[讨论]磁控溅射镀膜电子损伤 [复制链接]

各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？

是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ mHKJ  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 Iq+2mQi*/k  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， s4(Wp3>3i  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。
y'^F,WTM  

ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ `Ug tvo  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 t!jYu<P  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， ~g7m3  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 ywOmQcZ  
 (2021-12-16 11:58)  J'e]x[Y  

ALXTR%f  
好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。

这样…… doR4nRl9  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 t"|DWC*  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 H O*YBL  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？

ouyuu:这样…… NBOCt)C;H  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 VteEDL/w  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。
yWb4Ify  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13)  76@qHTh}  

GBQn_(b9I  
好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射

hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10)  L%\b'fs  

A9:NKY{z  
是的。