[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 m@Dra2Cv'@  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） Yy~xNj5OS  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 /Xq|SO  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） 3:O|p[2)L  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） 25f[s.pv8  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 `$Um  
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课程简介 h3bQ<?m  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 7'OR;b$  
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 1`1jSx5}.  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 ?V}ub>J/=  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 ]- 6q`'?[  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 9OFH6-;6`\  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 F Uz1P  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 ,
PoG=W  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 |"PS e~ u  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 $EHFf$M  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 mzCd@<T,  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 ,Ne9x\F  
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课程大纲 n=)LB& m  
1. Essential Macleod 软件介绍 =jKu=!QPq  
1.1 介绍软件 y4! :l=E^  
1.2 运行程序 }.(DQwC}1k  
1.3 创建一个简单的设计 {sxdDl  
1.4 绘图和制表来表示性能 6ddRFpe  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 q{Gh5zg5O  
1.6 创建一个默认设计 amq,^  
1.7 文件位置 Y}xM&%  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 r@zs4N0WP  
Zn0a)VH%  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 uF|Up]Z G  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） [NJ2rQ/w7  
1.11 单位定义 H0 Zo.Np  
1.12 软件如何进行数据插值 !4!qHJISa  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） 1;KJUf[N  
1.14 特定设计的公式技术 *|j4>W\J  
1.15 交互式绘图 H5#]MOAP
 
2. 光学薄膜理论基础 tK@7t0  
2.1 介质和波 R>Dr1fc}  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 H)h^|A/vO  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 |Xm$O1Wa
 
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 ;&gk)w6*  
2.5 光学薄膜设计理论 St(jrZb  
3. 理论技术 -T;^T1  
3.1 参考波长与 g R!%HQA1U  
3.2 四分之一规则 k q]E@tE*3  
3.3 导纳与导纳图 ]'7Au]Us`  
3.4 斜入射光学导纳 yY!)2{F+  
3.5 对称周期 00'SceL=`  
4. 光学薄膜设计 pouXt-%2X  
4.1 光学薄膜设计的进展 <KK.f9^o(  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 '<vb_8.  
4.3 光学薄膜设计技巧 tBfmjxv  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 r7].48D  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 rW|%eT*/'A  
4.5.1 优化目标设置 ,;
5%&T  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， Cg?Mk6i  
差分演化法） {}8C/4iP  
4.5.3 膜层锁定和链接 O9-`e  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 5073Q~  
5.1 减反射薄膜 [3qH?2&  
5.2 分光膜 0:n"A,-p  
5.3 高反射膜 jjQDw=6  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 wsQ],ZE  
5M~+F"Hl  
5.6 负滤光片 u{va2n/  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 
d(XOZF  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 l`l6Y>c*]  
5.9 Stack 应用范例说明 ?%su?L  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 7sQHz.4  
6.1 背景介绍 !;mn]wR>a  
6.2 产品特性 %o4v} mzV  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 AX%}ip[PC  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 rNJU & .]  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 - AgD  
7. 防雾薄膜 tFc<f7k  
7.1 自清洁效应 !ht2*8$lQ  
7.2 超亲水薄膜 9d^m 7}2  
7.3 超疏水薄膜 <`"  
7.4 防雾薄膜的制备 u?fM.=/N  
7.5 防雾薄膜的性能测试 rm ;U'&{  
8. 材料管理 iZiT/#,H2  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 tY]?2u%)  
8.2 金属与介质薄膜 n
*ShYsc  
8.3 材料模型 ?<^8,H  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 V sx
I  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 y\uBVa<B  
8.6 基板光学常数的提取 8f[ztT0`g  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 n"aF#HR?0d  
9. 薄膜制备技术 XEbVsw  
9.1 常见薄膜制备技术 QEbf]U=  
9.2 光学薄膜制备流程 7S 8X)  
9.3 淀积技术 TfkGkVR  
9.4 工艺因素 vV$t`PEY  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 8x)i{>#i  
10.1 光学薄膜监控技术 vdvnwzp!l  
10.2 误差分析与监控决策 I}o} #OJ  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 ; U7P{e05  
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