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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 Y@M l}43  
    o[CjRQY]P  
    AA0zt N  
    <\5Y~!)  
    亮点 9]TvL h3  
    'l3K*lck  
    i3\6*$Ug  
    5mYI5~ p  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) )VCRbz"[g  
     严格分析光栅衍射效率 fTc ,"{  
     考虑入射光的方向分布 T@H2[ 7[;  
    ( -rw]=Qu  
    说明:光源 vdN0YCXG  
    rSfvHO:R  
    jo8;S?+<|?  
    l<mEGKB#  
    说明:光束分束器 dd%-bI^  
    C]+T5W\"<B  
    d[.JEgU  
    6M758K6v  
    说明:检测透镜系统 kaj6C_k|  
    ePJtdKN:  
    g$ oe00b  
    nob^ I5?  
    说明:微型晶片 `L=$ ,7`  
    iy_\1jB0  
    f~D> *<L4-  
    N~An}QX|  
    说明:检测物镜 U)N_/  
    NCM&6<_  
    +t XOP|X  
    b(~ gQM  
    说明:探测器 rpT{0 >5  
    |O]oX[~  
    MrA&xM  
    yxa~R z/  
    结果:3D光线追迹(只有0级) ?geEq'  
    xBC:%kG~#  
    #}A >B  
    sm>Hkci%  
    结果:3D光线追迹(所有级) VoJelyzh  
    "HQH]?!k  
    AT{ewb  
    ,1YnWy *  
    结果:光线追迹 I!;#Nk>  
    FT* o;&_QS  
    t*)-p:29h  
     -'|pt,)  
    结果:场追迹 THmX=K4=?  
    tU%-tlU9?  
    w^&TG3m1~  
    hsQrHs'k  
    结果:线性偏振光的场追迹 ?7cF_Zvve  
    B94mh  
    ~qiSkG  
     
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