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任务说明 N5q}::Odc N`,7 FI} 38V $ <w %|: ;Ti 灵活地导出制造数据: IZ4W_NN - 平滑的界面 f
pv= P - 量化界面 @!z$Sp= - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 k%EWkM)? ntrY =Y 亮点 7.wR"1p# 导出各种表面形状的制造数据 #d}0}7ue 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 CTh1+&Pa (
GFgt_ c8^+^.=pX 一般界面的制造数据 &ui:DZAxj| C-s>1\I |Hx%f 6V'wQqJ 支持文件格式: /[\6oa - 纯文本 33=Mm/<m$P - ASCII码 RpHpMtvNo/ - 点云 >X;xIyRL - CAD格式(例如,STL,IGES) 3c01uObTL ??%)|nj. STL导出平滑界面(例如Asphere) qg^(w fI gbY LA a 采样高度剖面的STL导出 KotPV ggerh# 9b?i
G Jy]FrSm^ 量化界面的GDSII导出 <'r0r/0g? 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Of1IdE6~ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 ;): 8yBMk lr9=OlH
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