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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 .uS`RS8JM  
    o/V T"cT  
    *U$]U0M  
    Haktr2I  
    亮点 =M*pym]QSY  
    uHZ4 @ w:  
    #>)z}a]  
    TB.>?*<n]  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) M@h"FuX:  
     严格分析光栅衍射效率 2#^g] o-N  
     考虑入射光的方向分布 1_f+! ns#  
    9oGcbD4*  
    说明:光源 |,oLZC Na  
    m3pDFI  
    2AhfQ%Y=  
    ,C><n kx  
    说明:光束分束器 |X A0F\  
    e CN:  
    $<2d|;7r  
    g&F$hm  
    说明:检测透镜系统 a$Ud"  
    C^4,L \E  
    )}N:t:rry  
    G93V=Bk=  
    说明:微型晶片 0wVM% Dng  
    y3 N[F  
    x X3I`  
    DMch88W  
    说明:检测物镜 "~ $i#  
    jR[c3EA ;  
    _,(s  
    =gJ{75tV3  
    说明:探测器 v.C  
    TS+jDs  
    >I~Q[  
    obF|;fwPnR  
    结果:3D光线追迹(只有0级) G[ #R1'  
    7~Inxk;  
    H3R{+7  
    NI,>$@{  
    结果:3D光线追迹(所有级) `|AH3v1  
    N]/cBGy  
    rL"]m_FK  
    5&EBU l}  
    结果:光线追迹 g.`Ntsi$wI  
    DDGDj)=`  
    08^f|K  
    svEe@Kt`  
    结果:场追迹 *@#Gc%mGu  
    ~%h )G#N  
    Ieq_XF]U  
    ub>:dNBN  
    结果:线性偏振光的场追迹 UTu~"uCR  
    P nE7}  
    ai?J  
     
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