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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 ^f{+p*i}:  
    >2 gemTy  
    M:OY8=V  
    vJ$#m_aa  
    亮点 OGNjn9av  
    1Y410-.3w{  
    fmH$ 1C<  
    @b2{'#9]}  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) "k\W2,q[  
     严格分析光栅衍射效率 h"KN)xi$  
     考虑入射光的方向分布 TL+a_]3@  
    ARW|wXhyf  
    说明:光源 + )?1F  
    u0h {bu  
    -IJt( X|  
    F]3iL^v  
    说明:光束分束器 |jW82L+!N%  
    Wx"bW ICc  
    JoA^9AYhR  
    5tR<aIf  
    说明:检测透镜系统 /reSU 2  
    Q"CZ}B1<  
    \$s<G|<P  
    %;9f$:U  
    说明:微型晶片 .O'S@ %]  
    o[^%0uVF  
    XU.ZYYZ=  
    .x$+ 7$G  
    说明:检测物镜 3A]Y=gfa  
    RX:\@c&  
    m.-l&@I2/<  
    PdJtJqA8h\  
    说明:探测器 -yOrNir}W  
    V4f ~#Tp  
    h<i.@&  
    y[S 5  
    结果:3D光线追迹(只有0级) '=@O]7o~  
    di`Ql._M  
    @! ^c@  
    2t\a/QE)E  
    结果:3D光线追迹(所有级) K9}ppgL'$  
    o87. (  
    URmx8=q  
    /<s'@!W  
    结果:光线追迹 ~!j1</$_  
    .Nr}V.?57  
    yInW?3  
    b&~rZ  
    结果:场追迹 +"Ek? )?  
    a3ve%b  
    _Qs )~  
    e-H:;m5R  
    结果:线性偏振光的场追迹 !NK8_p|X  
    ;%odN d  
    Qs8iu`'  
     
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