该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
W\gu"g`u r8rU+4\8< 1. 建模任务1:金属光栅 37Vs9w -4{sr|
lm :Zl@4} 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
HYf&0LT<11 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
r`}')2 uG@Nubdwuy 2. 建模任务2:介质光栅 hSE\RX 9 77"'? 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
B/g.bh~)q 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
Hrm^@3 }$r/#F/Fn 3. 建模任务 q-O=Em <* h^eaV,x>= ` WIv|S
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
iE>E*!aBg 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
V9qA.NV2 场分布计算能够检测结构内部的热点
k2o98bK&; <eKF 4. TE和TM照明线性光栅 JlJy3L8L FP=%e]vJ 5. 铬狭缝的分析 =m6;]16D cLn&b}8' 7<DlA>(oUX 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
.^0@^%Wi 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
0@[]l{N 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
| u{NM1, 红线说明了结构的形状(手动添加)
|GJSAs"L@ HTuv_kE 6. 三角光栅的分析 jh\L)a* 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
Xc-'&" 6tBL?'pG S,,,D+4 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
V(n7hpS 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
`b 6j7 红线说明了结构的形状(手动添加)。
D9^.Eg8W 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
~p^&`FA #]pFE.o 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
8TIc;'bRM N0h* | 7. 总结 &|'k)6Rx Y}BT|
" VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
'B0=
"7 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
K9h{sC 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
+ >?"P^ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。