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多层减反膜理论与实测差别较大
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多层减反膜理论与实测差别较大
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songyanxia
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发表于: 2022-02-09
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减反膜
离子源
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为德国莱宝加APS离子源,在k9基底上使用sio2和ta2o5设计了可见区+1540nm双波段
减反膜
,理论上在可见区有三个波峰,且平均剩余反射率小于0.5%,最大峰值0.7%左右,而实际测量
曲线
与理论相差非常大,波峰为4个,波峰最大值超过2%。sio2和ta2o5折射率以及tooling都校准过了。
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ouyuu
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1楼
发表于: 2022-02-23
AR膜好像从来没有和设计一样的。
ChNT;G<6$
慢慢用模拟软件模拟着修吧。
4T){z^"
+*eVi3
先确定氧是足够的(没有失氧),先修敏感层。
K&-uW _0
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xiezhizhi
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2楼
发表于: 2022-02-28
同意一楼说法 可以用TFC的Interactive Analysis 模拟看看是那一层影响
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flyinlove79
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3楼
发表于: 2022-04-17
材料参数偏差、膜厚控制误差、折射率不均匀等都会导致实测曲线和理论曲线间的偏差。
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shenhan0701
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4楼
发表于: 2022-06-06
同样的材料,厚度不同,tooling是不一样的,一般来说100nm以下,越薄的层tooling越小,模拟看看吧
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f4213705
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5楼
发表于: 2022-06-10
同意一楼说法
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奔跑的小骏马
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6楼
发表于: 2022-06-21
模拟确认哪一层或者哪个材料出现偏差了
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