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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 E8j9@BHU[r  
    hZ#tB  
    M84LbgGM%  
    54;iLL  
    灵活地导出制造数据： bF Vd v&  
    - 平滑的界面 Mb9q<4  
    - 量化界面 iwVra"y  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 y,r`8  
     R utW{wh  
    亮点 dyp] y$  
     导出各种表面形状的制造数据 njX:[_&  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 GS$k  
         8qc %{8  
    /~^I]D  
    一般界面的制造数据 "p; DQ-V  
    g:6yvEu$ -  
    n=SZ8Rj7  
    eHJ7L8#  
    支持文件格式： ,C&>mv xA  
    - 纯文本 q%'ovX(dm  
    - ASCII码 IMR|a*=`c  
    - 点云 2(rZ@Wl  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） %zD-gw>  
     m Zh VpIUO  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） c@^:tB  
    p%ZiTrA1&D  
    采样高度剖面的STL导出 'H'+6   
    {x4[Bx1  
    Q)@1:(V/  
    B5cyX*!?  
    量化界面的GDSII导出 pkU e|V  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 8k1 r|s@d  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 "^= [*i  
    rO`g~>-  
     
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