案例315(3.1) SL\y\GaV ND55`KT4 该应用案例说明了两个不同紫外光谱偏振片的参数优化,紫外偏振片具有亚波长线栅结构。两个系统具有不同的功能,如193nm工作波长和以及在期望光谱范围内效率的一致性。 Aiks>Cyi23
400Tw`AiJ 1. 线栅偏振片的原理 WP@JrnxO\` %L \{kUam 带金属脊的线栅偏振片(如铝,铬等)。 K'{W9~9Lq
2. 建模任务 hA1gkEM2o
o~.o^0Y
U3|&Jee
全部透射光线的严格仿真和结构参数的优化。 .iP G /e
偏振元件的重要特性: N9JgV,`
偏振对比度 */5<L99v
透射率 ofPF}
效率一致性 ?;r8SowZ7
线格结构的应用(金属) ]dGr1ncu TH(Lzrbg 3. 建模任务: e2-70UvW^
x-z方向(截面) x-y方向(俯视图)
H ?=pWB 4. 建模任务:仿真参数 Gkodk[VuLs
k}f<'g<H 偏振片#1: z7t'6Fy9' 偏振对比度不小于50@193nm波长 [nN\{"~O 高透过率(最大化) hV>4D&< 光栅周期:100nm(根据加工工艺) kP}hUrDX5 光栅材料:钨(适用于紫外波段) JW% /^' 偏振片#2: z"s%#/# 偏振对比度不小于50@300—400nm波段范围内
1W}nYU 在波长范围内具有5%一致性的高透过率 %];h|[ax] 光栅周期:100nm .cH{WZ 光栅材料:钨 q(jkit~`A
9#EHXgz 5. 偏振片特性
,3J`ftCV
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