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任务/系统说明 w7
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zRA 亮点 '`RCN k5l
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z><JbSE? •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； RFZrcM •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； 1jV^\ x0
8Yj(/S3y 具体要求：光源 2M ;{|U j{ HxX  `$ i`i 'S tVe*J@i\$ 具体要求：用于准直的消色差透镜 +(<CE#bb[ [Ea5Bn;~! F;z FKvn  6=& wY UA/3lH} ,og@}gOMB
 "_(o% \"7 u54+oh|,M 具体要求：分束器 5!5P\o @^P=jXi<  b\^.5SEw
jR48 .W 具体要求：参考光路反射镜 gy>2=d G U!XD!!&  8n'C@#{WV
"+rX* ~
 ^+P]_< 43
\n`]QN 具体要求：测试光路反射镜 O<+C$J| Ohjqdv@  }vm17`Gfy
E]g KJVf9[ 具体要求：探测器 GWh b @K v& ? B qj  ;%%=G;b9 5%W3&F6 % 结果：3D光线追迹 N.VzA
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@P~ u k  9(H8MUF0{ x
&\~4,TN 结果：场追迹 rL%xl,cn< ? !
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5[ @4($q8 结果：移动样品的场追迹结果 A5nu`e9& =XYfzR  !867DX3* 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 UL{Xe&sT
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