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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 z~ u@N9M  
    ') 1sw%[2  
    A[ iP s9  
    ^Js9E  
    亮点 3sZK[Y|ax  
    #6H<JB  
     H4:TYh  
    sId5pY!  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） @J<B^_+Se  
     严格分析光栅衍射效率 *Ra")(RnDK  
     考虑入射光的方向分布 `f'q/  
    k(qQvn  
    说明：光源 ewY[vbF  
    CLkVe  
    !F<?he<U  
    qBNiuV;*  
    说明：光束分束器 \~)573'  
    zBs7]z!eP  
    fcZOsTj  
    Nz}Q"6L  
    说明：检测透镜系统 AX,Db%`l,  
    blN1Q%m6  
    w%_BX3GTO  
    |wb7`6g  
    说明：微型晶片 JZXc1R| 9  
    wwAT@=X*}  
    O^xt  
    aXJe"IT.u  
    说明：检测物镜 7}x-({bqy  
    @iP6 N  
    h@DJ/&;u@  
    2>!ykUw^O  
    说明：探测器 _[ phs06A  
    ;Pa(nUE@  
    >gSerDH8\  
    +-nQ, fOV  
    结果：3D光线追迹（只有0级） Na6z,TW  
    *@& "MZ/M  
    1%@~J\qF  
    )mPlB.  
    结果：3D光线追迹（所有级） bvx:R ~E$  
    `@e H4}L*  
    =z3jFaZ  
    w?tKL0c  
    结果：光线追迹 3-R3Qlr  
    hjG1fgEj  
     r9Z/y*q  
     B~NC  
    结果：场追迹 0|ps),  
    ZH(.| NaH  
     _'7/99]4g}  
    ^8m+*t  
    结果：线性偏振光的场追迹 ]2(c$R  
    'm cJ/9)v  
    t4IJ%#22  
     
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