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1. 软件简介 zFi+6I$ 0D#!!r ; TSolidX基于实际半导体工艺和掩模版图设计的3D建模软件,借助易于使用的UI,可以提供三种类型的3D建模结构(实体模型,曲面三角网格,3D四面体网格)作为可在商业CAD,CAE,CAM软件中使用的各种CAx格式数据。 !T,7 K=5_jE^e 1.1 应用领域 J-PzI FWd ^y6Pkb
P TSolidX能生成多种3D模型: Ql*/{#$ OLED像素结构; ^RWt PCB衬底设计; \>=YxB q 散热器结构; 3/rvSR! 生物医学传感器; J|FyY)_ 太阳能电池; h/TPd] Br~%S?4"o 1.2 主要功能 g41Lh3dj ^YIOS]d>8# 内置布局编辑器,并且可以通过Skill语言界面直接从其他商业布局运行; $PS5xD~@ 高级mesh生成技术:用多样的结构生成功能创建真实的结构; @I"Aet'XV 可以定义各种堆栈信息和过程条件(厚度,台阶覆盖率,平面度,锥度模型,非选择性蚀刻,蚀刻阻挡层等),这些各种高级功能可以帮助生成准确的3D网格结构; ,IJ Nuu\ 提供了蚀刻工艺选项,包括非选择性蚀刻,蚀刻停止剂,湿法蚀刻功能,半色调掩模进行的部分蚀刻; pO+1?c43 提供3种3D网格类型:锥形,锥形保形和曼哈顿; 3Xh&l[. 附加布局程序,为“ TSolid Viewer”,可以识别GDS文件以及2D掩膜板设计; f[}SS]d:E 有多种类型的CAx格式文件可用于导出数据:对于实体模型,提供了step和IGES格式,对于3D三角形网格,提供了STL, Stanford triangle, Nastran, alias/wavefront/autocad dxf等,为3D四方网格提供了Nastran,ansys,Gmsh,abaqus输入格式,为满足客户的需求,也可以添加特定的格式文件; <Ab:yD`K! 提供自适应和非结构化网格算法,可以控制边缘,表面和体积条件; |16
:Zoq 通过使用变量功能可以非常轻松快捷地生成各种3D网格结构,可设置的变量参数:厚度,水平度(平面化),锥角和宽度,CD余量,圆角倒圆和移位距离; EhFhL4Xdn 支持分布式和并行计算方法
.V.N^8(:a fA,+qs 1.3 应用举例 R-Fi`#PG2 3N*Shzusbt 下图显示了带有体积网格的太阳能电池的输出文件,从正面,侧面和俯视图来看,该文件称为3D四方网格。 "tj#P \7j)^
=hs@W)-O 执行变形分析 @E>^\!nH _@OYC<
kN$70N7I;
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