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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-27
    任务说明 b.h:~ATgN  
    Q"o* \I  
    EL*OeyU1l  
    <SK%W=  
    灵活地导出制造数据： s(~tL-_ K  
    - 平滑的界面 \"L ;Ct 8  
    - 量化界面 ]q#w97BxiJ  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 M]FA y"E  
     iME )Jl&  
    亮点 $ z4JUr!m  
     导出各种表面形状的制造数据 g+g0iS  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 vpt*?eR  
         OvL@@SX |  
    $KSdNFtM)A  
    一般界面的制造数据 Sz!mn  
    Y^Of  
    u'Od~x^z  
    M)m(  
    支持文件格式： 6wIo95`  
    - 纯文本 T\ixS-%^  
    - ASCII码 d-GU164  
    - 点云 $w,O[PIi  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 7T\LYDT  
     !p:kEIZ)y  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） p"%K(NL  
    sBN"eHg  
    采样高度剖面的STL导出 +c7e[hz  
    c(@(j8@S  
    O4)'78ATp  
    j{8;5 ?x  
    量化界面的GDSII导出 1/JtL>SKE  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 )Y@E5Tuk>  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 6_G[&   
    ,.<[iHC}9  
     
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