切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 918阅读
    • 0回复

    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    5623
    光币
    22267
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 vo'{phtF)M  
    V34]5  
    ddeH-Z  
    R%%h=]  
    亮点 l$!g# ?w  
    wArtg'=X  
    BxXP]od  
    8IihG \  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) _dw6 C2]P  
     严格分析光栅衍射效率 X$$b:q  
     考虑入射光的方向分布 G2_l}q~  
    6%UhP;(  
    说明:光源 JKYkS*.a}  
    zlN<yZB^  
    Iqm QQ_KH  
    x5nw/''[2  
    说明:光束分束器 2sqNTuO6,|  
    vWpkU<&3|  
    <-a6'g2y  
    ePwoza  
    说明:检测透镜系统 JlN<w  
    "( P-VX  
    j.y8H  
    79Si^n1\  
    说明:微型晶片 &o*f*(C2  
    }c0EGoU}?  
    >c 5V VA8  
    {nlqQ.jO  
    说明:检测物镜 x3?:"D2  
    Snf1vH  
    aY@st]p  
    +zLh<q0  
    说明:探测器 N|L Ey  
    3XomnL{  
    h\qM5Qx+Q  
    )'gO?cN  
    结果:3D光线追迹(只有0级) !9JK95;  
    -& \?Q_6  
    /6@Wm? `DB  
    Epf[8La  
    结果:3D光线追迹(所有级) 3[O;HS3|  
    Y^W.gGM  
    ~%o?J"y  
    MX{p)(HW  
    结果:光线追迹 %4rPkPAtrp  
    n9Xssl0  
    v"dj%75O?e  
    92HxZ*t7km  
    结果:场追迹 _~b$6Nf!83  
    ;/phZ$l  
    `CXAE0Fx  
    tag~SG`ov  
    结果:线性偏振光的场追迹 w\z6-qa  
    ]B"YW_.x2  
    %SJ9Jr,  
     
    分享到