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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 1J&hm[3[K  
    ? :F Jc[J  
    7'@~TM  
    Ac/LNqIs  
    灵活地导出制造数据： ~$7YEs)  
    - 平滑的界面 Cio (Ptt:  
    - 量化界面 ~Q=^YZgn8  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ESe$6)P  
     fOk(ivYy  
    亮点 4*UKR!sr  
     导出各种表面形状的制造数据 ,ZnL38GW  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 }c#W"y5l_  
         T\Jm=+]c!  
    PW9tZx#  
    一般界面的制造数据 AO8%!+"_  
    \JNWL yw  
    NF7+Gp6?q  
    (]5gYi  
    支持文件格式： p,\(j  
    - 纯文本 8=mx5Gwz-  
    - ASCII码 l585L3i  
    - 点云 E FBvi  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） Wa%p+(\<uB  
     6h\; U5  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ;]2d%Qt  
    ZrWA,~;  
    采样高度剖面的STL导出 Qr~yHFc1y  
    |(9l_e|  
    SqoO"(1x  
    z~;@Mo"*f  
    量化界面的GDSII导出 Angt=q  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Ystd[  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 .?r} 3Ch  
    B> zQ[e@t  
     
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