[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 49P4b<1  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 6zkaOA46V  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 }G=M2V<L  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） $e\M_hp*J  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） q4q6c")zp  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 SuznN L=/$  
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课程简介 $( )>g>%  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜
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材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 $M#>9QHhc  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 zT/\Cj68  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 wBzC5T%,  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 l0] EX>"E  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 BY*Q_Et  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 %\DX#.  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 Bt#N4m[X*|  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 ,[Fb[#Qqb  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 (t.Nk
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这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 |o@%dH  
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课程大纲 /=h` L,  
1. Essential Macleod 软件介绍 % nIf)/2g  
1.1 介绍软件 HDKbF/  
1.2 运行程序 F?cK-.  
1.3 创建一个简单的设计 iLz@5Zj8  
1.4 绘图和制表来表示性能 h~26WLf.  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能
aT<q=DO  
1.6 创建一个默认设计 VX/#1StC  
1.7 文件位置 6RM/GM  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 HThcn1u~^b  
2oU_2P  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 $N\Ja*g  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） .2pK.$.  
1.11 单位定义 ;
]fs'LH  
1.12 软件如何进行数据插值 l@\
FWWQ  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） xpI wrJO  
1.14 特定设计的公式技术 .o8t+X'G  
1.15 交互式绘图 KgG4*<  
2. 光学薄膜理论基础 zVD:#d%b  
2.1 介质和波 nie%eC&U  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 ExM,g'7  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 fatf*}eln  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 `kr?j:g
 
2.5 光学薄膜设计理论 uocGbi:V';  
3. 理论技术 6Iw\c  
3.1 参考波长与 g 6,uX,X5  
3.2 四分之一规则 qVPeB,kIz  
3.3 导纳与导纳图 E e]-qN*8  
3.4 斜入射光学导纳 H:G1BZjq  
3.5 对称周期 Jl<2>@  
4. 光学薄膜设计 Nluoqoac  
4.1 光学薄膜设计的进展 ?q&T$8zc4  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 X(C$@N  
4.3 光学薄膜设计技巧 mqJ_W[y7  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 aoTP[Bp  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 dTtSUA|V7"  
4.5.1 优化目标设置
6^Sa;  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， Jo}eeJ;k  
差分演化法） x`?3C"N:<  
4.5.3 膜层锁定和链接 .mAjfP*  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 oRzi>rr  
5.1 减反射薄膜 Q,9oKg  
5.2 分光膜 "\=U)CJ  
5.3 高反射膜 JLi|Td"1%  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 C-[1iW'  
;$tSb ~K+  
5.6 负滤光片  bF(f*u  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 !a<ng&H^U  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 ]~nKK@Rw  
5.9 Stack 应用范例说明 Lp7SLkwh3M  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 LDD|(KLR*.  
6.1 背景介绍 7)k\{&+P  
6.2 产品特性 Y<rU#Z#T  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 Q&V;(L62!  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 4e1Y/ Xq`  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 ]tDDq=+v  
7. 防雾薄膜 Faf&U%]*`  
7.1 自清洁效应 )WoxMmz  
7.2 超亲水薄膜 +{UcspqM  
7.3 超疏水薄膜 {_Gs*<.  
7.4 防雾薄膜的制备 hzRYec(  
7.5 防雾薄膜的性能测试 7=DdrG<  
8. 材料管理 `g})|Gx  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 :hV7> rr  
8.2 金属与介质薄膜 5Dl/aHb  
8.3 材料模型 ;'Nd~:-]  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 3&/Ixm:  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 ``Un&-Ms  
8.6 基板光学常数的提取 LDg?'y;2  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 (k
hL-F  
9. 薄膜制备技术 [sb[Z:  
9.1 常见薄膜制备技术 [h:T*(R?  
9.2 光学薄膜制备流程 p^u:&Quac  
9.3 淀积技术 AvHCO8h|  
9.4 工艺因素 !L8#@BjU  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 AFfAtu  
10.1 光学薄膜监控技术 5BJmA2L  
10.2 误差分析与监控决策 i@BtM9:  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 p6WX9\qS(  
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