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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 O~B iqm  
    j3~:\H  
    1. 建模任务1:金属光栅 >(u=/pp=:  
    W\zg#5fmK  
    -ny[Lh^b  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 &@A(8(%  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 [[?:,6I  
    |J2R w f  
    2. 建模任务2:介质光栅 G7`7e@{  
    lx~!FLn  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 V$-IRdb  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 &`<j!xlG  
    OUe@U;l{Z  
    3. 建模任务
    ,'F;s:WM,  
    Z*nC ;5Kd  
    [X=-x=S,  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 vKDRjrF-  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 ,~gY'Ql  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 Ym-uElWo  
    a>Uk<#>2?a  
    4. TE和TM照明线性光栅
    ) ]U-7  
    /_?Ly$>'  
    5. 铬狭缝的分析 8MM#q+8  
    y_38;8ex  
    h{yqNl  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。  s6 w</  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 $TL~SVHj;{  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 ~ DVAk|fc  
     红线说明了结构的形状(手动添加) L\5j"] }`  
    1/3Go97/qV  
    6. 三角光栅的分析
    bJ]g2C7`36  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 W sQo+Ua  
    I)]wi%  
    D(s[=$zua  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 'AE)&56  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 ^~0\d;l_  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    &|IY=$-  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 <jQ?l% \  
    x,STt{I=  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 $[6:KV  
    { o=4(RC  
    7. 总结 $xyG0Q.  
    OOGqtA;  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 )$I;)` q  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 ce/Rzid  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 xXE/pIXw  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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