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在 LTPS 制造过程中,使用自对准掩模通过离子注入来金属化有源层。当通过 TRCX 计算电容时,应用与实际工艺相同的原理。工程师可以根据真实的 3D 结构提取准确的电容,并分析有源层离子注入前后的电位分布,如下图所示。 ~8 S2BV3@ WzhY4"p _jWGwO -^ceTzW+ r7FFZNs! M!4}B (a)FIB CpLLsp hy \%/Y(YVm T/$hN hQK (b) 掺杂前后对比 Xte"tf9(C
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