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任务/系统说明 <WXzh5D2
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YJS{i 亮点 !J*, )kRN
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wfL-oi '5 •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； #eU.p&Zc •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； 1QZ&Mj^^
XS0xLt= 具体要求：光源 HBys 0yx 3OY  ?T_3n : &AuF]VT 具体要求：用于准直的消色差透镜 < _$%@4 L 5WqXo{S B{oU,3U>  LN l#h b 6t}{_7 >3:?)  UY2X mDGn:oRj 具体要求：分束器 ~A<H9Bw
V>64/  _UE )*l m+
U7xmC 具体要求：参考光路反射镜 ]Mj/&b>"e iyVB3: M  Z=4{Vv*
gef6pfV
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2 n b:) 具体要求：测试光路反射镜 E$a ?LFa6 e&MC|US=\  obK*rdg ,
*'"T$ib 具体要求：探测器 k" k J_( )CI1;  o ]Jv;Iy@? |8%m.fY` 结果：3D光线追迹 5dx&Qu'}ZS L.xZ_ 6  &)i|$J 2. dX8hp Q 结果：场追迹 ( nW67YTr TUT][
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c[}(O H 结果：移动样品的场追迹结果 jUj<~:Q}3o D3Jr3
%>  GN#<yv$av 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 b1pQ`q t
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