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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 .hQ3A"  
    M8?#%x6;N  
    }+dM1O  
    pKxX{i1l  
    亮点 nG},v%  
    b>bgUDq  
     lpfwlB'~9  
    I[g?Ju >  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） P )t]bS  
     严格分析光栅衍射效率 Q+N7:o!;<b  
     考虑入射光的方向分布 %;<k(5bhGJ  
     \Z\IK  
    说明：光源 qP;{3FSkAF  
    ^fE\S5P  
    &N/|(<CB  
    )4!CR/ao  
    说明：光束分束器 ) ]/i  
    >?>ubM`,  
    NoJnchiU  
    +H[}T ]  
    说明：检测透镜系统 Ok}{jwJ%W;  
    FI?gT  
    I 9{40_  
    :jk)(=^  
    说明：微型晶片 `'xQ6Sy  
    vz;7} Zj]  
    jU]]:S4xD/  
    u#41osUVW>  
    说明：检测物镜 DnNt@e2|  
    d,Cz-.'sOf  
    ldAov\X  
    er[" NSo  
    说明：探测器 :(bdI]  
    X+dR<GN+YX  
    9?u9wuH  
    Em~7D ]Y  
    结果：3D光线追迹（只有0级） P9 {}&z%:  
    z'?7]C2b  
    ig{A[7qN  
    ~rgf{oGz  
    结果：3D光线追迹（所有级） hsTFAfa'  
    Iz6ss(UJ  
    q Z8|B  
    TJHN/Z/  
    结果：光线追迹 x[vpoB+c  
    |MTpU@`p5  
     F^.om2V|9  
    Q3'fz 9v  
    结果：场追迹 +"k.E x0:  
    cm@jt\D  
     Np.no$_  
    /hm84La  
    结果：线性偏振光的场追迹 "%{,T  
    Mam8\  
    - *:p.(c  
     
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