[讨论]磁控溅射镀膜电子损伤 [复制链接]

各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？

是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ Dc0CQGx9b  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 c4}|a1R\=  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， o RK:{?Y  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 H_w?+Rig  

ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ `tl-] ^Y2  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 p:3w8#)M
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有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， CW+gZ!  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 SME]C')7  
 (2021-12-16 11:58)  DH:9iX'  

Y[W]YPs  
好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。

这样…… x!u6LDq0  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 upFe{M@  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 vgi`.hk  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？

ouyuu:这样…… TBgiA}|\D  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 \3)U~[O>:  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 ~L.5;8a3Pe  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13)  <<H'Z  

@FN1o4&3  
好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射

hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10)  ={~A} X01  

V}Pv}j:;  
是的。