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任务/系统说明 }i~ j"m
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-<. NEV 亮点 ur5n {0#
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N=x, 96CF •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； c67!OHu mP •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； j0M;2 3@ [
: P 2;9+v 具体要求：光源 5n#&Hjb*F0 8\_,Y
ji  m> :ig\ Ps-d#~4U; 具体要求：用于准直的消色差透镜 =~*u(0sJa ( P_+m# yU`IyaazZ  -OAH6U9^ $o^}<)DW | mX8fRh  >?x Vr pYQs|5d 具体要求：分束器 I C42O_^ !qq@F%tv  1 Qk uxw
c " HCc] 具体要求：参考光路反射镜 Vt>E\{@[t #SOe &W5  g9.hR8X
bZJiubBRI
 yK;I<8+>_
CQ ?|=cN 具体要求：测试光路反射镜 O%{>Zo_< } z i6 F.  PV Q%y
W3kilhZ 具体要求：探测器 MDt4KD+bZ F!'"mU<f  x;/3_"$9>\ B7C6Mau 结果：3D光线追迹 F.9|$g*ip y uq E  Nq8A vBwo4 HC$cK+,ZU} 结果：场追迹 ;!b(b% R7>@-EG
 \/%mabLK
I uL ]V TY 结果：移动样品的场追迹结果 *G38N]|u6
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=>U~ligu 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 7dRU7p>
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