[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 e*:K79y  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） Aw#<:6-  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 pD<w@2K  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） bZ`v1d (r  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） vIV|y>;g  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 CWdsOS=  
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课程简介 QEyL/#Q  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜 V^_
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材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我
X*2W4udF  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 PT/Nz+  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 !T0I; j&  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 %Ig$:I(o  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 rFXdxRP;M  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 SQN?[v  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 ~o'1PAW7  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 Z[?n{vD7  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从 yv,FzF}7  
这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 '09|Y#F  
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课程大纲 2 @#yQB1  
1. Essential Macleod 软件介绍 &S>{9y%  
1.1 介绍软件 pD{OB  
1.2 运行程序 S=qh7ML  
1.3 创建一个简单的设计 )9eIo&Nl  
1.4 绘图和制表来表示性能 sfXFh  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 YmV/[{  
1.6 创建一个默认设计 B;9,Qbb  
1.7 文件位置 f+Y4~k  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 k|;a"56F  
YC6T0m  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 Ju+3}  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） 0Ui.nz j  
1.11 单位定义 #UM,)bH  
1.12 软件如何进行数据插值 !*#9b  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） *Soi  
1.14 特定设计的公式技术 ('&lAn  
1.15 交互式绘图 a#p+.)Wm  
2. 光学薄膜理论基础 Fd9[Pe@?`  
2.1 介质和波 D \ rns+  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 `D+zX
 
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 JQQyl:=  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 6"-$WUlg  
2.5 光学薄膜设计理论 2 }xePX9?  
3. 理论技术 ?|M-0{  
3.1 参考波长与 g _}R$h=YD  
3.2 四分之一规则 I}8e"#  
3.3 导纳与导纳图 !gXxM,R  
3.4 斜入射光学导纳 <9@
n/  
3.5 对称周期 SEgw!2H  
4. 光学薄膜设计 RC_Pj)  
4.1 光学薄膜设计的进展 i%i~qTN  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 hU
MG}<  
4.3 光学薄膜设计技巧 wv\X  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 
Ca |}i+  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 pBqf+}g4  
4.5.1 优化目标设置 =4_}.  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， +g1>h,K 3  
差分演化法） k3Yu"GY^  
4.5.3 膜层锁定和链接 #0AyC.\  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 6P{bUom?  
5.1 减反射薄膜 !U`4  
5.2 分光膜 x;vfmgty  
5.3 高反射膜 w{tA{{  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 G$C2?|V)=  
NO5k1/-  
5.6 负滤光片 WuK<?1meN  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 %H\b5& _y  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 ,M.C]6YMr  
5.9 Stack 应用范例说明 eT%x(P
 
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 _ZRmD\_t  
6.1 背景介绍 vQ< ~-E  
6.2 产品特性 >DRxF5b{  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 Fyvo;1a  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 D`XXR}8V  
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 P>_O :xD  
7. 防雾薄膜 ;+75"=[YT  
7.1 自清洁效应 n@pwOHQn<|  
7.2 超亲水薄膜 _9BL7W $;  
7.3 超疏水薄膜 y[McdlH m  
7.4 防雾薄膜的制备 INndTF  
7.5 防雾薄膜的性能测试 h2Q'5
G  
8. 材料管理 A"*=K;u/|m  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 Z}O]pm>=G  
8.2 金属与介质薄膜 z83v J*.  
8.3 材料模型 q^[t</_N  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 5AT^puL]]  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 ?8 }pZ_j  
8.6 基板光学常数的提取 XL*M#Jx  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 P(PBOB97  
9. 薄膜制备技术 |lhnCShw  
9.1 常见薄膜制备技术 
JpXv+V  
9.2 光学薄膜制备流程 M~zI;:0O  
9.3 淀积技术 xh;gAh5n  
9.4 工艺因素 .vHHw@  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 ->ZP.7  
10.1 光学薄膜监控技术 &S="]
*Z  
10.2 误差分析与监控决策 RxP~%oADw  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 !$Uo$?gC  
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