[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 p"ElO,\  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） G ;fc8a[X  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 -ttH{SslM  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） *CS2ndp  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） ux=0N]lc  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 | l
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课程简介 u>-pgu  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 <V_P)b8$1
 
材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 R
!2oj_  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 &m8Z3+Ea  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 j8|N;;MN  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 SdM@7%UK  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。  V9cKl[  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 &|&tPD/dJ  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 .]D7Il  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 1SO!a R#g  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 # @~HpqqR  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 c3]X#Qa#m$  
Eu)(@,]we  
课程大纲
0kOl,%Ey  
1. Essential Macleod 软件介绍 >J,y1jzJ  
1.1 介绍软件 v[J"/:]  
1.2 运行程序 e_Un:r@)  
1.3 创建一个简单的设计 m2h@*  
1.4 绘图和制表来表示性能 yG..B  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 .lE7v-e  
1.6 创建一个默认设计 TOC2[mc'  
1.7 文件位置 'vc>uY  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 W<s
a6,$  
(m%
A>e B  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 ~P;KO40K  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） &w7Ev21  
1.11 单位定义 m&!4*D  
1.12 软件如何进行数据插值 4k4 d%  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） hiBZZ+^[  
1.14 特定设计的公式技术 ZA{T0:  
1.15 交互式绘图 \Jy/ a-  
2. 光学薄膜理论基础 b`yb{& ,?  
2.1 介质和波 vWpoaz/w  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 JT(6Uf  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 S%{^@L+V  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 uS}qy-8J  
2.5 光学薄膜设计理论 \!Cc[n(f#  
3. 理论技术 /t"FZ#  
3.1 参考波长与 g glo Y@k~  
3.2 四分之一规则 fqp!^-!X  
3.3 导纳与导纳图 m?)REE  
3.4 斜入射光学导纳 }XcYIo#+t  
3.5 对称周期 gR\-%<42  
4. 光学薄膜设计 mA2L~=v#  
4.1 光学薄膜设计的进展 '"Z\8;5i  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 ^]{m*bEkR  
4.3 光学薄膜设计技巧 RF$2p4=[  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 vA"MTncv  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 _'Rzu'$`  
4.5.1 优化目标设置 4M,Q{G
|e  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， E8LA+dKN:  
差分演化法） vj,OX~|  
4.5.3 膜层锁定和链接 {@YY8SKb9  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析
R.'-jvO  
5.1 减反射薄膜 \{u 9Kc  
5.2 分光膜 /;{E}`  
5.3 高反射膜 l>){cI/D#  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 56`Tna,t  
x,81#=m^h  
5.6 负滤光片 L5j%4BlK/  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 =&~7Q"  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 c+A$ [  
5.9 Stack 应用范例说明 kfj)`x  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 uw>O|&!  
6.1 背景介绍 p'f8?jt  
6.2 产品特性 =9yh<'583  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 u/_TR;u=q  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 !> 2kH  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 /?*GJN#  
7. 防雾薄膜 ' Ih f|;r  
7.1 自清洁效应 kH'zTO1  
7.2 超亲水薄膜
1Xn:B_pP  
7.3 超疏水薄膜 =IH~:D\&  
7.4 防雾薄膜的制备 *'to#_n&W  
7.5 防雾薄膜的性能测试 -~] q?k?  
8. 材料管理 !*G%vOa  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 sD ,=_q@  
8.2 金属与介质薄膜 ^gSZzJ5  
8.3 材料模型 XT%\Ce!  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 f1w_
Cl  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 j@u]( nf  
8.6 基板光学常数的提取 E*AI}:or;  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 C2}f'  
9. 薄膜制备技术 E^4}l2m_  
9.1 常见薄膜制备技术 l9t|@9  
9.2 光学薄膜制备流程 J~.`  
9.3 淀积技术 W"n0x8~sV  
9.4 工艺因素 s3sPj2e{  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 ko{7^]gR  
10.1 光学薄膜监控技术 Z_;!f}X  
10.2 误差分析与监控决策 oH='\M%+  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 |}><)}  
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