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作者:美国Angus Macleod 、Christopher Clark !3k-' ),z& 译:讯技科技股份有限公司 uyB 2 校:讯技科技股份有限公司 v^t7)nx^ ]k7%p>c=B 书籍概况: U), HrI>; fd>{UyU Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 rM
A%By^L- 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Angus Macleod先生60多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 $6wSqH?q 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 o ^UOkxs. Qr3!6 书籍目录 E wFq1~ q@[F|EF= 1 引言 ^GY^g-R 2 光学薄膜基础 Y!_c/ !Tx 2.1 一般规则 hB.8\-}QMq 2.2 正入射规则 *p\Zc*N;% 2.3 斜入射规则 YF-E1`+?< 2.4 精确计算 dEKu5GI 2.5 相干性 tNzO1BK 3 Essential Macleod的快速预览 7>O`UT<t4@ 4 Essential Macleod的特点 .-tR <{
g 4.1 容量和局限性 Zf!Q4a" 4.2 程序在哪? 8_HBcZWs 4.3 数据文件 zs
I?X>4 4.4 设计规则 r1<*=Fs=>> 4.5 材料数据库和目录库 +<[ q"3 4.5.1 材料数据库及导入材料 `Tyd1!~ 4.5.2 材料目录库 1Xm>nF~ 4.5.3 导出材料数据 ROQ]sQpk 4.6 常用单位 Tf]ou5| 4.7 插值 Ru*gbv,U 4.8 材料数据的平滑
a}FyJp 4.9 一般文档编辑规则 CQ/+- -o 4.10 设计文档 SQ[D2v 4.10.1 公式 }l$zZ>.\H 4.10.2 更多关于膜层厚度 c]#}#RJ`\ 4.10.3 沉积密度 !Ea! "} 4.10.4 性能计算 q/I( e 4.10.5 保存设计和性能 ;#v3C; 4.10.6 默认设计 16 `M=R 4.11 图表 7JQ4*RM 4.11.1 合并曲线图 K\U`gTGc 4.11.2 自适应绘制 i]k)wr( 4.11.3 动态参数图 *,lDo9 4.11.4 3D绘图 *m<[ sS 4.12导入和导出 oydP}X 4.12.1 剪贴板 ,>6a)2xh 4.12.2 不通过剪贴板导入 Evm3Sm!S 4.12.3 不通过剪贴板导出 `I wZVz 4.13 背景(Context) ]YhQQH1>] 4.14 扩展公式 - 生成设计 EDgtn)1 4.15 生成Rugate Y"8@\73(R 4.16 参考文献 :K2
X~Ty 5 在Essential Macleod中建立一个Job 0O`Rh"O 5.1 Jobs ZXYyG`3+ 5.2 创建一个新的Job HLV8_~gQPf 5.3 输入材料 gF)-Ci 5.4 设计数据文件夹 Kj
@<$ChZw 5.5 默认设计 +yfUB8Xw 6 细化和合成 }a5TY("d9H 6.1 最优化导论 v;
#y^O
6.2 细化 `
wEX; 6.3 合成 |wuTw| 6.4 目标和评价函数 ma*#*4 6.4.1 目标输入 h]& 6.4.2 目标关联 (!{*@?S 6.4.3 特殊的评价函数 i&6U5Va,G 6.5 膜层锁定和关联 /FXvrH( 6.6 优化技术 oz=ULPZ%
6.6.1 单纯形 _dk[k@5W{' 6.6.1.1单纯形参数 *Ts$Hj[ 6.6.2 Optimac m"Mj3Z: 6.6.2.1 Optimac参数 Y3[KS;_fr9 6.6.3 模拟退火算法 UwS7B~ 6.6.3.1退火参数 =
>TU 6.6.4 共轭梯度 Bcv{Y\x;ko 6.6.4.1共轭梯度参数 '12*'Q+{+ 6.6.5 拟牛顿法 Het"x 6.6.5.1 拟牛顿法参数: `(?c4oq,c> 6.6.6 针形合成 KM[0aXOtv 6.7 我应该使用哪种技术? E%v0@ 6.7.1 细化 _w?!Mu 6.7.2 合成 )HE{`yiLL 6.8 参考文献 qtAt=` s 7 导纳图和其他工具 GBBr[}y- 7.1 介绍 i,;eW&
7.2 导纳变换 ?C fQwY#N 7.2.1 四分之一波长规则 zC)JOykI% 7.2.2 导纳轨迹图 >&+V[srfD 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 sHBTB6)lx 7.4 全介质抗反射膜的应用 Iv 7.5 对称周期结构 #p*uk 7.6 参考文献
V^Z5i]zT 8.典型的镀膜实例 #OM'2@ 8.1 单层抗反射膜 Q+Q"J U 8.2 1/4-1/4抗反射膜 *\'t$se+ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射膜 z~`X4Segw 8.4 W-膜层
$6UU58>n 8.5 V-膜层 n^{h@u 8.6 高折射基底V-膜层 yKj}l,i~8 8.7 高折射率基底b V-膜层 Co(N8>1 8.8 1/4-1/4高折射率基底 cFq<x=S 8.9 四层抗反射膜 F!hjtIkPj 8.10 Reichert抗反射膜 }Em{?Hqy 8.11 可见光和1.06um抗反射膜 diu"Nt 8.12 宽波段6层抗反射膜 4s:M}=]N 8.13 宽波段8层抗反射膜 -V4{tIQY 8.14 宽波段25层抗反射膜 xP>cQEL ot 8.15 四层2-1 增透膜 %+Nng<_U\T 8.16 1/4波长堆栈 @R`6jS_gK 8.17 陷波滤光器 Ua|iAD1 8.18 Rugate .+XK>jl+ 8.19 消偏振分光片1 /hqn>t 8.20 消偏振分光片2 =C,DR4xh 8.21 消偏振立体分光片 o[KZm17 8.22 消偏振截止滤光片 y[l{
UBue: 8.23 偏振立体分光片1 9jf9u0 8.24 偏振立体分光片2 1QA/ !2E 8.25 缓冲层 xva
e^gr
8.26 红外截止滤光片 {"~[F 2qR 8.27 21层长波通过光片 #'KM$l,P 8.28 49层长波通滤光片 |(Wwh$ 8.29 55层长波通滤光片 Ag\RLJ.KD 8.30 宽带通滤光片 9Cd/SlNV2 8.31 诱导透射滤光片 lq53
xT 8.32 诱导透射滤光片2 Peph..8 Z 8.33 简易密集型光波复用(DWDM)滤光片 T5}3Y3G,6 8.34 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤光片 -E6av|c,F 8.35 增益平坦滤光片 >H;m[ 8.36 啁啾反射镜1 46)[F0,$r 8.37 啁啾反射镜2 -6-rXD 8.38 啁啾反射镜3 tgCp2`n 8.39 铝保护膜 nHbi{,3 8.40 铝反射增强膜 wxK71OH 8.41 参考文献 [Uq`B&F: 9 多层膜 %K3U`6kHcd 9.1 多层膜基本原理—堆栈 4.,|vtp 9.2 内透过率 T7mT:z>: 9.3 简单例子 ZGH
7_K 9.4 简单例子2 9A4n8,&sm 9.5 圆锥和带宽计算 |=:@<0.' 9.6 在Design中加入堆栈进行计算 :kI[Pf!z 10 光学镀膜色彩 Z;~%! 10.1 介绍 8wd["hga<% 10.2 色彩 B0yGr\KJ 10.3 主色调和纯度 1yF9zKs&_ 10.4 色度和浓度 ]!S#[Wt {k 10.5 薄膜的颜色和最优化颜色刺激 ={cM6F}a@ 10.6 Essential Macleod中的色彩计算 y~]D402Cx 10.7 参考文献 D+0il=5 11 薄膜中的短脉冲现象 "dv\
9O 11.1 短脉冲 j8e=],sQ 11.2 群速度 W?E01"p 11.3 群速度色散 \M.?*p 11.4 啁啾 9.dZA9l@g 11.5 光学薄膜—相变 ]5
]wyDj 11.6 群延时和群延迟色散 e^\(bp+83
11.7 色散 2Q(ZW@0 11.8 色散补偿 rT;l#<#VE 11.9 空间光线移位
K%%Ow 11.10 参考文献 6v:L8t$" 12 公差与误差 )cQ KR4x0^ 12.1 蒙特卡罗模型 !p\
@1? 12.2 Essential Macleod中的误差分析工具 aDz%
%%:r
12.2.1 误差分析工具 |QbCFihn 12.2.2 灵敏度工具 S`mB1(h 12.2.2.1 Independent Sensitivity R$}Hv 12.2.2.2 灵敏度分布 D6e?J. 12.2.3 Simulator—一个更高级模型 [8tpU&J 12.3 参考文献 RjP]8tH& 13 Runsheet 与Simulator 7?k3jDK
13.1 基本原理 U<XfO'XJ 13.2 边带滤光片设计 B(71I; 14 光学常数提取 9b-4BON{P 14.1 介绍 Y=sv
14.2 介电薄膜 Su,<idS 14.3 n和k提取工具 py~[M'p(H 14.4 基底 1n2Pr'|s 14.5 金属的光学常数 t`}=~/#`X 14.6 不正确的模型 OBlQ 14.7 参考文献 fOSJdX0e|Q 15 反演工程 L28wT)D- 15.1 随机和系统误差 v%`k*n': 15.2 系统常见的问题 !F6rcDK I 15.3 单层膜 &u"mFweS 15.4 多层模 F@t\D? 15.5 建议 IYptNR 15.6 反演工程 Wkb>JnPo 16 应力、张力、温度和均匀性工具 $i8oLSRV 16.1 温度引起光学性能的改变 Zg= { 16.2 应力工具 HWou&<EK 16.3 平均误差 P%[{ 'u 16.3.1 Taper工具 ~QE?GL 16.3.2 波像差问题 2WKIO|' 16.4 参考文献 2}P{7flDY 17 如何在Function中编写操作数 th"Aatmp 17.1 引言 5A %TpJ 17.2 操作数 @Py'SH!- 18 如何在Function中编写脚本 +m}D.u*cp 18.1 简介 }{J>kgr6 18.2 什么是脚本? FDGzh/ 18.3 Function中脚本和操作数的对比 Mp5Z=2l5 18.4 基本概念 5D^2
+`$/ 18.4.1 Classes QRdtr 18.4.2 Objects T9}dgf 18.4.3 Messages f0g_Gn $ 18.4.4 Properties DvI^3 iG8 18.4.5 Methods 2I=4l 18.4.6 显式声明 [8DPZU@ 18.5创建对象 }ew)QHd 18.5.1 创建对象函数 WT 5 2 18.5.2 使用ThisSession和其他对象 [e|9%[.V 18.5.3 概要 4
;6,h6a 18.6 脚本中的表格 6: R1jF*eG 18.6.1 方法1 FhEfW7]0, 18.6.2 方法2 SrMfd7H8f 18.7 注释 yi-)4#YN 18.8 Scripts脚本管理器 =ZV+*cCC=q 18.9 更高级的脚本命令 .nA9irc 18.10 <Esc>键 )ZZ6 (O 18.11 优化用脚本 ^|h.B$_F, 18.12 脚本对话框 oC!z+< 18.12.1 介绍 x f:|lQf 18.12.2 消息框-MsgBox nob}}w]~C 18.12.3 输入框函数 ?|hYtV 18.12.4 自定义对话框 6SAYe%e 18.12.5 对话框编辑器 ~^3U@(: 18.12.6 对话框的控制 A(C0/|#V 18.12.7 更高级的对话框 c/-'^+9 18.13 进一步研究 0o@eE3^ 19 vStack 1q*=4O
19.1 vStack基本原理 a8y*Jz-E 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 p@YbIn 19.3 五棱镜 \gir 19.4 二向分色棱镜 *2m{i:3 19.5 偏振泄漏 {I$zmVG 19.6 波前差—相位 ln09_Lr 19.7 其他参数 8hX/~-H 20 报告生成器 \VAS<?3 20.1 介绍 ~NK|q5(I 20.2 指令 &x[V<Gq 20.3 页面布局指令 |)ALJJ=+ 20.4 常见的Plots图和三维图 S]c& |