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1.系统细节 p*>[6{$3)O 光源 cW MZw|t - 绿色激光二极管 <,LeFy\zW 元件 #!<x|N?_< - 基于单扫描微镜的激光扫描系统,例如MEMS(微机电系统) %';n9M 探测器 uH]^/'8vBd - 光线可视化检查(3D显示) K7CiICe - 场分布和相位计算 \0b",|"3 - 光束参数(M2值,发散角) >f_D|;EV 建模/设计 {(t (}-:Z - 光线追迹:首先概览系统性能 ;T/' CD - 场追迹: S46[2-v1 √ 光束传播包含表面像差 of(Nq@ √ 分析生成光束的形状和质量 (2%C%#]8 SH5k^EJ 2.系统图片 4E"qpy \( 4h(aTbHaQ
8y+Gvk: }}ogdq 3.模拟和设计结果 @GGyiK@ 镜像差(由泽尼克多项式表示): }p
"HD R> Phx/9Kk !4
6^}3 XLM 9+L 4.总结 Ju:=-5r"' uD. 0?*_ 基于单扫描微镜的激光扫描系统(例如MEMS)中的镜像差进行建模和仿真。 Q y15TJ 1) 模拟 2wu
5`Z[E 通过使用光线追迹方法验证激光扫描设置 mTcLocx 2) 建模 z.{yVQE 使用泽尼克标准界面来模拟静态或动态形式的复杂镜面像差 CNP?i(Rk 3) 分析 SLBKXj| 为了计算场分布和评价光束形状和参数,应用经典场追迹引擎 %S@XY3jZY {5*+ 复杂的系统,如基于单微镜的激光扫描仪可以通过使用VirtualLab Fusion来模拟。此外,几乎所有类型的表面变形都可以通过引入泽尼克像差到扫描镜来模拟。因此,可以根据扫描的位置评估光束形状和质量。 sX@e1*YE_ gzw[^d o6{XT.z5qx 详细案例 CIV6Qe"< +K+
== mO& 系统参数 ib&
|271gG SqEO
]~ 1. 此案例的背景和目的 :?lSa6de `7'(U)x,F 作为一个扫描镜必须包含两个扫描轴以及考虑一个更复杂的倾斜操作(倾斜的方向并不是独立的)。 hI/p9
`w 另外,将表面像差引入到扫描镜,可以是静态或动态类型。 e_,_:|t 因为泽尼克多项式非常适合描述几乎所有类型的像差,它们可用于演示表面偏差。 k
9s3@S K)^.96{/@
\QHM7C T 6g$+ ))g 2. 模拟镜像差:泽尼克界面 Ot v{#bB$ =#1/<q)L
i++ F&r[ eYS 5*ABw6'6 为了模拟静态或动态镜像差,使用泽尼克界面。 Ph-3,cC 通过使用泽尼克多项式,可以适当地插入任意相位或表面偏差。 *r(iegO$ 多项式可以通过系数分类,例如使用Noll’s多阶组合。 ]Y,
7 X 具体系数包含多项式的阶数和径向分解级次。 w}7`Vas9 例如,系数3 1 0意味着多项式3和级数n=1,级数m=0。 FUMAvVQ 这个定义也在VirtualLab fusion的泽尼克界面实现。 =L&_6 |