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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 d#Sc4xuf  
    t1b$,jHmKl  
    |Yh-`~~A"  
    3H%R`ha  
    灵活地导出制造数据： pRx^O F(3  
    - 平滑的界面 @;qC % +^  
    - 量化界面 !CtY.Lp  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 il<D e]G  
     _s><>LH~  
    亮点 V9-pY/v 9  
     导出各种表面形状的制造数据 #pBAGm3  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 +P/"bwv0  
         fKOm\R47  
    `~UCWK  
    一般界面的制造数据 2FD[D `n]f  
    Q-F'-@`(C  
    >s1FTB-$W  
    1 iS9f~  
    支持文件格式： C,n]9  
    - 纯文本 |w- tkkS  
    - ASCII码 *h1Zqb  
    - 点云 Ictc '#y  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） =x> z|1  
     H. uflO  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） x,E#+ m  
    :{h,0w'd  
    采样高度剖面的STL导出 W=5+k0Q  
    FI.S?gy0   
    Bjml%  
    VxjEKc  
    量化界面的GDSII导出 _t6siB_u  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 6T< ~mn  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 |.=Ee+HZ  
    -?e~dLu  
     
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