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任务/系统说明 u-</G-y
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(E(J}r~E 亮点 D *=.;Rq
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GY`mF1b •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； *? V boyU •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； 6 &* z
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}%#| 具体要求：光源 -XASS% @tT2o@2Y^  ~#MXhhqB mY= Q#nG 具体要求：用于准直的消色差透镜 M:M"7>: _w}l, MD9 8N{+[|  Z1}@N/>> ,tTq25~H \ "%(SLQOyy  %fu V] LA]UIM@ 具体要求：分束器 [_HY6g r O,PTY^  F5y0(=$T
U ee( 1 具体要求：参考光路反射镜 f /95}6M #_SsSD=.Sy  ?ESsma6
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"|Gr3 sD 具体要求：测试光路反射镜 v\lKY*@f Y(RB@+67  9ls*L!Jw
??#SQSU 具体要求：探测器 RNo~ }# sTS/ ]"l  M ]Hf>7p dI+Y1Vq 结果：3D光线追迹 LzTdi%u$0| i@`qa m
"F= ta }U'VVPh _ 结果：场追迹 {TX fi'\ <2af&-EG s
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I@oSRB 结果：移动样品的场追迹结果 8 =oUE$9 " +M0lGTB  .uinv
通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 F%f )oq`B
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