[讨论]磁控溅射镀膜电子损伤 [复制链接]

各位大佬，磁控溅射镀膜过程中的电子损伤能用什么办法检测出来嘛，电子损伤有什么办法将其消除或者规避掉嘛？

是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ )@DDs(q=i  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 :u9'ZHkZ  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， &mtt,]6C_  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 $#f_p-N  

ouyuu:是电子本身造成的损伤，还是二次电子造成的静电损伤？ @P~%4:!Hr  
有些问题属于小知识小窍门，网上问的到结果。 Pa0W|q#?X  
有些问题属于别人花了很多钱开发出来的独有技术和工艺， U&6A)SW,k  
属于保密范畴，网上是问不到结果的。 az![u)  
 (2021-12-16 11:58)  &,<,!j)Jr  

]wDqdD y7S  
好滴，谢谢。这个电子损伤主要是溅射沉积过程中产生的电子，包括二次电子，应该不包括静电。

这样…… b-8@_@f|g  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 mZB:j]T  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 OEl;R7aOB&  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？

ouyuu:这样…… +1qvT_  
我这边只做过新柯隆，他们家是先溅射再氧化的。 _6.@^\;  
氧化的时候多余的氧离子就可以把电子中和了，所以之前也没有关注过这种问题。 
Kc r)W  
你们能不能镀膜的时候加上一个氧化源？ (2021-12-24 11:13)  C`Vuw|Xl  

Kg2@]J9m  
好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射

hxn123:好滴，谢谢，这个加入氧化源是不是相当于反应溅射 (2021-12-28 23:10) 
\BsvUGd  

QQ,w:OjA0  
是的。