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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 .ctw2x5W  
    81 sG  
    fS78>*K  
    Ej8^Zg  
    亮点 %Y*Ndt4  
    ]-/VHh  
    ckE-",G  
    u5f9Jw}  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) |4 0`B% Z  
     严格分析光栅衍射效率 b2&0Hx  
     考虑入射光的方向分布 Gu\q%'I  
    6G""I]uT  
    说明:光源 <lE <f+  
    n8ZZ#}Nhg  
    1NA.nw.  
    vT,AMja  
    说明:光束分束器 -4{<=y?"a  
    \n|EM@=eE  
    5uj?#)N  
    A*547=M/(j  
    说明:检测透镜系统 $C$V%5aA  
    [j/9neaye  
    Od,qbU4O  
    Uf;^%*P4  
    说明:微型晶片 K} X&AJ5A  
    |[ai JR[Q  
     Sw, +p  
    aNspMJ  
    说明:检测物镜 N)\. [v  
    mLLDE;7|}  
    Sp]0c[37R  
    .~~T\rmI  
    说明:探测器 YHygo#4=8  
    R=2FNP  
    nBSYsp{  
    Gk&)08  
    结果:3D光线追迹(只有0级) Ww+IWW@  
    bUdLs.:  
    a:OQGhc=  
    U@)eTHv}6  
    结果:3D光线追迹(所有级) CXx*_@}MU  
    Ed df2;-.  
    ,pQZ@I\z  
    Y0dEH^I  
    结果:光线追迹 g63(E,;;J  
    =M [bnq*\  
    n&qg;TT  
    G3vxjD<DMW  
    结果:场追迹 #3@rS  
    DIfaVo/"  
    :tB1D@Cb6  
    /}fHt^2H  
    结果:线性偏振光的场追迹 G kl71VX  
    GxI!{oi2  
    0oZ= yh  
     
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