[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 IF5-@hag,  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） &Tuj`DL  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 W&R67ff|  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） +~aIT=i3  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） AG9DJ{T  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 ncOgSj7e  
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课程简介 Qkx*T9W  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 w43b=7  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 3en67l  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 : slO0  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 h ~yTkN]  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 ?HZ^V  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 'uDx$AkY  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 `N.:3]B t  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 P-gjSE|yh  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 G~(\N?2  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 [r8[lkR  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 K-#d1+P+  
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课程大纲 "``>ii  
1. Essential Macleod 软件介绍 =RD>#'sUK  
1.1 介绍软件 6',Hs  
1.2 运行程序 .!0Rh9yyl  
1.3 创建一个简单的设计 hx9t{Zi  
1.4 绘图和制表来表示性能 ]bh%pn  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 *nJ,|T  
1.6 创建一个默认设计 df@NV Ld  
1.7 文件位置 E~fb#6  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 E]/2u3p  
{G x=QNd  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 6Yodx$  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） s9CmR]C  
1.11 单位定义 Z^%a 1>`  
1.12 软件如何进行数据插值 nCWoco.xy  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） 6d;}mhH  
1.14 特定设计的公式技术 "IzAvKPM  
1.15 交互式绘图 v"ORn5  
2. 光学薄膜理论基础 P4_B.5rrJ  
2.1 介质和波 l+P!I{n  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 9GCK3  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 UH%H9; ,$]  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 ,m?V3xvq  
2.5 光学薄膜设计理论 xO>z )3A  
3. 理论技术 '#3FEo  
3.1 参考波长与 g Os$E,4,py  
3.2 四分之一规则 !"qT2<A  
3.3 导纳与导纳图 dX)aD $m  
3.4 斜入射光学导纳 aHuMm&  
3.5 对称周期 *w(n%f  
4. 光学薄膜设计 RVwS<g)~1  
4.1 光学薄膜设计的进展 n8;p]{  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 1-?i*C  
4.3 光学薄膜设计技巧 ?<3 d Fb  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 bH/4f93Nb  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 I]W7FZ=o  
4.5.1 优化目标设置 r1-MO`6  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化，
mih}?oi  
差分演化法） {c_bNYoE  
4.5.3 膜层锁定和链接 sGhw23  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 z/4<x?}+hE  
5.1 减反射薄膜 6}N`YOJ.  
5.2 分光膜 d"db`8 ;S  
5.3 高反射膜 1]=X  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 dL%*;   
}g-w[w 7p  
5.6 负滤光片 iQ:eR]7X  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 `9[n5-t  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 P8X9bW~GQ  
5.9 Stack 应用范例说明 (["kbPma  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 NO[A00m|OL  
6.1 背景介绍 Rh~b,"  
6.2 产品特性 'a+^= c  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 &2XH.$Q  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 "y"oV[`  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 \MRd4vufv  
7. 防雾薄膜 hGV_K"~I0  
7.1 自清洁效应 )e3w-es~4  
7.2 超亲水薄膜 V{oFig 6  
7.3 超疏水薄膜 e16H@  
7.4 防雾薄膜的制备 JRz)A4P  
7.5 防雾薄膜的性能测试 B7'#8heDh  
8. 材料管理 K% FK  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 `B3-#!2X  
8.2 金属与介质薄膜 "}xIt)n%;  
8.3 材料模型 q:)PfP+  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 }hg=#*  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 9:@Xz5  
8.6 基板光学常数的提取 2! ,ndLA  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 [XI:Yf  
9. 薄膜制备技术 yOEy3d=*  
9.1 常见薄膜制备技术 ?sdSi--  
9.2 光学薄膜制备流程 z4BU}`;b3t  
9.3 淀积技术 :tO4LEb  
9.4 工艺因素 hR|xU
p  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 +d=f_@i  
10.1 光学薄膜监控技术 | 8mWR=9fs  
10.2 误差分析与监控决策 9FSa=<0wE  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 ](R /4  
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