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    [求助]多层减反膜理论与实测差别较大 [复制链接]

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    离线songyanxia
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-02-09
    关键词： 减反膜离子源
    设备为德国莱宝加APS离子源，在k9基底上使用sio2和ta2o5设计了可见区+1540nm双波段减反膜，理论上在可见区有三个波峰，且平均剩余反射率小于0.5％，最大峰值0.7％左右，而实际测量曲线与理论相差非常大，波峰为4个，波峰最大值超过2％。sio2和ta2o5折射率以及tooling都校准过了。
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-02-23
    AR膜好像从来没有和设计一样的。 m@td[^O-  
    慢慢用模拟软件模拟着修吧。 CL=%eSsuD  
    gq7tSkH@  
    先确定氧是足够的（没有失氧），先修敏感层。 [FO4x`  
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    离线xiezhizhi
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-02-28
    同意一楼说法 可以用TFC的Interactive Analysis 模拟看看是那一层影响
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    离线flyinlove79
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    只看该作者 3楼 发表于: 2022-04-17
    材料参数偏差、膜厚控制误差、折射率不均匀等都会导致实测曲线和理论曲线间的偏差。
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    离线shenhan0701
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    只看该作者 4楼 发表于: 2022-06-06
    同样的材料，厚度不同，tooling是不一样的，一般来说100nm以下，越薄的层tooling越小，模拟看看吧
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    在线f4213705
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    只看该作者 5楼 发表于: 2022-06-10
    同意一楼说法
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    离线奔跑的小骏马
    助理工程师
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    只看该作者 6楼 发表于: 2022-06-21
    模拟确认哪一层或者哪个材料出现偏差了
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