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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 wWm#[f],?  
    uj]GBo=  
    :4Y|%7[  
    \e=@h!p  
    灵活地导出制造数据： 6-JnT_  
    - 平滑的界面 F(w>lWs;  
    - 量化界面 *".7O*jjV  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Dho~6K }"  
     F0|T%!FB>%  
    亮点 I#,,h4C  
     导出各种表面形状的制造数据 uUJ2d84tV  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 -p)HH@6a  
         %|u"0/  
    Xr~r`bR=  
    一般界面的制造数据 gz88$BT  
    wj?f r?  
    i'57|;?  
    *&U9npN  
    支持文件格式： 'shOSB  
    - 纯文本 NH?s  
    - ASCII码 LCdc7  
    - 点云 wY=ky629  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） )Q\;N C=4  
     ,~3sba  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） xCQ<G{;C  
    r&H>JCRZ<=  
    采样高度剖面的STL导出 Gm|QOuw  
    &?9.Y,  
    cvC;QRx  
    9XoKOR(  
    量化界面的GDSII导出 p*N+B o  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 +FJ o!~1  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 jK{CjfCNz  
    !",@,$  
     
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