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测量系统(MSY.0001 v1.1) yn2k!2]&T< cr!s q.)s 应用示例简述 >qdRqy)DC aSeh?2n8 1. 系统说明 6f
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iQ CbMClnF 光源 @iVEnb.' — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) hAB:;r XlI 元件 s
~i,R — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 _2<k,Dl;RY 探测器 !/"y — 干涉条纹 n* z;%'0 建模/设计 &qV_|f; — 光线追迹:初始系统概览 i;#AW($+a — 几何场追迹加(GFT+): VKr
oikz@] 计算干涉条纹。 2!a~YT 分析对齐误差的影响。 tY?evsVgz O.?q8T)n82 2. 系统说明 =V^8RlBi ?nozB|*>ut 参考光路 Bs-MoT!  U}W7[f lc 3. 建模/设计结果 zQtx!k= EkP(]F B 3eNvUFZg 4. 总结 jAD{?/RB} M-5zsN 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 3UGdXufw W0Q;1${ 1. 仿真 L;'v,s 以光线追迹对干涉仪的仿真。 gjy:o5{vA* 2. 计算 Y;8.(0r/ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 t2z@"e
3. 研究 x{{ZV] 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 [u8JqX /7b$C]@k 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 O:X|/g0Y Il#9t?/ 应用示例详细内容 YwF\ 系统参数 _lG\_6oJ, 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 jF%l\$)/ +|Qe/8Q 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 -MeO|HWm tP/R9Ezp 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 FuO'%3;c
TGozoPV 2. 说明:光源 xw rleB -cWxS{vO M{~KT3c 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 nL*
SNQ_ 因此,相干长度大于1m +DP{ _x)t 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 q0QB[)AP 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Og<UW^VR xr4kBC
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n&}ILLc 9@z"~H 3. 说明:光源 WUqfY?5 nK|WzUtp 6\?<:Qto 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 {AqPQeNgz 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 i^DZK&B@u 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 _cH 7lO[ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 8Dy;'BtT 4. 说明:光学元件 ~@bh[o~rF <f`G@ 421ol 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 E:ocx2dp 位相延迟平板材料为N-BK7。 E14Dq#L 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
m|+g_JZ 透镜材料为N-BK7。 69u"/7X 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ]
'ybu&22 {QTnVS't 0 Ta3qEV s 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 IPT\d^|f }Qm: g "i ;c )ZP 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 [Dq!t1 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 B @8
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