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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 ~K;QdV=YX  
    \fA{sehdL  
    sl]< A[jR  
    @tH9$J*Y<  
    灵活地导出制造数据：  $GJT  
    - 平滑的界面 3z+l-QO8  
    - 量化界面 `S {&gl  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 {a7~P0$  
     x;/LOa{LR  
    亮点 Z3`EXs  
     导出各种表面形状的制造数据 ~e{ @5.g  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 _wq?Pa<)e  
         -JMn?]  
    NQ9v[gv  
    一般界面的制造数据 2c9?,Le/;  
    .Bm%  
    m@4Dz|  
    Cx7-I0!  
    支持文件格式： 6}4})B2  
    - 纯文本 QU).q65p  
    - ASCII码 4qQ,1&!]S  
    - 点云 P49\A^5S!  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） eVXXn)>  
     O*EV~ {K  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） v,KKn\X  
    VeoG[Jl  
    采样高度剖面的STL导出 JB_fS/I  
    a{5SOe;;  
    ag=d6q  
    ?"B] "%M&  
    量化界面的GDSII导出 rpR${%jc  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 =*mT{q@  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 =6%oW2E\  
    Fhoyji4  
     
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