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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 `kE ;V!n?  
    '{>R-}o[3  
    3@}rO~  
    G4&vrM,f  
    亮点 ww? AGd  
    e4h9rF{Cxn  
     Py@/\V  
    `jHbA#sO  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 1eP`  
     严格分析光栅衍射效率 19h@fA[:  
     考虑入射光的方向分布 \\R$C  
    }Qu kn  
    说明：光源 7.mYzl-F(  
    =Ch^;Wyt  
    2gasH11M  
    @PL.7FM<v  
    说明：光束分束器 `erKHZ]S  
    +nAbcBJAl  
    f (Su  
    z=FOymv C  
    说明：检测透镜系统 n g,&;E  
    969Y[XQ  
    1 ORA6  
    ;% <[*T:*'  
    说明：微型晶片 M*gbA5  
    JGHQzC  
    zG* >g  
    73p7]Uo  
    说明：检测物镜 ]t"X~  
    \{EYkk0]  
    UdOO+Z_K%  
    ~T^,5Tz1j  
    说明：探测器 koojF|H>  
    4JO[yN  
    1c\KRK4  
    H$ZLtPv5  
    结果：3D光线追迹（只有0级） 8=MNzcA }  
    Y"  Ut  
    }?)U`zF)7}  
    R wTzS;  
    结果：3D光线追迹（所有级） (V x2*Aw]  
    *S<d`mp[  
    egmNX't6f5  
    B#;6z%WK  
    结果：光线追迹 e>2KW5.  
    C=Tq/L w  
     ";U#aK1p  
    8n,/hY>w  
    结果：场追迹 o~{rZ~  
    2,6~;R  
     tbXl5x0  
    v[<x>?i D_  
    结果：线性偏振光的场追迹 ;(-Wc9=  
    6z5wFzJv?q  
    9e*o$)j_  
     
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