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任务说明 SI:Iv:> CzG/=#IU qWb 8" AJ)N?s-= 灵活地导出制造数据: |#x]/AXa0/ - 平滑的界面 9[Xe|5?c - 量化界面 #gRtCoew - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ky@DH(^> xHWD1> 亮点 &ej|DM6 导出各种表面形状的制造数据 _QiGrC 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 CC XOxd Ls{]ohP 7*g'4p- 一般界面的制造数据 -59;Zn/ n-:n.JX d2tJ=.DI I0(nRu<
支持文件格式: r lXMrn - 纯文本 8t1,_,2' - ASCII码 =xRxr@ - 点云 E9:p A5H-j - CAD格式(例如,STL,IGES) ^LAdN8Cbb
bC%}1wwh STL导出平滑界面(例如Asphere) GE |P )VO 4L)Ox;6> 采样高度剖面的STL导出 *sq+ Vc( 5g4xhYl70n +3k#M[Bn} +*KDtqZjk 量化界面的GDSII导出 H?)?(t7@ 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Mx=L lC) 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 s]i<D9h DWcEl:
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