[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 ({OQ JBC  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 0,/I2!dF?  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 s(Bcw`'#  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） *\(MG|S  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） >t_h/:JZ)  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 ?KtF!:_C  
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课程简介 g\% Z+Dc  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 I`f5)iF?0  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 @C|nc&E2s  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 ,gpZz$Ef(  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 'Qh1$X)R7a  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 ;_=N YG.  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 `/O AgV"`  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 >qz#&  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 O9C&1A|lA  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 rQxiG[0  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 hUC157  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 PjD9D.  
^)(-7H  
课程大纲 `*l aUn  
1. Essential Macleod 软件介绍 Q
5^ #:uZ  
1.1 介绍软件 Sv_Nb>  
1.2 运行程序 !:PiQ19 'u  
1.3 创建一个简单的设计 A;<w
v>T  
1.4 绘图和制表来表示性能 /&c2O X|Z  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 mqj-/DN6*  
1.6 创建一个默认设计 )q66^%;S  
1.7 文件位置 ;I&XG  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 ZTibF'
\5N  
.g3=L  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 "[eH|z/  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） /5<=m:  
1.11 单位定义 E.Q]X]q  
1.12 软件如何进行数据插值 Z}TLk^_[  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） Sbl=U  
1.14 特定设计的公式技术 jsQHg2Vd  
1.15 交互式绘图 zak|* _  
2. 光学薄膜理论基础 Z\$M)

e8n  
2.1 介质和波 qJag>OY  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 lYTQg~aPm  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 ~nTj't2R  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 8IA1@0n&  
2.5 光学薄膜设计理论 zXM,cV/s  
3. 理论技术 gW,hI>  
3.1 参考波长与 g p#CjkL  
3.2 四分之一规则 1~'jC8&J  
3.3 导纳与导纳图 AN:yL a!  
3.4 斜入射光学导纳 @ 5^nrB  
3.5 对称周期 !b"?l"C+u  
4. 光学薄膜设计 D#G%WT/"  
4.1 光学薄膜设计的进展 %@Z;;5
L  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 1X[^^p~^  
4.3 光学薄膜设计技巧 fd4C8>*7G  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 M+0PEf.  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 ~ ;LzTL  
4.5.1 优化目标设置 zGFD71=#  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， <n4`#d  
差分演化法） jM&di  
4.5.3 膜层锁定和链接 l2LLM
{B  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 s/=%kCo  
5.1 减反射薄膜 K8aqC{  
5.2 分光膜 vjq2(I)u  
5.3 高反射膜 #]x3
(}3W  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 wS);KLe3  
`0N7Gc  
5.6 负滤光片 i1|>JM[V  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 $'%GB $.  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 b?l>vUgAg  
5.9 Stack 应用范例说明 {g!7K  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 c7jmzo  
6.1 背景介绍 t&xoi7!$  
6.2 产品特性 ejlns ~  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 rNR7}o~qo  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 d?8OY  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 9H/>M4RT  
7. 防雾薄膜 |ZL?Pqki  
7.1 自清洁效应 ~x
^y5[5{  
7.2 超亲水薄膜 bAPMD  
7.3 超疏水薄膜 n&njSj/  
7.4 防雾薄膜的制备 \y5lYb,*c_  
7.5 防雾薄膜的性能测试 l[Z o,4*  
8. 材料管理 @QQ%09*  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 J(l\VvK  
8.2 金属与介质薄膜 c1"wS*u  
8.3 材料模型 b2OwLt9  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 $ ]s^M=8  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 SvT0%2  
8.6 基板光学常数的提取 +Yc^w5 !(  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 s`jlE|jtN  
9. 薄膜制备技术 &em~+83  
9.1 常见薄膜制备技术 n@8Y6+7i  
9.2 光学薄膜制备流程 Cgx:6TRS  
9.3 淀积技术 }6@E3z]AMO  
9.4 工艺因素 $<v4c5r]O  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 Hw o _;fV  
10.1 光学薄膜监控技术 Jt=->  
10.2 误差分析与监控决策 o]q~sJVk6  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 NX&dJ 6a  
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