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作者:美国Angus Macleod 、Christopher Clark 0*?~I;.2m$ 译:讯技科技股份有限公司 Ql-RbM 校:讯技科技股份有限公司 {3Z&C$:s S5R Q 书籍概况: ]Y!$HT7\ "y@B| Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ;kO
Op@e 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Angus Macleod先生60多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 3DRXao 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 M%H<F3 6yZfV7I 书籍目录 xmz83Ll9 Q5'DV!0aSv 1 引言 Bfw]#"N` 2 光学薄膜基础 mVGQyX 2.1 一般规则 vluA46c 2.2 正入射规则 ZgCG'SU 2.3 斜入射规则 D 6!`p6r+ 2.4 精确计算 Y=JfV 2.5 相干性 (7w`BR9B 3 Essential Macleod的快速预览 ,ZyTYD|7 4 Essential Macleod的特点 <_&H<]t%rI 4.1 容量和局限性 ajF-T=5 4.2 程序在哪? 3QSP](W-( 4.3 数据文件 |}paa 4.4 设计规则 :AYp{"{ 4.5 材料数据库和目录库 9j458Yd4* 4.5.1 材料数据库及导入材料 l v]TE" 4.5.2 材料目录库 X-Y:)UT 4.5.3 导出材料数据 FJl#NOp& 4.6 常用单位 R.Xh&@f` 4.7 插值 N(0G!sTI 4.8 材料数据的平滑 fw@n[u{~ 4.9 一般文档编辑规则 WXP=U^5Si 4.10 设计文档 wowv>!N!X- 4.10.1 公式 G"&9u2 k 4.10.2 更多关于膜层厚度 YUdCrb9F 4.10.3 沉积密度 L~fxVdUz 4.10.4 性能计算 f]H[uzsV 4.10.5 保存设计和性能 *"#62U6 4.10.6 默认设计 omQaN#!, 4.11 图表 1t{h)fwi 4.11.1 合并曲线图 9u";%5 4 4.11.2 自适应绘制 >h>X/a(=~ 4.11.3 动态参数图 YX38*Ml+V 4.11.4 3D绘图 xwG=&+66 4.12导入和导出 ]Ga }+^ 4.12.1 剪贴板 gZ6]\l]J{ 4.12.2 不通过剪贴板导入 5I9~OJ> 4.12.3 不通过剪贴板导出 fMRBGcg7Dc 4.13 背景(Context) +$M%"=tk 4.14 扩展公式 - 生成设计 VA*~RS 4.15 生成Rugate jt-Cy 4.16 参考文献 ehQ"<.sQ 5 在Essential Macleod中建立一个Job WT$m*I 5.1 Jobs K@lZuQ.1 5.2 创建一个新的Job t b5k| 5.3 输入材料 `HXP*Bp# 5.4 设计数据文件夹 $@kGbf~k 5.5 默认设计 kBYZNjSz 6 细化和合成 @D_=MtF< 6.1 最优化导论 G+?@4?`z 6.2 细化 L<bZVocOb_ 6.3 合成 7:x%^J+ 6.4 目标和评价函数 ZGrjb22M 6.4.1 目标输入 dOPA0Ja 6.4.2 目标关联 &RQQVki3 6.4.3 特殊的评价函数 "5*n(S{ks 6.5 膜层锁定和关联 pE(\q+1< 6.6 优化技术 p@`rBzGp 6.6.1 单纯形 Q7oJ4rIP 6.6.1.1单纯形参数 :|/bEP]p/ 6.6.2 Optimac Cw1Jl5OVZ 6.6.2.1 Optimac参数 c(jF^
0~ 6.6.3 模拟退火算法 *gRg--PY% 6.6.3.1退火参数 *oLAO/)n 6.6.4 共轭梯度 vUD,%@k9 6.6.4.1共轭梯度参数 3In`
!@ EJ 6.6.5 拟牛顿法 EIO!f[]o 6.6.5.1 拟牛顿法参数: Qzy[ 6.6.6 针形合成 i-oi?x<u&( 6.7 我应该使用哪种技术? |/K+tH 6.7.1 细化 k{>rI2; 6.7.2 合成 UBoN}iR 6.8 参考文献 '~i;g.n=}- 7 导纳图和其他工具 (3z: ; 7.1 介绍 It,m %5
Py 7.2 导纳变换 Qp8.D4^@3 7.2.1 四分之一波长规则 sXm8KV 7.2.2 导纳轨迹图 3\FPW1$i|[ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 n\k6UD 7.4 全介质抗反射膜的应用 Am3^3> 7.5 对称周期结构 O8+e: K[D 7.6 参考文献 [OJ@{{U% 8.典型的镀膜实例 ^)=c74;; 8.1 单层抗反射膜 \z!*)v/{- 8.2 1/4-1/4抗反射膜 .&d]7@!qy 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射膜 %jEdgD%xV 8.4 W-膜层 S^|Uzc 8.5 V-膜层 F. X{(8 8.6 高折射基底V-膜层 "(j.:jayd 8.7 高折射率基底b V-膜层 a x1 8.8 1/4-1/4高折射率基底 Di{T3~fqU 8.9 四层抗反射膜 rQT@:$) 8.10 Reichert抗反射膜 H|>dF)%pj 8.11 可见光和1.06um抗反射膜 F[/Bp>P7 8.12 宽波段6层抗反射膜 l{wHu(1 8.13 宽波段8层抗反射膜 v{4K$o 8.14 宽波段25层抗反射膜 kOR5'rh 8.15 四层2-1 增透膜 dA-ik 8.16 1/4波长堆栈 Omo1p(y 8.17 陷波滤光器 !
7,rz1s73 8.18 Rugate |__\Vn 8.19 消偏振分光片1 1c);![O 8.20 消偏振分光片2 `-!t 8BH 8.21 消偏振立体分光片 3DRbCKNL 8.22 消偏振截止滤光片 VyK]:n<5Q 8.23 偏振立体分光片1 J<dr x_gc 8.24 偏振立体分光片2 KB+,}7 8.25 缓冲层 I12WOL q 8.26 红外截止滤光片 g+BW~e) 8.27 21层长波通过光片 *44^M{ti< 8.28 49层长波通滤光片 eaP,MkK& 8.29 55层长波通滤光片 @F)51$Ld 8.30 宽带通滤光片 u
)+;(Vd 8.31 诱导透射滤光片 <;\T
e4g[ 8.32 诱导透射滤光片2 6LZ(bP'd; 8.33 简易密集型光波复用(DWDM)滤光片 'J~{8w,. 8.34 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤光片 INrl^P* 8.35 增益平坦滤光片 $
hwJjSZ0 8.36 啁啾反射镜1 QCkPua9 8.37 啁啾反射镜2 ,Zs:e. 8.38 啁啾反射镜3 _YzItge* 8.39 铝保护膜 !7ct=L 8.40 铝反射增强膜 QXx<Hi^ / 8.41 参考文献 j|3p.Cy 9 多层膜 fis**f0 9.1 多层膜基本原理—堆栈 kzPHPERA] 9.2 内透过率 s,>_kxuX 9.3 简单例子 [*zB
vj}G 9.4 简单例子2 wN/d
J 9.5 圆锥和带宽计算 v-2_# 9.6 在Design中加入堆栈进行计算 TR3_!0 10 光学镀膜色彩 +')\,m "z 10.1 介绍 V9Bi2\s* 10.2 色彩 S'T&`"Mr 10.3 主色调和纯度 uPbvN[~t 10.4 色度和浓度 82#7TX4 10.5 薄膜的颜色和最优化颜色刺激 ^qXc%hj g 10.6 Essential Macleod中的色彩计算 B3[;}8u> 10.7 参考文献 *BzqAi0 11 薄膜中的短脉冲现象 >?K@zsv} 11.1 短脉冲 d5&avL\ 11.2 群速度 `
MIZqHM @ 11.3 群速度色散 K!^x+B| 11.4 啁啾 yHL 2! 11.5 光学薄膜—相变 6J[ {?, 11.6 群延时和群延迟色散 }MBxfZ 4I 11.7 色散 F?Cx"JYix 11.8 色散补偿 Wk w.z 11.9 空间光线移位 ?)<DEu:Y 11.10 参考文献 nDx}6}5) 12 公差与误差 +[C(hhk(" 12.1 蒙特卡罗模型 Gs]m; "o|
12.2 Essential Macleod中的误差分析工具 7+wy`xi 12.2.1 误差分析工具 9^ITP!~e* 12.2.2 灵敏度工具 "<6X=|C 12.2.2.1 Independent Sensitivity _bB:1l?V 12.2.2.2 灵敏度分布 M:V'vme)+ 12.2.3 Simulator—一个更高级模型 e]-bB#-A 12.3 参考文献 xgV.<^ 13 Runsheet 与Simulator 3>X]`Oj7y 13.1 基本原理 !}7FC>Cx 13.2 边带滤光片设计 *'D(
j#& 14 光学常数提取 KSsv~!3Yf 14.1 介绍 QiBo]`)% 14.2 介电薄膜 ^PDz"L<* 14.3 n和k提取工具 ?K]Cs&E4 14.4 基底 V'TBt=!=] 14.5 金属的光学常数 +\~.cP7[ 14.6 不正确的模型 T:$ a
x 14.7 参考文献 l1*qDzb 15 反演工程 L{_Q%!h3] 15.1 随机和系统误差 4^h_n1A 15.2 系统常见的问题 {&Kck>C' 15.3 单层膜 A/eZnsk 15.4 多层模 J`/ t;xk 15.5 建议 ! h7?Ap 15.6 反演工程 bHx09F] 16 应力、张力、温度和均匀性工具 D"kss5>w 16.1 温度引起光学性能的改变 -Lh\] 16.2 应力工具 vsc)EM ] 16.3 平均误差 Y*0 AS|r! 16.3.1 Taper工具 c^ $_epc* 16.3.2 波像差问题 +u+|9@ 16.4 参考文献 m$b5Vqq 17 如何在Function中编写操作数 R+vago: 17.1 引言 '%U'%' ) 17.2 操作数 -1'O 18 如何在Function中编写脚本 _XLGXJ[B 18.1 简介 wuRB[KLe 18.2 什么是脚本? g}(yq:D 18.3 Function中脚本和操作数的对比 mO];+=3v8 18.4 基本概念 Cu*+E%P9` 18.4.1 Classes G i1Jl" 18.4.2 Objects |C;8GSw>|F 18.4.3 Messages !h\.w9o[ 18.4.4 Properties byALM 18.4.5 Methods nymF`0HYe1 18.4.6 显式声明 kg0X2^#b 18.5创建对象 Sg#$
B#g 18.5.1 创建对象函数 OP:i;%@c 18.5.2 使用ThisSession和其他对象 p5RnFe l 18.5.3 概要 \<k5c-8Hb 18.6 脚本中的表格 04;E^,V 18.6.1 方法1 NXwthc3 18.6.2 方法2 ']Q4SB"q 18.7 注释 H&$L1CrdL 18.8 Scripts脚本管理器 +qN}oyL
18.9 更高级的脚本命令 b)+nNqY| 18.10 <Esc>键 awYnlE/Z1 18.11 优化用脚本 rw:z|-r 18.12 脚本对话框 ylFoYROO 18.12.1 介绍 z;T_%?u 18.12.2 消息框-MsgBox (2 nSZRB 18.12.3 输入框函数 S*"uXTS 18.12.4 自定义对话框 FA5|` 18.12.5 对话框编辑器 jh7-Fl` 18.12.6 对话框的控制 h2k"iO} 18.12.7 更高级的对话框 80(Olf@PE 18.13 进一步研究 [)efh9P* 19 vStack FM{^ND9x 19.1 vStack基本原理 dnEIR5%+. 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 pl#2JA8 19.3 五棱镜 }%^N9AA8 19.4 二向分色棱镜 z@za9U`6i 19.5 偏振泄漏 !TNp|U! 19.6 波前差—相位 AW{"9f4 19.7 其他参数 mVaWbR@HS 20 报告生成器 >:C0ZQUW 20.1 介绍 xh6Yv%\@ 20.2 指令 {C>E*qp}f 20.3 页面布局指令 Z;v5L/; 20.4 常见的Plots图和三维图 CjRU3
(Q 20.5 常见参数表 7~zd
%
o
20.6 重复指令 }Gvu!a#R 20.7 报告模版 L0lqm0h 20.8 预备设计一个报告模版 + *xi&|% 21 一个新项目 .ei5+?V<i 21.1 创建一个新Job X}V}% 21.2 默认设计 "O}u2B b 21.3 薄膜设计 Am'%tw
~ 21.4 误差的灵敏度 jw 4B^2} 21.5 显色性 QsemN7B"< 21.6 电场分布 S4ys)!V1V mJU1n
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