） Y<1]{4Wt  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 c:;m BS>
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课程简介 <\0+*`">g  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 fMg3  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 mC
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们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 lawjGI  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 6:PQkr  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 y]9PLch]vZ  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 z'iAj  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 ChVur{jR  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 z>n<+tso  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 ,Oqd4NS  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 gW0{s[}T  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 Y@&1[Z  
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课程大纲 l;u_4`1H  
1. Essential Macleod 软件介绍 ;0R|#9oX_  
1.1 介绍软件 s#f6qj  
1.2 运行程序 xRTr<j0s  
1.3 创建一个简单的设计 KDt@Xi6||  
1.4 绘图和制表来表示性能 t,CC~  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 MXQS6F#  
1.6 创建一个默认设计 A'jw;{8NpF  
1.7 文件位置 WziX1%0$n  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 Kr;7
~`$[  
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1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 [ij8h,[~]  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） e+_~a8 -|  
1.11 单位定义 4tZnYGvqe  
1.12 软件如何进行数据插值 lQt&K1m  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） NTj:+z0  
1.14 特定设计的公式技术 r$=YhI/=  
1.15 交互式绘图 EUVB>%P  
2. 光学薄膜理论基础 O-5s}RT  
2.1 介质和波 -Odk'{nW  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 T(n<@Ac]V  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 9lT6fW`v1Q  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 ;JNI$DR  
2.5 光学薄膜设计理论 9!aQ@ J^  
3. 理论技术 ue YBD]3'  
3.1 参考波长与 g C^dnkuA  
3.2 四分之一规则 MV+S.`R  
3.3 导纳与导纳图 >_ )~
"Ra  
3.4 斜入射光学导纳 hqPpRSv'  
3.5 对称周期 FN-j@
 
4. 光学薄膜设计 'Fe1]B"Y  
4.1 光学薄膜设计的进展 >Ei-Spy>Xl  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 :yLSLN  
4.3 光学薄膜设计技巧 z}L3//  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 jjs1Vj1@<  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 ;PBybRW  
4.5.1 优化目标设置 ISp'4H7R+N  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， S6J7^'h  
差分演化法） aa:97w~s0  
4.5.3 膜层锁定和链接 c(]NpH in  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 O{B[iy(C  
5.1 减反射薄膜 |~6X: M61  
5.2 分光膜 hH=H/L_Z  
5.3 高反射膜 m/2LwN  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 4{[cXM8*j  
U?%1:-#F  
5.6 负滤光片 [CCj5N1/  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 !jV}sp<Xp  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 09_L^
'`  
5.9 Stack 应用范例说明 1|+Zmo"  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 (k@%04c  
6.1 背景介绍 ]#UyY
gPk  
6.2 产品特性 l1Zf#]x  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 p@/i e@DX  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 I 0/enL  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 v|VfSLZTb  
7. 防雾薄膜 `Vi
FY   
7.1 自清洁效应 GMY"*J<E  
7.2 超亲水薄膜 q.
%[!O  
7.3 超疏水薄膜 SBj9sFZ  
7.4 防雾薄膜的制备 {5ujKQOcR  
7.5 防雾薄膜的性能测试 r306`)kX  
8. 材料管理 > xc7Hr~  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 G=[=[o\  
8.2 金属与介质薄膜 "R"7'sJMI  
8.3 材料模型 q#8$@*I  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 7y4!K$c$  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 Rf&~7h'+  
8.6 基板光学常数的提取 5#v  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 r9x.c7=O  
9. 薄膜制备技术 fgb%SIi?  
9.1 常见薄膜制备技术 i[gq8%  
9.2 光学薄膜制备流程 ;au-NY  
9.3 淀积技术 rv(Qz|K@  
9.4 工艺因素 gC}r$ZB(  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 Y#'?3  
10.1 光学薄膜监控技术 f}4bnu3  
10.2 误差分析与监控决策 CC(At.dd  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 |@}Yady@C  
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