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1.系统细节 M qy5>f) 光源 v()
wngn - 绿色激光二极管 \KBE+yj 元件 --(e(tvf - 基于单扫描微镜的激光扫描系统,例如MEMS(微机电系统) ck=x_HB1 探测器 4# pn] - 光线可视化检查(3D显示) F XpI-?#E< - 场分布和相位计算 Ro&s\T+d - 光束参数(M2值,发散角) xJ/<G$LNJ0 建模/设计 '}\#bMeObg - 光线追迹:首先概览系统性能 Z*9Qeu-N: - 场追迹: "OIra2O √ 光束传播包含表面像差 W%3<"'eP √ 分析生成光束的形状和质量 ?`m#Y&Oi >";I3S-t 2.系统图片 P;A9t #\ A Th<=1
h KZ<PwBi ;WF3w 3.模拟和设计结果 NU>'$s 镜像差(由泽尼克多项式表示): j. @CB` Ya%-/u v)^8e0vx
-tQi~Y[] 4.总结 [,s{/32s /|
nZ)? 基于单扫描微镜的激光扫描系统(例如MEMS)中的镜像差进行建模和仿真。 MLu@|Xgh 1) 模拟 nnv& |