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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 fyat-wbb  
    noz&4"S.{  
    ye Q6\yi  
    "Xq.b"N{*  
    灵活地导出制造数据： HS!O;7s'  
    - 平滑的界面 I6}ine ps  
    - 量化界面 ooa>~!91P  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 >P*wK9|(  
     PfKIaW<  
    亮点 gGl}~  
     导出各种表面形状的制造数据 F.:B_t  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 >*v!2=  
         ~x`BV+R  
    kae &,'@JF  
    一般界面的制造数据 C FqteY"  
    Cf#[E~24  
    5[\mwUA  
    8:V:^`KaSs  
    支持文件格式： 5x";}Vp>P  
    - 纯文本  #P8R  
    - ASCII码 Ph(bgQg  
    - 点云 +[$d9  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） *^cJn*QeL  
     S i[:l  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） A*)G . o:  
    go^?F- dZ  
    采样高度剖面的STL导出 5v:c@n  
    k.b->U  
    NijvFT$V1  
    FOz7W  
    量化界面的GDSII导出 gc|?$aE  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 eq)8V x0  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 |y+<|fb,a  
    $6~ J#;  
     
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