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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5119
    光币
    19911
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 ,fnsE^}.U  
    @ERu>nSP  
    u{bL-a8}  
    :w?7j_p#  
    灵活地导出制造数据： ~2/{3m{3A  
    - 平滑的界面 hkW{88  
    - 量化界面 [.q(h/b  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 |,}E0G.  
     =Mhg  
    亮点 `W[+%b  
     导出各种表面形状的制造数据 &.*uc|{  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 G^Xd-7 GQ  
         Yb=6C3l@  
    qa}>i&uO  
    一般界面的制造数据 #@Ujx_F  
    CW:gEm+  
    pIVq("&  
    {TL +7kiX/  
    支持文件格式： '@:[axu  
    - 纯文本 j;2<-{  
    - ASCII码 C(]'&~}(  
    - 点云 A/Khk2-:  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） JCQ:+eqt  
     `Lz1{#F2G  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 7<yp"5><)  
    \>)f5 gV@  
    采样高度剖面的STL导出 '8r8%XI  
    /84bv=  
    Bp0bY9xLg_  
    +p?hGoF=  
    量化界面的GDSII导出 S!7g)  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 9bn2UiJ k  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ypA:  P  
    j, t~  
     
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